การจำแนกประเภทเครื่องวัดเครื่องสูญญากาศ
Jul 03, 2018| 1. จำแนกตามวิธีการสอบเทียบสุญญากาศ
(1) มาตรวัดสูญญากาศสมบูรณ์: อ่านแรงดันก๊าซโดยตรง การตอบสนองต่อแรงดัน (มาตราส่วน) สามารถคำนวณด้วยรูปทรงของตัวเองหรือกำหนดโดยแรงวัด มาตรวัดสูญญากาศที่สมบูรณ์ถูกต้องสำหรับก๊าซทั้งหมด เครื่องวัดค่าแรงดันแบบ U, เครื่องวัดการบีบอัดและเครื่องวัดการแผ่รังสีความร้อนทั้งหมดอยู่ในเครื่องวัดสูญญากาศแบบสัมบูรณ์
(2) เครื่องวัดสุญญากาศสัมพัทธ์: ความดันวัดได้จากปริมาณที่เกี่ยวข้องกับความดันแก๊ส ไม่สามารถปรับขนาดโดยการคำนวณแบบง่ายๆและต้องปรับเทียบเป็นขนาด เครื่องวัดสูญญากาศสัมพัทธ์โดยทั่วไปประกอบด้วยหลอดสูญญากาศ (หรือหัววัด) ที่ใช้เป็นตัววัดและตัววัดที่ใช้สำหรับควบคุมและบ่งชี้ การอ่านมีความเกี่ยวข้องกับชนิดของก๊าซ เครื่องวัดสูญญากาศแบบสุญญากาศหลายประเภทเช่นมาตรวัดสูญญากาศความร้อนและเครื่องวัดสูญญากาศไอออไนซ์
2. การจำแนกตามหลักการวัดสูญญากาศ
2.1 มาตรวัดสูญญากาศโดยตรง
เครื่องวัดสูญญากาศชนิดนี้จะวัดแรงต่อหน่วยของพื้นที่ได้โดยตรง ได้แก่ :
(1) เครื่องวัดสุญญากาศระดับคงที่ของเหลว: ความดันวัดจากระดับความต่างของระดับน้ำที่ปลายทั้งสองของท่อรูปตัวยู
(2) เครื่องวัดสูญญากาศสูญญากาศ: พื้นผิวของภาชนะที่เชื่อมต่อกับสูญญากาศจะต้องรับแรงดันเพื่อสร้างความยืดหยุ่น ขนาดของค่าความดันวัดโดยการเปลี่ยนรูปยืดหยุ่น
2.2 มาตรวัดสูญญากาศแบบอ้อม
เมื่อความดันอยู่ที่ 10-1 Pa แรงที่กระทำต่อผิวหน้าของ 1 ซม. 2 มีค่าเพียง 10 -5 N และเห็นได้ชัดว่ายากที่จะวัดแรงขนาดเล็กเช่นนี้ อย่างไรก็ตามการเปลี่ยนแปลงความดันสามารถวัดได้โดยทางอ้อมตามการเปลี่ยนแปลงของปริมาณทางกายภาพที่เกี่ยวข้องกับแรงดันแก๊สที่ความดันต่ำ ชนิดของเครื่องวัดสูญญากาศ ได้แก่ :
(1) เครื่องวัดสูญญากาศอัด: หลักการคือการใช้กฎหมาย Boyle บนพื้นฐานของ U- หลอดนั่นคือจำนวนหนึ่งของก๊าซที่จะทดสอบจะถูกบีบอัด isothermal เพื่อเพิ่มความดันเพื่อที่จะวัดโดย เครื่องวัดสูญญากาศแบบ U-tube จากนั้นคำนวณความดันที่วัดได้โดยใช้ความสัมพันธ์ระหว่างปริมาตรและความดัน
(2) เครื่องวัดสุญญากาศนำความร้อน: ทำตามหลักการที่การนำความร้อนของแก๊สภายใต้แรงดันต่ำเกี่ยวข้องกับความดัน เครื่องวัดสูญญากาศที่ใช้กันทั่วไปคือเครื่องวัดสูญญากาศทนความร้อนและเครื่องวัดสูญญากาศแบบเทอร์โมคัปเปล
(3) มาตรวัดสูญญากาศการแผ่รังสีความร้อน: ใช้หลักการของการแผ่รังสีความร้อนและความดัน
(4) ไอออนไนซ์สูญญากาศวัด: หลักการที่โมเลกุลของก๊าซได้รับผลกระทบและ ionized โดยอนุภาคประจุภายใต้ความดันต่ำและการเปลี่ยนแปลงไอออนที่สร้างขึ้นในปัจจุบันด้วยพลังงานไฟฟ้า เครื่องวัดสูญญากาศไอออนไนซ์รวมถึงเครื่องวัดสูญญากาศไอออนไนซ์แบบแคโทดร้อนแคโทดไอออนไนซ์สูญญากาศเครื่องวัดสูญญากาศไอออนไนโตรเจนและอื่น ๆ
(5) ตัวบ่งชี้ท่อปล่อย: ระดับของสูญญากาศจะถูกวัดโดยสภาวะการปลดปล่อยแก๊สและลักษณะของสีและความดันที่ปล่อยออกมาและโดยทั่วไปสามารถใช้เป็นเครื่องวัดคุณภาพเท่านั้น
(6) เกจวัดความหนืด: หลักการของแรงเสียดทานภายนอกใช้เพื่อวัดความดัน รวมทั้งเครื่องวัดสูญญากาศสุญญากาศและเครื่องระงับแรงสั่นสะเทือนของใบพัดแม่เหล็ก
(7) กล้องจุลทรรศน์ที่เกิดจากสนาม: ความดันจะคำนวณโดยความสัมพันธ์ระหว่างเวลาการดูดซับและการทำให้หมดเวลาและความดัน
(8) เครื่องวัดสูญญากาศแบบบางส่วน: ใช้เทคนิคมวลสารเพื่อวัดความดันบางส่วนของแก๊สผสม เครื่องวัดที่ใช้โดยทั่วไปคือเครื่องวัดมวลหมู่สี่ส่วนเครื่องวัดมวลไซโคลตรอนและเครื่องสเปกโตรมิเตอร์มวลความถี่วิทยุ