การศึกษาลักษณะของระดับสุญญากาศหน่วยและการแบ่งเขตสุญญากาศ

การศึกษาลักษณะของระดับสุญญากาศหน่วยและการแบ่งเขตสุญญากาศ

IKS PVD เราเป็นผู้ผลิตอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศ PVD ติดต่อกับเราตอนนี้ iks.pvd @ foxmail.come

มันไม่สมเหตุสมผลที่จะใช้แรงดันแทนระดับสูญญากาศซึ่งถูกใช้ในประวัติศาสตร์ของการวัดสูญญากาศโดย manometer ชนิด u

ในระบบสูญญากาศทั่วไปปริมาณทางกายภาพที่หยุดนิ่งของแรงดันแก๊สกลางแบบไอโซโทรปิกมักใช้เพื่อแสดงระดับสุญญากาศ ดังนั้นการวัดระดับสูญญากาศจึงเป็นเพียงการวัดความดัน อย่างไรก็ตามควรให้ความสนใจเป็นพิเศษกับเงื่อนไขการตรวจวัดซึ่ง ได้แก่ การเคลื่อนที่แบบสุ่ม, สถานะคงที่และก๊าซเป็นกลางเดี่ยวแบบไอโซโทรปิกในภาชนะ จำกัด ในกรณีนี้การกระจายความเร็วแมกซ์เวล, กฎการกระเจิงของโคไซน์และแนวคิดแรงดันไฮโดรสแตติก (p = nkT, v = 1 / 4nc, p = h gh) ค่อนข้างสอดคล้องกับความเป็นจริงวัตถุประสงค์การวัดระดับสุญญากาศค่อนข้างง่ายและสะดวก

ตามคำจำกัดความของระดับสูญญากาศจะเป็นการดีกว่าที่จะแสดงระดับความสูญญากาศโดยความหนาแน่นของโมเลกุล n และมันไม่ขัดแย้งที่จะแสดงระดับความสูญญากาศโดยความดัน เมื่อวัดความดันก๊าซโดยทั่วไปจะอยู่ในสภาวะสมดุลและเป็นไปตามกฎการกระจายความเร็วของแมกซ์เวลนั่นคือ p = nkT เป็นจริง อุณหภูมิของก๊าซคงที่ ณ เวลาที่ทำการวัดดังนั้นความดันของก๊าซ p จึงแปรผันตามความหนาแน่นของโมเลกุล n กล่าวอีกนัยหนึ่งความดันคือการวัดความหนาแน่นของโมเลกุลดังนั้นสุญญากาศสามารถแสดงเป็นความดันได้

ในการวิจัยอวกาศวัตถุการวิจัยคือการเคลื่อนที่ของพื้นที่ไม่มีที่สิ้นสุด (1 ~ 10 KMS - 1 หรือสูงกว่า) และภายใต้การกระทำของความซับซ้อนที่ไม่มั่นคงสภาพแวดล้อมแบบบูรณาการกฎหมายการกระจายความเร็วสูงสุดและกฎหมายการกระจัดกระจายของโคไซน์ สูญเสียความหมายทางกายภาพดั้งเดิมดังนั้นความดันของการวัดสุญญากาศจึงซับซ้อนและยากขึ้น

โดยทั่วไปแล้วมันเป็นที่นิยมและใช้เพื่อแสดงระดับสุญญากาศโดยความดัน แต่มันไม่ได้เป็นเพียงคนเดียว พารามิเตอร์ต่อไปนี้สามารถใช้เพื่อแสดงระดับสุญญากาศ:

เมื่อระดับสุญญากาศสูงมากนั่นคือเมื่อความหนาแน่นของโมเลกุลมีขนาดเล็กมากความผันผวนทางสถิติจะชัดเจนมาก ตัวอย่างเช่นเมื่อความดัน p = 10-12 pa ความผันผวนทางสถิติมีค่ามากกว่า 5 เท่า 10-2 และความดันลดลงอย่างมีนัยสำคัญ ดังนั้นในบางกรณีความดันจึงเป็นเพียงตัวบ่งชี้สัมพัทธ์ของปริมาณอื่น ๆ

1. คำถาม & คำตอบ

หน่วยสูญญากาศ?

