คุณสมบัติของการวัดสูญญากาศ

1. ช่วงความดันกว้าง: 10 ⁵ ถึง ^{10-14 ก} .

2. มาตรวัดสูญญากาศส่วนใหญ่ทำาการวัดทางอ้อม เมื่อความดันอยู่ที่ 10 ⁵ ถึง 10 Pa แรงต่อหน่วยสามารถวัดได้โดยตรง อย่างไรก็ตามความดันสูญญากาศส่วนใหญ่จะต้องมีการวัดน้อยกว่าที่อธิบายข้างต้นและไม่สามารถวัดได้โดยตรง การวัดทางอ้อมควรทำโดยใช้ลักษณะเฉพาะ (เช่นการนำความร้อนความหนืดและการทำให้เป็นไอออนไนซ์) ของก๊าซที่ความดันต่ำ

3. เทคโนโลยีการวัดปริมาณที่ไม่ใช่ไฟฟ้าเป็นส่วนใหญ่ เนื่องจากเทคโนโลยีการวัดปริมาณไฟฟ้าที่ไม่ใช่ไฟฟ้ามีข้อดีของความไวสูงการตอบสนองอย่างรวดเร็วการวัดแบบอัตโนมัติและระยะทาง ฯลฯ เครื่องมือวัดสูญญากาศส่วนใหญ่จะใช้วิธีนี้ เครื่องวัดสูญญากาศอิเล็กทรอนิกส์ประกอบด้วยสองส่วนคือการควบคุมเครื่องวัดสูญญากาศและวงจรการวัดอิเล็กทรอนิกส์ (ชุดควบคุมและตัวบ่งชี้) เครื่องวัดเป็นส่วนประกอบสำคัญ ใช้ลักษณะเฉพาะของก๊าซภายใต้แรงดันต่ำเพื่อแปลงความดันก๊าซที่ไม่ใช่ไฟฟ้าเป็นสัญญาณไฟฟ้า วงจรวัดจะขยายและแสดงเอาท์พุทสัญญาณไฟฟ้า เมื่อจำเป็นสัญญาณเอาต์พุตจะถูกส่งไปยังเครื่องบันทึกอัตโนมัติและอุปกรณ์ควบคุมอัตโนมัติเพื่อให้ได้อุปกรณ์อัตโนมัติสูญญากาศ เงื่อนไขที่กำหนดเพื่อควบคุมการแปลงแรงดันไฟฟ้าที่ไม่ใช่ไฟฟ้าให้เป็นไฟฟ้าโดยชุดควบคุมของวงจรการวัด

4. การอ่านเครื่องวัดสูญญากาศบางส่วนเกี่ยวข้องกับชนิดและองค์ประกอบของแก๊ส ดังนั้นจึงควรให้ความสนใจเป็นพิเศษกับประเภทและองค์ประกอบของก๊าซในระหว่างการตรวจวัดมิฉะนั้นจะทำให้เกิดข้อผิดพลาดที่ยิ่งใหญ่

5. ความแม่นยำในการวัดไม่สูง การวัดความดันโดยอ้อมจะต้องใช้พลังงานเพิ่มเติมเพื่อช่วย พลังงานที่เพิ่มขึ้นอาจเป็นพลังงานความร้อนพลังงานไฟฟ้าพลังงานกลและพลังงานกัมมันตภาพรังสี ด้วยเหตุนี้ข้อผิดพลาดในการวัดจึงนำมาใช้อย่างหลีกเลี่ยงไม่พร้อมกับการนำพลังงานเพิ่มเติม ดังนั้นมาตรวัดสูญญากาศจึงมีความแม่นยำน้อยกว่าเครื่องวัดค่าทางกายภาพอื่น ๆ ตัวอย่างเช่นถ้าความไม่แน่นอนของเครื่องวัดค่าสูญญากาศอ้างอิงและเครื่องมือมาตรฐานคือ (2 ~ 10) × 10 - ² ค่าความผิดพลาดในการวัดของเครื่องมือทำงานอยู่ในช่วง± 20 × 10 ^-2