ถังลม
Oct 12, 2023| ถังลม
กลุ่มปั๊มสุญญากาศสูงของปั๊มกระจายขนาดเล็กมักจะได้รับการกำหนดค่าด้วยถังแก๊ส ซึ่งจัดเรียงระหว่างปั๊มกระจายและปั๊มด้านหน้าเพื่อเก็บก๊าซที่ปล่อยออกมาจากปั๊มกระจาย เหตุผลในการตั้งถังแก๊สคือ:
1) ความจำเป็นในการป้องกันแรงกระแทกของระบบ
เมื่อระบบสุญญากาศทำงาน บางกระบวนการจำเป็นต้องมีการต้านทานแรงกระแทกอย่างเข้มงวด ดังนั้นปั๊มสุญญากาศแบบกลไกเดิมจึงต้องหยุดทำงานเป็นระยะเวลาหนึ่งเมื่อห้องสุญญากาศอยู่ในสภาพการทำงาน ในช่วงเวลานี้ ก๊าซที่ปล่อยออกมาจากปั๊มกระจายจะถูกเก็บไว้ในถังแก๊สทั้งหมด และใช้ถังแก๊สเพื่อเปลี่ยนปั๊มเชิงกลเพื่อรักษาการทำงานปกติของปั๊มกระจาย
2) เพื่อลดรอบการทำงานให้สั้นลง
กระบวนการผลิตบางอย่างกำหนดให้ต้องใส่ห้องสุญญากาศเข้าไปในบรรยากาศเพื่อแลกกับส่วนประกอบและการชาร์จโดยไม่ต้องปิดฮีตเตอร์ของปั๊มกระจาย ปั๊มด้านหน้าของชุดสุญญากาศถูกใช้เป็นปั๊มก่อนสูบ หลังจากโหลด ห้องสุญญากาศจะถูกปั๊มล่วงหน้าด้วยปั๊มเชิงกล และใช้ถังแก๊สในช่วงเวลานี้เพื่อรักษาปั๊มกระจาย (เป็นปั๊มด้านหน้า)
3) เพื่อป้องกันการปล่อยก๊าซทันทีจำนวนมากในห้องสุญญากาศไม่ให้ส่งผลกระทบต่อการทำงานปกติของปั๊มกระจาย
ในการผลิตกระบวนการสุญญากาศ ปริมาณไอเสียจะมีขนาดใหญ่เป็นพิเศษในช่วงระยะเวลาหนึ่ง แต่ระยะเวลานั้นสั้น หากการกำหนดค่าปั๊มเชิงกลตามปริมาตรไอเสียสูงสุดไม่ประหยัดในขณะนี้ คุณสามารถกำหนดค่าถังเก็บก่อนขั้นตอนในระบบได้ในขณะนี้เพื่อจัดเก็บส่วนหนึ่งของก๊าซไว้ที่ปริมาตรไอเสียสูงสุดเพื่อหลีกเลี่ยง แรงดันก่อนขั้นตอนของปั๊มแพร่เกินแรงดันย้อนกลับสูงสุด
4) ใช้เพื่อรักษาเสถียรภาพแรงดันทางออกของปั๊มกระจาย
เนื่องจากไอเสียของปั๊มสุญญากาศเชิงกลเป็นจังหวะ แม้ว่าความถี่จะไม่สูง (โดยทั่วไปประมาณ 7 ครั้ง/วินาที) ก็จะทำให้เกิดความผันผวนในแรงดันทางออกของปั๊มกระจาย และการตั้งค่าของถังแก๊สสามารถลดได้ ความผันผวน
บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบ DLC, เครื่องเคลือบแสง, สายเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการเทิร์นคีย์สามารถใช้ได้ ติดต่อเราตอนนี้ อีเมล: iks.pvd@foxmail.com


