ระบบสามารถรวมแหล่งจ่ายพลังงานไอน้ำ magnetron ด้วยเป้าหมายขนาดเส้นผ่าศูนย์กลาง 1.5 นิ้วหรือ 2 นิ้วและแหล่งข้อมูลได้สูงสุด 4 แห่งต่อระบบโดยสามารถใช้คลื่นความถี่ RF และ DC ได้ มีตัวเลือกมากมายเช่น MFCs สำหรับแก๊สที่แตกต่างกันแพคเกจแหล่งจ่ายไฟ, ล็อคโหลดเดี่ยวหรือหลายเวเฟอร์ ฯลฯ สามารถให้ได้ Magnetron สามารถติดตั้งบน Z-stages เพื่อให้ได้หลากหลายและมีความละเอียดของอัตราการสะสม

ขนาดของแผ่นทดสอบมีตั้งแต่ขนาดตั้งแต่ 4 มม. ถึงมากกว่า 25 มม. สแควร์เหมาะกับความต้องการของผู้ใช้ ง่ายมากที่จะเปลี่ยนขนาดของแผ่นทดสอบและระยะทางทีละขั้นตอนและซ้ำในฟิลด์ด้วยซอฟต์แวร์ที่ใช้งานง่ายของเรา

ความสามารถและส่วนประกอบ

ระบบสปัตเตอร์แบบผสมผสานจะช่วยให้ผู้ใช้มีความสามารถหลากหลายสำหรับการเติบโตของวัสดุใหม่ ๆ อุปกรณ์ดังกล่าวจะช่วยให้ลูกค้าสามารถตรวจสอบองค์ประกอบที่เหมาะสมสำหรับแอพพลิเคชันที่เฉพาะเจาะจงช่วยประหยัดเวลาและค่าใช้จ่ายในการทดสอบร้อยเปอร์เซนต์ที่เป็นเอกลักษณ์ในแต่ละครั้ง

ระบบมาพร้อมกับส่วนประกอบที่จำเป็นทั้งหมดเช่นกล่องจ่ายไฟอุปกรณ์ไฟฟ้า MFCs เวเฟอร์สวิตช์การเชื่อมต่อการไหลและวาล์วนิวแมติกพร้อมกับข้อเสนอแนะแบบวงรอบปิดสำหรับการควบคุมความดันคงที่แพคเกจปั๊มต่างๆซอฟท์แวเต็มรูปแบบ ฯลฯ แต่ละเครื่อง สามารถปรับแต่งเป็นรายบุคคลตามความต้องการเฉพาะของลูกค้าได้