ส่วนประกอบพื้นฐานของอุปกรณ์เคลือบผิวด้วยเครื่องมือ

(เทคโนโลยีความร้อนสม่ำเสมอเทคโนโลยีการวัดอุณหภูมิไม่สมดุลเทคโนโลยีการสปัตเตอร์ magnetron เทคโนโลยีแอนะล็อกเสริมแหล่งจ่ายไฟความถี่กลางเทคโนโลยีชีพจร) ประกอบด้วยห้องสุญญากาศสูญญากาศสูบส่วนการวัดส่วนสูญญากาศส่วนของแหล่งจ่ายไฟกระบวนการ ระบบป้อนก๊าซส่วนที่เป็นกลไกการส่งผ่านความร้อนและส่วนการวัดอุณหภูมิการระเหยไอออนหรือการปะทุแหล่งน้ำระบบทำความเย็นและชิ้นส่วนอื่น ๆ

1. ห้องสุญญากาศ

อุปกรณ์เคลือบแบ่งส่วนใหญ่เป็นสายการผลิตเคลือบอย่างต่อเนื่องและเครื่องเคลือบห้องเดียว เนื่องจากความต้องการสูงของแม่พิมพ์และเครื่องมือเคลือบความร้อนและชิ้นส่วนเกียร์กลเช่นเดียวกับขนาดใหญ่ที่แตกต่างกันของรูปร่างและขนาดของแม่พิมพ์สายการผลิตเคลือบอย่างต่อเนื่องมักจะเป็นเรื่องยากที่จะตอบสนองความต้องการและ coater ห้องเดียว ใช้เสมอ

2. ระบบสูบน้ำสูญญากาศ

ในเทคโนโลยีสูญญากาศระบบสูบจ่ายสุญญากาศเป็นส่วนสำคัญ เนื่องจากความต้องการการยึดติดสูงของแม่พิมพ์และเครื่องมือเคลือบกระบวนการเคลือบต้องมีพื้นหลังสูญญากาศที่ดีดังนั้นการเลือกที่เหมาะสมของระบบสูบน้ำสูญญากาศของอุปกรณ์เป็นสิ่งจำเป็นเพื่อให้บรรลุระดับสูญญากาศสูง ในขณะนี้ไม่มีปั๊มที่สามารถทำงานได้จากความกดอากาศจนกว่าจะเข้าสู่สุญญากาศแบบพิเศษ ดังนั้นสูญญากาศที่ดีไม่สามารถบรรลุได้ด้วยอุปกรณ์สูญญากาศเดียวหรือวิธีการ เครื่องสูบน้ำหลายชนิดต้องใช้ร่วมกันเช่นระบบปั๊มเครื่องกลเครื่องสูบน้ำแบบโมเลกุลและอื่น ๆ

3. ระบบวัดค่าสูญญากาศ

ส่วนวัดสูญญากาศของระบบสูญญากาศจะใช้เพื่อวัดความดันในห้องสูญญากาศ เช่นเดียวกับปั๊มสุญญากาศไม่มีเครื่องวัดสุญญากาศที่สามารถวัดช่วงสุญญากาศได้ทั้งหมด เครื่องวัดสูญญากาศจำนวนมากจึงมีการผลิตตามหลักการและความต้องการที่แตกต่างกัน

4. ระบบไฟฟ้า

แหล่งจ่ายไฟเป้าหมายส่วนใหญ่จะรวมถึงแหล่งจ่ายไฟ DC (เช่น MDX) และแหล่งจ่ายไฟความถี่ระดับกลาง (เช่น PE, PEII และ PINACAL ของ บริษัท American AE) ชิ้นส่วนของตัวเองมักต้องการให้มาพร้อมกับไฟ DC (เช่น MDX), แหล่งจ่ายไฟแบบพัลซ์ (เช่น PINACAL + ที่ผลิตโดย บริษัท อเมริกัน AE) หรือแหล่งจ่ายไฟ RF (RF)

