ระบบสุญญากาศสูงพิเศษแบบผสมผสาน

ระบบสุญญากาศสูงพิเศษแบบผสมผสาน

สำหรับระบบสุญญากาศบางระบบที่มีข้อกำหนดพิเศษ เช่น ระบบที่ต้องการสุญญากาศสูงพิเศษหรือสุญญากาศสูงพิเศษโดยไม่ต้องใช้น้ำมัน และในขณะเดียวกันก็ตอบสนองความต้องการการปั๊มแบบหยาบและสามารถรับมือกับก๊าซปริมาณมากที่ปล่อยออกมาในระหว่างกระบวนการ สามารถใช้ระบบรวมเพื่อตอบสนองความต้องการได้ รูปที่. 1 แสดงแผนผังของระบบสูญญากาศของเครื่องเคลือบสูญญากาศสูงพิเศษที่ไม่มีน้ำมัน ปั๊มหลักคือปั๊มไอออนสปัตเตอร์ซึ่งติดตั้งปั๊มระเหิดไทเทเนียมเพื่อปรับปรุงระดับสุญญากาศและปล่อยก๊าซจำนวนมากที่เกิดจากการระเหยของวัสดุ สูญญากาศสูงสุดสามารถเข้าถึง 6.67×10-7Pa ปั๊มพรีปั๊มด้วยปั๊มตะแกรงโมเลกุลเป็นปั๊มหลัก นอกจากนี้ ระบบยังติดตั้งกับดักดูดซับ - ระบบสูบน้ำดิบปั๊มกล เมื่อความดันมากกว่า 1333Pa ปั๊มเครื่องกลไม่ง่ายที่จะคืนน้ำมัน ปั๊มเครื่องกลดูดฝุ่นห้องสุญญากาศโดยตรง เมื่อความดันของ ห้องสูญญากาศต่ำกว่า 1333Pa ปั๊มกลผ่านกับดักการดูดซับ 9 จากห้องสูญญากาศบายพาส

1. ห้องสุญญากาศ 2. วาล์วประตูสุญญากาศสูงพิเศษ 3. ปั๊มไอออนสปัตเตอร์ 4. ปั๊มระเหิดไทเทเนียม 5. วาล์วสุญญากาศสูงพิเศษ6. ปล่อยวาล์ว 7.วาล์วสูญญากาศสูง 8. ปั๊มตะแกรงโมเลกุล 9. กับดักดูดซับ 10. ปั๊มเครื่องกล
รูปที่. 1 แผนผังของระบบสูญญากาศของเครื่องเคลือบสูญญากาศสูงพิเศษที่ปราศจากน้ำมัน

บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบแสง, สายการเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการเทิร์นคีย์พร้อมใช้งาน.ติดต่อเราตอนนี้ E-mail:iks.pvd@foxmail.com