การอบ - ปัจจัยที่มีผลต่อระบบสูญญากาศ

สำหรับการอบเพื่อให้ได้ความดันในช่วงสุญญากาศสูงพิเศษ (<> ^-8 hPa) ต้องปฏิบัติตามเงื่อนไขต่อไปนี้:

1. สูญญากาศที่ดีที่สุดของปั๊มสุญญากาศควรน้อยกว่า 10 เท่าของความดันสูงสุด

2. วัสดุที่ใช้สำหรับห้องสูญญากาศและส่วนประกอบต้องได้รับการปรับให้เหมาะสมกับการเผาไหม้อย่างน้อยที่สุดและควรมีการรักษาพื้นผิวที่เหมาะสม

3. ควรใช้ซีลโลหะ (ตัวอย่างเช่นหน้าแปลน CF หรือซีลมาตรฐาน Helicoflex มาตรฐาน ISO)

4. การทำความสะอาดเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับสูญญากาศที่สูงเป็นพิเศษ ทุกชิ้นส่วนต้องทำความสะอาดอย่างทั่วถึงก่อนการติดตั้งและผู้ปฏิบัติงานต้องสวมถุงมือที่ปราศจากจาระบีเมื่อติดตั้งชิ้นส่วน

5. อุปกรณ์และปั๊มสูญญากาศสูงต้องอบ

6. หลีกเลี่ยงและรั่วไหลก่อนเริ่มทำความร้อน ในกรณีนี้ต้องใช้เครื่องตรวจจับการรั่วของฮีเลียมหรือเครื่องสเปกโตรมิเตอร์มวลหมู่สี่เหลี่ยม

7. การอบเพิ่มขึ้นอย่างมีนัยสำคัญอัตราการ desorption และ diffusivity และนี้นำไปสู่การลดลงอย่างรวดเร็วของเวลาการดูด ในขั้นตอนสุดท้ายของกระบวนการผลิตห้อง UHV สามารถย่อยสลายได้ที่อุณหภูมิสูงถึง 900 องศาเซลเซียส อุณหภูมิการอบที่ตามมาอาจถึง 300 ° C คำแนะนำของผู้ผลิตปั๊มสำหรับอุณหภูมิอบที่สูงที่สุดของหน้าแปลนปั๊มสูญญากาศสูงมักจะ จำกัด อุณหภูมิสูงสุดในการทำงานที่ 120 ° C หากใช้แหล่งความร้อน (เช่นการแผ่รังสีความร้อน) ในอุปกรณ์สุญญากาศ

8. อุปกรณ์จะเริ่มทำงานหลังจากติดตั้ง หลังจากกดที่ความดัน ^10-5 hPa ให้เปิดเครื่องทำความร้อน ในระหว่างกระบวนการทำความร้อนเครื่องวัดสูญญากาศได้ดำเนินการและถูกยับยั้งต่อ 10 ชั่วโมง ถ้าใช้ภาชนะสเตนเลสและโลหะที่มีเกรดการรักษาพื้นผิวที่เหมาะสมอุณหภูมิในการอบ 120 ° C และเวลาในการทำความร้อนประมาณ 48 ชั่วโมงจะเพียงพอที่จะไปถึงช่วงความดัน 10 ^-10 hPa

9. การอบควรดำเนินต่อไปจนกว่าจะถึง 100 เท่าของความดันสูงสุดที่คาดไว้ จากนั้นปิดเครื่องปั๊มและเครื่องทำความร้อนในห้องสุญญากาศ หลังจากระบายความร้อนแล้วความดันสูงสุดที่ต้องการจะทำได้ ที่แรงดันด้านล่าง 5x10 ^-10 hPa พื้นที่ผิวภายในขนาดใหญ่จะเป็นประโยชน์ในการใช้ปั๊มที่เชื่อมต่อกับแก๊ส (ปั๊มระเหิดไททาเนียม) ที่ช่วยระบายก๊าซไฮโดรเจนที่หลบหนีจากโลหะที่อัตราการไหลของปริมาตรสูง