ความดันของก๊าซที่กำหนดโดยการชนกันของโมเลกุลก๊าซบนพื้นผิวคืออัตราการเปลี่ยนแปลงเวลาขององค์ประกอบแนวดิ่งของโมเมนตัมของโมเลกุลก๊าซชนกับพื้นที่ผิวของหน่วยนั่นคือแรงที่ได้รับต่อหน่วยพื้นที่ในปาสกาล หรือพ่อ

1 pa = 1 Nm - 2

ในทางวิศวกรรมบางครั้งค่าของ pa มีขนาดเล็กเกินไป kPa และ MPa มักถูกใช้เพื่อแสดงความกดดัน สูญญากาศต่ำบางครั้งแสดงเป็น "เปอร์เซ็นต์สูญญากาศ" เช่นปั๊มสูญญากาศน้ำแหวนปั๊มสูญญากาศแบบลูกสูบและปั๊มสุญญากาศรากอากาศตรงมักจะแสดงในสูญญากาศหน่วยนี้ เมื่อความดัน p> 102Pa เปอร์เซ็นต์สุญญากาศคือเดลต้า

สถานที่: p0 - ความดันบรรยากาศมาตรฐาน, Pa

การแบ่งเขตสุญญากาศ

ด้วยหน่วยวัดระดับสูญญากาศระดับสูญญากาศสามารถแสดงปริมาณได้ อย่างไรก็ตามในปัจจุบันช่วงความดันที่เกี่ยวข้องกับเทคโนโลยีสูญญากาศมีขนาดถึง 20 ออเดอร์เพื่อที่จะอำนวยความสะดวกในการใช้งานบางครั้งก็จำเป็นที่จะต้องชี้ให้เห็นช่วงทั่วไปของระดับสุญญากาศโดยทั่วไปในเชิงคุณภาพ . ลักษณะทางกายภาพของการเคลื่อนที่ของโมเลกุลก๊าซในสภาวะสุญญากาศและช่วงการทำงานที่มีประสิทธิภาพของปั๊มสุญญากาศและเกจวัดสูญญากาศได้รับการพิจารณาตามพื้นฐานของการแบ่งส่วน

สำหรับการแบ่งเขตสูญญากาศในประเทศจีนเงื่อนไขของเทคโนโลยีสูญญากาศ (gb3163-1982) กำหนดไว้ดังนี้:

สูญญากาศหยาบ, สูญญากาศต่ำและสูญญากาศสูงจะแบ่งตามเส้นทางอิสระของโมเลกุลก๊าซเปรียบเทียบกับขนาด d ลักษณะของภาชนะบรรจุ ข้อพิจารณาหลักคือการชนกันระหว่างโมเลกุลของก๊าซหรือการปะทะกันระหว่างโมเลกุลของก๊าซและผนังของอุปกรณ์มีบทบาทชี้ขาดในการเกิดปรากฏการณ์ทางกายภาพ

ขอบเขตระหว่างสูญญากาศสูงและสูญญากาศสูงพิเศษตั้งไว้ที่ 10-6Pa เหตุผลหลักคือการพิจารณากลไกการดูดซับทางกายภาพของสุญญากาศ เฉพาะเมื่อความดัน p <10-6pa ชัดเจนสามารถหาได้จากปั๊มกระจายสำหรับการแยกและวัดความดันด้วย="" ba=""> สำหรับขอบเขตระหว่างสูญญากาศสูงพิเศษและสุญญากาศสูงพิเศษเป็นเพราะความผันผวนทางสถิติ (มากกว่า 5 * 10-2) เกิดขึ้นเมื่อ p <10-12>

ภูมิภาคสูญญากาศด้านบนถูกแบ่งออกเป็นภูมิภาคที่เป็นตัวแทนของช่วงความดันเนื่องจากความดันยังคงแสดงเป็นองศา อย่างไรก็ตามในสุญญากาศต่ำสุญญากาศสูงสูญญากาศสูงมากและสูญญากาศสูงมากความดันที่อ้างถึงนั้นแตกต่างกันอย่างมากโดยเฉพาะการบ่งชี้สัมพัทธ์ของปริมาณอื่น

ลักษณะทางกายภาพของสูญญากาศปั๊มสุญญากาศและเกจวัดสูญญากาศที่ใช้ในแต่ละภูมิภาคมีรายละเอียดในตารางที่ 1

ด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีสูญญากาศการแบ่งเขตสูญญากาศก็เปลี่ยนไปเช่นกัน