คุณสมบัติการเคลือบผิวของเครื่องชุบไอออนแบบสูญญากาศ

เมื่อเทียบกับเครื่องเคลือบการระเหยและเครื่องเคลือบสปัตเตอร์เครื่องเคลือบไอออนไนซ์จะมีลักษณะเฉพาะจากการที่ไอออนที่ใส่ประจุวางระเบิดและพื้นฟิล์ม ชุดของผลกระทบที่เกิดจากการทิ้งไอออนพลังไอออนมีประเด็นสำคัญดังต่อไปนี้:

1. แรงยึดเกาะฟิล์ม / ฐาน (การยึดติด) มีความแข็งแรงและชั้นฟิล์มไม่หลุดออกง่าย เนื่องจากผลกระทบของการรั่วไหลของไอออนบนพื้นผิวการสึกหรอของไอออนจะทำให้พื้นผิวทำความสะอาดเปิดและอุ่นขึ้นซึ่งสามารถขจัดก๊าซที่ถูกดูดซับและชั้นการปนเปื้อนบนพื้นผิวของพื้นผิวและสามารถใช้ oxide บนพื้นผิวของพื้นผิวได้ ลบออก ความร้อนและข้อบกพร่องที่เกิดจากการทิ้งไอออนสามารถเพิ่มประสิทธิภาพการแพร่ของพื้นผิวได้ ไม่เพียง แต่ช่วยเพิ่มโครงสร้างจุลภาคและคุณสมบัติการตกผลึกของชั้นผิวของพื้นผิวเท่านั้น แต่ยังเป็นเงื่อนไขในการสร้างอัลลอยด์ นอกจากนี้การทิ้งไอออนพลังงานไอออนบวกยังทำให้เกิดไอออนบวกไอออนและไอออนบวก

2. เครื่องเคลือบไอออนมีคุณสมบัติการกระจายตัวที่ดี ในตัวทำละลายหลอดไฟไอออนหรือโมเลกุลของไอไอระเหยที่เป็นไอระเหยที่ความดันสูง (≥1พี) จะเกิดการชนกันของโมเลกุลของก๊าซหลาย ๆ ตัวบนพื้นผิว ดังนั้นอนุภาคของฟิล์มสามารถกระจายอยู่รอบ ๆ พื้นผิวได้ นี่เป็นการเพิ่มความครอบคลุมของภาพยนตร์ นอกจากนี้ยังสามารถนำไอออนอิออนไอออนของเครื่องพ่นไอออนแบบหลายส่วนมาวางโดยโรงไฟฟ้าได้ทุกที่บนพื้นผิวของพื้นผิวแรงดันไฟฟ้าเชิงลบ ดังนั้นจุดนี้ของการชุบระเหยไม่สามารถทำได้

3. คุณภาพการเคลือบสูง ในขณะที่การทิ้งระเบิดไอออนสามารถเพิ่มความหนาแน่นของฟิล์มเครื่องเคลือบผิวด้วยสปัตเตอร์สามารถปรับปรุงโครงสร้างของฟิล์มซึ่งจะทำให้ฟิล์มมีความสม่ำเสมอสม่ำเสมอโครงสร้างจุลภาคเคลือบมีขนาดกะทัดรัดและรูรับแสงและฟองอากาศน้อยลง ดังนั้นคุณภาพของชั้นฟิล์มจึงดีขึ้น

4. อัตราการตกสะสมสูงและความเร็วในการขึ้นรูปฟิล์มเร็วและสามารถจัดเตรียมฟิล์มหนา 30 ไมครอนได้

วัสดุวัสดุรองพื้นและวัสดุเคลือบที่ใช้กับการเคลือบจะค่อนข้างกว้างขวาง เหมาะสำหรับเคลือบโลหะวัสดุผสมและอโลหะบนพื้นผิวโลหะหรือที่ไม่ใช่โลหะเช่นเหล็กกล้าโลหะไม่มีธาตุเหล็กควอตซ์เซรามิคพลาสติกและวัสดุอื่น ๆ เนื่องจากกิจกรรมพลาสม่าจะเป็นประโยชน์ในการลดอุณหภูมิสังเคราะห์ของสารประกอบดังนั้นเครื่องเคลือบไอออนแบบหลายส่วนจึงสามารถฉายแผ่นฟิล์มแข็งได้หลายแบบด้วยการชุบไอออน

เนื่องจากลักษณะดังกล่าวข้างต้นเครื่องชุบไอออนจึงมีลักษณะการใช้งานที่หลากหลาย เทคโนโลยีการชุบไอออนสามารถใช้ในการเคลือบโลหะโลหะผสมวัสดุที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าและแม้กระทั่งวัสดุที่ไม่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้า ภาพยนตร์ที่ฝากโดยเครื่องเคลือบหลายโค้งสามารถเป็นฟิล์มโลหะ, ฟิล์มผสมหลายชนิดและฟิล์มผสมซึ่งสามารถเคลือบด้วยการเคลือบเดี่ยวหรือการเคลือบด้วยคอมโพสิตและยังสามารถชุบด้วยการเคลือบผิวแบบไล่ระดับสีและนาโน เคลือบหลายชั้น ด้วยวัสดุเมมเบรนที่แตกต่างกันแก๊สปฏิกิริยาต่างๆและวิธีการและพารามิเตอร์ของกระบวนการต่างๆจึงเป็นไปได้ที่จะได้รับการเคลือบทนต่อการสึกหรอที่ทนทานต่อพื้นผิวการเคลือบป้องกันการกัดกร่อนที่มีขนาดกะทัดรัดและเสถียรทางเคมีชั้นหล่อลื่นแบบแข็งและสีเคลือบตกแต่งต่างๆและพิเศษ เคลือบหน้าที่สำหรับอิเล็กทรอนิกส์ทัศนศาสตร์และวิทยาศาสตร์พลังงานและอื่น ๆ เทคโนโลยีเคลือบไอออนและผลิตภัณฑ์เคลือบผิวด้วยไอออนได้รับการยอมรับอย่างกว้างขวาง