การวิเคราะห์ข้อมูลข้อดีของเครื่องสูบเทอร์โมไบโอเมตริก

เนื่องจากเครื่องสูบเทอร์โมโมเลกุลรุ่นนี้สามารถทำงานได้ดีกว่าปั๊มไครโยจีนิกปั๊มไอออนและปั๊มการแพร่กระจายในบางแง่มุม ใช้ในสถานการณ์ปกติมากที่สุด

(1) ทำความสะอาดโดยปราศจากไอน้ำมัน

ปั๊มเทอร์โมมิเตอร์สามารถทำงานได้ตามขั้นตอนการทำงานโดยไม่ต้องใช้กับดักใด ๆ และสามารถให้สภาพแวดล้อมสูญญากาศที่สะอาดมากซึ่งประกอบด้วยไฮโดรคาร์บอนสำหรับถังบรรจุที่สูบ ปั้มขนาดใหญ่ส่วนใหญ่ใช้แบริ่งหล่อลื่นที่มีจาระบีแล้วปั๊มขนาดเล็กบางตัวยังใช้แบริ่งอากาศ แต่มักใช้แบริ่งแม่เหล็กบ่อยขึ้น ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมามีปั๊มสำรองแบบแห้งหลายชนิดเพื่อให้ระบบปั๊มเทอร์โมมิเตอร์เหลวไม่มีไอน้ำหล่อเย็นซึ่งเป็นปั๊มสุญญากาศชนิดแห้งที่สะอาดอย่างแท้จริง (รูปที่ 4)

                            ความดันสูงสุด: 2 × 10-7 Pa

รูปที่ 4 การตรวจสอบปริมาณก๊าซเหลือทิ้งของปั๊มเทอโบมิโอเมก้า

รูปที่ 4 แสดงให้เห็นว่าไม่มีไฮโดรคาร์บอนในระบบปั๊มเทอร์โมมิเตอร์ออยล์ 17 และ 18 บนเส้นโค้งหมายถึง OH + และ H2O +

(2) ใช้งานง่าย

ในการใช้งานจำนวนมากปั๊มเทอร์โมมิเตอร์ไม่จำเป็นต้องมีวาล์วสูญญากาศสูงหรือวาล์วสูญญากาศแบบหยาบ สามารถใช้งานได้ง่ายๆเพียงแค่กดปุ่มกดและลดความดันสูงสุดจากความกดอากาศ ระบบนี้สามารถปั๊มหยาบได้โดยใช้ปั๊มเทอร์โมมิเตอร์และเครื่องสูบน้ำสามารถเร่งความเร็วได้โดยตรงซึ่งช่วยลดความต้องการส่วนประกอบสูญญากาศเช่นวาล์วท่อดักและตัวควบคุมวาล์วรวมถึงความล้มเหลวของส่วนประกอบเหล่านี้ ดังนั้นระบบปั๊มเทอร์โมมิเตอร์จึงใช้พื้นที่น้อยและทิศทางการติดตั้งของมันไม่ จำกัด ดังนั้นปั๊มจึงสามารถติดตั้งได้ในทุกทิศทาง (ไม่รวมปั๊มสูบน้ำมันหล่อลื่นที่สามารถทำงานได้ในช่วงแนวตั้ง± 5 องศา) ด้วยคุณสมบัตินี้คุณสามารถใช้ปั๊มเทอร์โมมิเตอร์ชนิดนี้ได้ในสถานที่ติดตั้งที่มีอยู่ จำกัด

(3) ความสามารถในการส่งแก๊สที่แข็งแกร่ง

เครื่องสูบเทอร์โมชนิดโมเลกุลส่วนใหญ่มีความสามารถในการส่งก๊าซที่เป็นของเหลวได้ดีเช่นไฮโดรเจนและฮีเลียมดังนั้นจึงเหมาะสำหรับการดำเนินการภายใต้กระบวนการสูญญากาศสูงเป็นพิเศษเช่นกระบวนการไฮโดรเจนที่ร่ำรวยเครื่องตรวจจับการรั่วไหลของแก๊สฮีเลียมและอุปกรณ์อื่น ๆ มีปั๊มโมเลกุลเทอร์โบที่ออกแบบมาเฉพาะสำหรับแก๊สที่กัดกร่อนของเครื่องสูบน้ำพวกเขาเหมาะสำหรับการแกะสลักการกัดด้วยไอออนที่เป็นปฏิกิริยาการประมวลผลลำแสงไอออนการพ่นไอเคมีความดันต่ำ epitaxy การฝังไอออนและกระบวนการอื่น ๆ และในกระบวนการเหล่านี้แก๊สที่สูบสามารถกัดกร่อนปั๊มไครโยนิไอรอนปั๊มไอออนและน้ำมันปั๊มแพร่กระจายได้ มันทำลายแม้กระทั่งปั๊มเทอร์โมมิเตอร์ระดับมาตรฐาน แต่ไม่มีการป้องกัน เนื่องจากปั๊มโมเลกุลเทอร์โบเป็นปั๊มเกียร์ชนิดหนึ่งก๊าซที่สูบสามารถไหลผ่านได้โดยไม่ต้องสะสมในปั๊ม ดังนั้นจึงเหมาะสำหรับกระบวนการโหลดก๊าซสูงเช่นการสปัตเตอร์การกัดและอื่น ๆ

