ขั้นตอนพื้นฐานของกระบวนการเคลือบ PVD ของสุญญากาศ
Apr 11, 2018| กระบวนการปรับสภาพผิว
Decoating, ระเบิด, ขัด, passivating, ทำความสะอาด, หนีบ
กระบวนการเคลือบผิว
การอพยพการทำความร้อนการทดสอบการรั่วไหลการล้างข้อมูลการระบายความร้อนการเคลือบระบายความร้อนออก
หลังการรักษา
1. การทำความสะอาด: ตรวจสอบให้แน่ใจว่าพื้นผิวของผลิตภัณฑ์ก่อนที่จะเคลือบผิวจะทำความสะอาดทำความสะอาดพื้นผิวได้ดียิ่งขึ้น
2. การอพยพ: ระบายก๊าซที่เหลือออกจากห้องสุญญากาศ
3. การทำความร้อน: เตาเผาและชิ้นงานถูกให้ความร้อนในเวลาเดียวกันเพื่อเร่งการปลดปล่อยก๊าซเหลือทิ้ง
4. การทดสอบอัตราการเพิ่มขึ้นของอัตราแรงดันไฟฟ้า: อัตราการรั่วไหลของแก๊สและอัตราการปลดปล่อยก๊าซของเตาเผาทดสอบ
5. การล้างข้อมูลการกวาดล้าง: ขจัดสิ่งสกปรกออกจากพื้นผิวของชิ้นงานเพื่อให้พื้นผิวที่สะอาด
6. การเคลือบผิว: ภาพยนตร์ที่นำฝาก
7. การระบายความร้อน: หลีกเลี่ยงการเกิดออกซิเดชันและการเปลี่ยนสีของชิ้นงาน
ทำไมระบายความร้อน?
หลังจากเสร็จสิ้นการเคลือบแล้วอุณหภูมิของห้องสุญญากาศจะอยู่ที่ 500 ° C หากมีการระบายอากาศโดยไม่ระบายความร้อนพื้นผิวของชิ้นงานที่มีอุณหภูมิสูงซึ่งไม่ได้รับการชุบจะกลายเป็นสีฟ้าเนื่องจากปฏิกิริยากับอากาศ
วิธีการระบายความร้อน?
1. ปิดวาล์วและมาตรวัดสูญญากาศสูงและแยกห้องสุญญากาศออกจากกลุ่มปั๊ม
2. เมื่อผู้ดำเนินการกดปุ่มระบายอากาศ N 2 ไนโตรเจนที่เชื่อมต่อไว้ก่อนจะถูกเติมเข้าไปในห้องสุญญากาศผ่านวาล์วอัตราการไหลของไนโตรเจน N2 และเมื่อความดันในห้องสุญญากาศถึงแรงกดที่ตั้งไว้ล่วงหน้าของสวิตช์ความดัน N 2 ปิดวาล์วอัตราเงินเฟ้อ
3. ห้องสูญญากาศเต็มไปด้วย N 2 จำนวนมากและระดับสูญญากาศต่ำมากซึ่งเป็นตัวนำความร้อนมากขึ้น สามารถลดระยะเวลาในการระบายความร้อนและเพิ่มประสิทธิภาพในการผลิตและเวลาการระบายความร้อนที่แท้จริงสามารถลดลงจาก 90 นาทีเป็น 60 นาที
4. เนื่องจากฮีเลียมมีการนำความร้อนสูงกว่าความเย็นของฮีเลียมจะเร็วกว่าไนโตรเจน แต่ค่าใช้จ่ายสูงกว่า
5. โปรแกรมระบายความร้อนอย่างรวดเร็วสำหรับอุปกรณ์จากต่างประเทศสามารถลดระยะเวลาในการทำความเย็นได้ถึง 50% โดยการระบายความร้อนรอบการทำความเย็นของแก๊ส
เหตุผลสำหรับการทดสอบความดันเพิ่มขึ้น
สภาพสูญญากาศเป็นปัจจัยที่สำคัญที่สุดที่มีผลต่อคุณภาพการเคลือบผิวขั้นสุดท้าย ก่อนการเคลือบผิวต้องมีการเพิ่มอัตราความดันเพื่อให้แน่ใจว่าสภาพแวดล้อมของสภาวะสูญญากาศเป็นไปตามมาตรฐานการเคลือบผิว