ผลของพัลส์อคติเกี่ยวกับองค์ประกอบและโครงสร้างของฟิล์มชุบไอออนแบบมัลติอาร์ก

1. เมื่อเพิ่มความอคติของชีพจรและรอบการทำงานของอนุภาคขนาดใหญ่อนุภาคขนาดใหญ่บนพื้นผิวจะลดลงอย่างมากและผลกระทบของสภาพผิวดินดีขึ้น

2. เมื่อค่าสูงสุดของแรงดันไฟฟ้าอคติเพิ่มขึ้นอัตราการสะสมจะเล็กลง เมื่ออัตราภาษีเพิ่มขึ้นอัตราการสะสมจะเพิ่มขึ้นจากนั้นจะลดลงและเมื่ออัตราส่วนของภาระงานอยู่ที่ 40% อัตราการสะสมจะมีค่ามากที่สุด

3. เปอร์เซ็นต์อะตอมของอะลูมินัมจะได้รับผลกระทบจากค่าสูงสุดของพัลส์ชีพจรและลดลงเมื่อเพิ่มแรงดันไฟฟ้าอคติ เปอร์เซ็นต์ของอะตอม Ti ส่วนใหญ่จะได้รับผลกระทบจากรอบการทำงานและลดลงเมื่อเพิ่มรอบการทำงาน

4. เมื่อเพิ่มความอคติของชีพจรความแข็งของฟิล์มจะเพิ่มขึ้นก่อนและลดลง ความแข็งของฟิล์มจะเพิ่มขึ้นจากนั้นจะลดลงและมีการเปลี่ยนแปลงที่เห็นได้ชัด