แนะนำอคติ

แรงดันไฟฟ้าอคติหมายถึงแรงดันเชิงลบที่ใช้กับพื้นผิวระหว่างกระบวนการเคลือบผิว เทอร์มินัลบวกของแหล่งจ่ายไฟอคติจะเชื่อมต่อกับห้องสูญญากาศในขณะที่ห้องสูญญากาศจะต่อสายดิน เทอร์มินัลเชิงลบของแรงดันไฟฟ้าอคติจะเชื่อมต่อกับชิ้นงาน เนื่องจากแรงดันไฟฟ้าของโลกโดยทั่วไปถือว่าเป็นศูนย์ที่มีศักยภาพแรงดันไฟฟ้าในชิ้นงานที่มีอคติเชิงลบเรียกว่าอคติ

1. หน้าที่ของอคติเชิงลบ

◆ให้พลังงานอนุภาค

◆ผลกระทบความร้อนบนพื้นผิว;

◆การขจัดคราบสกปรกและก๊าซที่ดูดซับบนพื้นผิวจะเป็นประโยชน์ในการปรับปรุงความแข็งแรงในการยึดเกาะของฟิล์ม

◆ใช้พื้นผิวของวัสดุรองพื้น

◆สำหรับอนุภาคขนาดใหญ่ในการชุบไอออนของอะลูมิเนียมมีผลทำให้บริสุทธิ์

2. การจัดเรียงแรงดันไฟฟ้าอคติ

(1) ตามรูปแบบของคลื่นสามารถแบ่งออกเป็น:

DC อคติ   DC อคติชีพจร

พัลส์ชีพจร DC ทับอคติ พัลส์สองขั้ว

(2) ตามความต้องการในการเปลี่ยนแรงดันไฟฟ้าแรงสูงและแรงดันต่ำเมื่อใช้พลังงานก็สามารถแบ่งออกเป็น:

แผนภาพการส่งกำลังไฟฟ้าสำหรับการสลับแรงดันไฟฟ้าและแรงดันไฟฟ้าต่ำ

ไม่จำเป็นต้องเปลี่ยนแรงดันสูงและต่ำ voltageless output ระเบียบอย่างต่อเนื่อง

พารามิเตอร์ที่สามารถปรับได้ของแหล่งจ่ายไฟอคติ: ความกว้างอคติ, อัตราส่วนหน้าที่, ความถี่และรูปคลื่น

3. ลักษณะของแหล่งจ่ายไฟอคติ

◆จำนวนการดับเพลิงต่อนาที

◆การตรวจจับความไวของส่วนโค้งขนาดใหญ่ (พลังงานอาร์คที่สามารถตรวจจับได้ของ mJ / กิโลวัตต์)

4. โหลดลักษณะของอคติ

ภาระการทำงานของอคติคือพลาสม่าและพลาสม่าแสดงค่าความต้านทานเมื่อใช้ DC อคติ อีกประการหนึ่งเมื่อมีการใช้อคติแบบพัลส์พลาสมาจะแสดงตัวต้านทาน + ตัวเก็บประจุซึ่งถือได้ว่าเป็นการเชื่อมต่อชุดตัวต้านทานและตัวเก็บประจุ สาระสำคัญของความจุที่เกิดจากพลาสมาปลอกบนพื้นผิว