(4) เหมาะสำหรับงานที่ต้องใช้แรงดันสูงเป็นพิเศษ

ปั๊มกังหันดีเซลที่ปิดสนิทและ degassed ที่มีเครื่องสูบใบพัดแบบหมุนสองทางที่มีประสิทธิภาพดี (หรือเครื่องสูบน้ำแบบแห้งที่มีสมรรถนะเดียวกัน) สามารถมีสูญญากาศได้สูงสุด 10-9 ถึง 10-10 Torr (กล่าวคือระหว่าง 133.3 และ 13.33 nPa) ถ้าเครื่องสูบน้ำระดับโมเลกุลเทอร์โบเชื่อมต่อกับปั๊มโมเลกุลเทอร์โบที่ปิดสนิทและ degassed อีกชุดหนึ่งแรงดันสูงสุดของมันคือระหว่าง 1 × 10 -10 และ 1 × 10 -11 Torr (กล่าวคือระหว่าง 13.33 และ 1.333 nPa) แตกต่างจากปั๊มไครโยชไอออนิกหรือปั๊มไอออนิกปั๊มแบบเทอร์โมมิเตอร์สามารถทำงานได้ที่ความเร็วสูงสุดของปั๊มภายใต้สภาวะสูญญากาศที่สูงเป็นพิเศษ คุณสมบัติเหล่านี้รวมถึงความสะอาดที่ดี (ไม่มีไฮโดรคาร์บอน) ผู้ใช้จะเลือกปั๊มเทอร์โมมิเตอร์สำหรับเครื่องสเปกโตรสเลตความละเอียดสูงอุปกรณ์ epitaxy ของลำแสงโมเลกุลเครื่องมือวิเคราะห์ความสูญเสียสูงพิเศษและอุปกรณ์อื่น ๆ

(5) ประสิทธิภาพที่ดีภายใต้แรงดันสูง

แรงดันขาเข้าของปั๊มเทอร์โมมิเตอร์บางตัวสามารถทำงานระหว่าง 10-1 และ 10-3 Torr (เช่น 13.33 Pa และ 133.3 mPa) ปั๊มไอออนไม่สามารถใช้งานได้ในช่วงความดันนี้สำหรับปั๊มกระจายการทำงานจะไม่เสถียร

(6) ระยะเวลาการปั่นจักรยานสั้น ๆ

เครื่องสูบเทอร์โมโมเลเลติร์ส่วนใหญ่มักใช้เวลาประมาณ 1 ~ 3 นาทีเพื่อให้สามารถทำงานได้ตามปกติ และมีความแตกต่างกันเล็กน้อยระหว่างประเภทและรูปแบบต่างๆของปั๊ม ปั๊มเทอร์โมมิเตอร์สามารถปิดได้ทันทีและสัมผัสกับบรรยากาศ คุณลักษณะการหมุนรอบอย่างรวดเร็วนี้มีประโยชน์ในระบบป้อนข้อมูลตัวอย่างโดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับเครื่องตรวจจับการรั่วที่มือถือ

(7) เวลาให้บริการนาน

ในบางโปรแกรมปั๊มเทอร์โมมิเตอร์มีอายุการใช้งานนานกว่าปั๊มอื่น ๆ เนื่องจากภาระหนักของแก๊สและการรั่วไหลของวาล์วทำให้มีการฟื้นฟูหรือซ่อมแซมปั๊มไครโยนินิสเป็นครั้งคราว นอกจากนี้ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบยังสามารถกำจัดการปนเปื้อนของห้องสูญญากาศได้เนื่องจากน้ำมันปั๊ม