กลุ่มปั๊มสุญญากาศสูง

กลุ่มปั๊มสุญญากาศสูง
กลุ่มปั๊มสุญญากาศสูงทำงานในสถานะการไหลของโมเลกุล และเมื่อเปรียบเทียบกับยูนิตสุญญากาศต่ำ มีลักษณะพิเศษคือแรงดันใช้งานต่ำ (10-2 ~ 10-6Pa) ปริมาณไอเสียน้อย และความเร็วในการปั๊มสูง . ปั๊มหลักของตัวเครื่องมักจะเป็นปั๊มแพร่ ปั๊มกระจายบูสเตอร์ ปั๊มโมเลกุล ปั๊มระเหิดไทเทเนียม ปั๊มควบแน่นที่อุณหภูมิต่ำ ฯลฯ ปั๊มเหล่านี้ไม่สามารถทำงานได้โดยตรงในบรรยากาศ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องกำหนดค่าปั๊มก่อนสูบ และปั๊มก่อนขั้นตอน และปั๊มกระจายบางรุ่นยังติดตั้งปั๊มบำรุงรักษาหรือถังแก๊สก่อนขั้นตอน เพื่อป้องกันความผันผวนของแรงดันในระบบและปรับปรุงประสิทธิภาพการสูบของตัวเครื่อง

บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบ DLC, เครื่องเคลือบแสง, สายเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการเทิร์นคีย์สามารถใช้ได้ ติดต่อเราตอนนี้ อีเมล: iks.pvd@foxmail.com