5. กระบวนการป้อนก๊าซระบบ

ก๊าซเฉื่อยเช่นอาร์กอน (Ar) ฮีเลียม (Kr) ไนโตรเจน (N2) อะเซทิลีน (C2H2) ก๊าซมีเทน (CH4) ไฮโดรเจน (H2) และออกซิเจน (O2) โดยทั่วไปจะได้รับการจัดหาโดยถังแก๊ส พวกเขาจะเข้าสู่ห้องสูญญากาศผ่านวาล์วลดความดันก๊าซวาล์วปิดแก๊ส, ท่อ, เครื่องวัดการไหลของก๊าซ, วาล์วขดลวดแม่เหล็กไฟฟ้า, วาล์ว piezoelectric ข้อดีของระบบป้อนก๊าซชนิดนี้คือท่อมีความเรียบง่ายและชัดเจนและง่ายต่อการซ่อมแซมหรือเปลี่ยนถัง นอกจากนี้เครื่องเคลือบแต่ละเครื่องไม่มีผลต่อกันและกัน นอกจากนี้ยังมีกรณีที่เครื่องเคลือบหลายส่วนแบ่งกลุ่มของถังซึ่งอาจพบได้ในบางส่วนของร้านค้าเคลือบที่มีขนาดใหญ่ข้อดีคือลดการใช้ถังก๊าซและทำให้การวางแผนแบบรวมและการจัดวาง ข้อเสียคือโอกาสของการรั่วไหลเพิ่มขึ้นเนื่องจากข้อต่อจำนวนมาก นอกจากนี้เครื่องเคลือบผิวจะแทรกแซงซึ่งกันและกันและการรั่วไหลของอากาศของท่อเครื่องเคลือบอาจส่งผลกระทบต่อคุณภาพของผลิตภัณฑ์ของเครื่องเคลือบอื่น ๆ นอกจากนี้เมื่อเปลี่ยนกระบอกสูบต้องมั่นใจว่าเมนเฟรมทั้งหมดอยู่ในสถานะที่ไม่ใช้งาน

6. ระบบส่งกำลังเครื่องกล

การเคลือบด้วยเครื่องมือต้องกำหนดให้ฟิล์มมีความหนาสม่ำเสมอ ดังนั้นจึงต้องมีการหมุนสามครั้งในกระบวนการเคลือบเพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนด นั่นคือในขณะที่การหมุนตารางชิ้นงานขนาดใหญ่ชิ้นงานชิ้นเล็ก ๆ ที่หิ้วอยู่ด้วยการหมุนโต๊ะและชิ้นงานสามารถหมุนได้ในเวลาเดียวกัน ในการออกแบบเชิงกลโดยทั่วไปมีเกียร์ขับขนาดใหญ่อยู่ตรงกลางของด้านล่างของจานเสียงชิ้นใหญ่ที่ล้อมรอบด้วยล้อดาวขนาดเล็กบางอันเพื่อจับคู่กับมันแล้วใช้ส้อมส้อมเพื่อสลับชิ้นงานให้หมุน แน่นอนว่าเมื่อทำการเคลือบแม่พิมพ์โดยทั่วไปการหมุนเวียนสองครั้งจะเพียงพอ แต่ความสามารถในการรับน้ำหนักของเฟืองจะต้องเพิ่มขึ้นอย่างมาก

