PECVD ทำงานอย่างไร
Apr 17, 2024| PECVD ทำงานอย่างไร
วิธี PECVD ใช้ในการปลูกฟิล์มบางของซิลิคอนไนไตรด์โดยใช้ลักษณะของพลาสมาที่ไม่สมดุล กล่าวคือ โมเลกุลพลาสมา อะตอม ไอออน หรือหมู่แอคทีฟจะเหมือนกับสภาพแวดล้อมโดยรอบ และอิเล็กตรอนที่ไม่สมดุลเนื่องจากมีมวลน้อย อุณหภูมิเฉลี่ยของพวกมันสามารถมีขนาดใหญ่กว่าอนุภาคอื่นๆ ได้สองเท่า ดังนั้นภายใต้สภาวะปกติ อุณหภูมิสูง (300 องศา C -450 องศา C) เป็นสิ่งจำเป็นเพื่อให้เกิดปฏิกิริยาหลายอย่าง ในระหว่างกระบวนการสะสม โมเลกุลของก๊าซ NH3 และ SiH4 ชนิดพิเศษจะมีการเคลื่อนที่ด้วยความร้อนที่รุนแรงภายใต้การกระทำของความถี่สูง และชนกันเพื่อแตกตัวเป็นไอออนโมเลกุล จากนั้นจึงสร้าง SiNx
บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบ DLC, เครื่องเคลือบแสง, สายเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการเทิร์นคีย์สามารถใช้ได้ ติดต่อเราตอนนี้ อีเมล: iks.pvd@foxmail.com