7. ระบบการวัดความร้อนและอุณหภูมิ

เมื่อทำแม่พิมพ์ขึ้นรูปวิธีการให้ความร้อนสม่ำเสมอของชิ้นงานมีความสำคัญมากกว่ากระบวนการเคลือบผิว อุปกรณ์เคลือบแม่พิมพ์โดยทั่วไปมีสองเครื่องทำความร้อนทั้งด้านหน้าและด้านหลังและใช้เทอร์โมคัปเปิ้ลเพื่อวัดและควบคุมอุณหภูมิ อย่างไรก็ตามเนื่องจากจุดยึดที่ต่างกันของเทอร์โมคัปเปิ้ลการอ่านค่าอุณหภูมิไม่สามารถเป็นอุณหภูมิที่แท้จริงของชิ้นงานได้ มีหลายวิธีในการวัดอุณหภูมิที่แท้จริงของชิ้นงาน นี่คือ Thermomeer พื้นผิวที่ใช้งานง่าย หลักการทำงานของเครื่องวัดอุณหภูมินี้คือเมื่อเทอร์โมมิเตอร์อุ่นอุณหภูมิสปริงที่ด้านล่างจะอุ่นขึ้นเพื่อให้ตัวชี้จะผลักดันตัวกำหนดตำแหน่งให้หมุนไปจนถึงอุณหภูมิสูงสุด เมื่ออุณหภูมิลดลงสปริงจะหดตัวและตัวชี้จะหมุนไปในทิศทางย้อนกลับ แต่ตัวชี้ตำแหน่งจะยังคงอยู่ในตำแหน่งที่อุณหภูมิสูงสุด หลังจากเปิดประตูแล้วอุณหภูมิที่ระบุโดยตัวชี้ตำแหน่งจะถูกอ่านนั่นคืออุณหภูมิสูงสุดที่เทอร์โมมิเตอร์พื้นผิวได้รับเมื่อให้ความร้อนในห้องสูญญากาศ

8. การระเหยไอออนและการปะทุ

แหล่งการระเหยของการชุบหลายโค้งโดยทั่วไปคือรอบซึ่งรู้จักกันทั่วไปว่าเป็นเป้าหมายรอบ ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมาเป้าหมายแบบหลายจุดโค้งก็ปรากฏตัวขึ้น แต่ก็ยังไม่มีผลชัดเจน เป้าหมายรอบติดตั้งอยู่บนที่วางขั้วทองแดง (ขั้วลบ) และทั้งสองขันเข้าด้วยกัน มีแม่เหล็กอยู่ในที่ยึดเป้าหมายและความแรงของสนามแม่เหล็กสามารถเปลี่ยนแปลงได้โดยการเลื่อนแม่เหล็กไปมาและความเร็วในการเคลื่อนที่และการติดตามจุดโค้งสามารถปรับเปลี่ยนได้เช่นนี้ เพื่อลดอุณหภูมิของเป้าหมายและที่ยึดเป้าหมายน้ำเย็นจะถูกจัดเตรียมให้กับผู้ถือเป้าหมายอย่างต่อเนื่อง และเพื่อให้แน่ใจว่ามีการนำไฟฟ้าและความร้อนสูงระหว่างเป้าหมายและที่ยึดเป้าหมายแผ่นปะเก็นดีบุก (Sn) สามารถเพิ่มระหว่างเป้าหมายกับที่วางเป้าหมายได้ นอกจากนี้การเคลือบด้วย magnetron sputtering โดยทั่วไปจะใช้เป็นรูปสี่เหลี่ยมหรือทรงกระบอก

9. ระบบระบายความร้อนด้วยน้ำ

สำหรับการเคลือบแม่พิมพ์เพื่อเพิ่มอัตราการทำให้เป็นละอองของอะตอมโลหะแต่ละตัวยึดขั้วแคโทดจะใช้พลังงานมากที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ซึ่งต้องใช้ความเย็นอย่างเพียงพอ นอกจากนี้อุณหภูมิความร้อนของหลายชนิดของเครื่องมือและแม่พิมพ์เคลือบเป็น 400 ~ 500 ℃ ดังนั้นการระบายความร้อนของผนังห้องสูญญากาศและพื้นผิวการปิดผนึกแต่ละชิ้นจึงมีความสำคัญมากดังนั้นน้ำหล่อเย็นจึงควรได้รับจากเครื่องทำความเย็นประมาณ 18 ถึง 20 องศาเซลเซียส เพื่อป้องกันไม่ให้ผนังห้องสูญญากาศในอุณหภูมิต่ำและแคโทดละลายน้ำเมื่อสัมผัสกับอากาศร้อนหลังจากเปิดประตูระบบระบายความร้อนด้วยน้ำควรจะสามารถเปลี่ยนไปใช้แหล่งน้ำร้อนได้ประมาณ 10 นาทีก่อนที่ประตูจะเปิดขึ้น อุณหภูมิน้ำร้อนประมาณ 40 ~ 45 ℃