แนะนำวิธีการใช้งานของเครื่องเคลือบสูญญากาศ

เครื่องชุบด้วยระบบสูญญากาศเป็นเครื่องเคลือบที่ต้องการใช้งานในสุญญากาศสูง มันจะแบ่งออกเป็นสองชนิดระเหยและสปัตเตอร์

กระบวนการเคลือบระเหยโดยทั่วไปให้ความร้อนเป้าหมายวัสดุ ซึ่งทำให้ส่วนประกอบพื้นผิวของวัสดุเป้าหมายจะระเหย โดยอะตอม หรือไอออนแบบ ฟอร์ม และวางบนพื้นผิวพื้นผิว การขึ้นรูปฟิล์มบางผ่านกระบวนการของฟิล์ม การก่อ

สปัตเตอร์เคลือบสามารถเข้าใจเพียงแค่เป็นการใช้อิเล็กตรอนหรือเลเซอร์พลังงานสูงเพื่อโจมตีเป้าหมาย และทำให้ส่วนประกอบพื้นผิวของเป้าหมายสามารถสปัตเตอร์ในรูปแบบของอะตอมหรือไอออน และในที่สุดฝากไว้ในพื้นผิวของพื้นผิว การขึ้นรูปฟิล์มบางในขั้นตอนการก่อตัวของฟิล์ม

ใช้ขั้นตอน:

1. วิธีใช้งานของตู้ควบคุมไฟฟ้าสำหรับเคลือบสูญญากาศ

(1) เปิดปั๊มและอากาศแหล่งน้ำ

(2) เปิดไฟหลัก

(3) เปิดไฟของปั๊มถือและวัดสุญญากาศ สูญญากาศตำแหน่งตำแหน่ง V1 รอค่าน้อยกว่า 10 และจากนั้น ป้อนการดำเนินการต่อไป อาจต้องห้านาที

(4) เปิดปั๊มกล ทำสูบก่อน เปิดจ่ายพลังงานของโมเลกุลปั๊มเทอร์โบ และเริ่มสูบน้ำโมเลกุล เปลี่ยนสวิทช์สูญญากาศเป็นตำแหน่งของ V2 หลังจากที่ระดับสุญญากาศจะสูบให้น้อยกว่า 2 หยุดสูบน้ำ และจะใช้เวลา 20 นาที

(5) เมื่ออ่านค่าการติดกังหันโมเลกุลจะสังเกตถึง 250 สูบก่อนถูกปิด แล้ว เปิดเครื่องสูบน้ำสำรอง และวาล์วดูดที่สูงยังคงอพยพ หลังจากเครื่องดูดฝุ่นถึง 2 × 10-3 แหล่งจ่ายไฟของปืนไฟฟ้าสามารถเปิด

2. การทำงานของเครื่องเคลือบสูญญากาศ

(1) เปิดหลัก

(2) ในเวลาเดียวกันเปิดการควบคุมปืนอิเล็กทรอนิกส์ I และ II ไฟ: ตามควบคุมปืนอิเล็กทรอนิกส์ที่ฉันเปิด สวิตช์หน่วงเวลา และจากนั้นไฟหน่วงเวลา ไฟโคมไฟและการป้องกันแสง แสง หลังจากสามนาที ล่าช้าแสงและป้องกันหลอดไฟเปิดปิด ถ้าไม่มีปิดประตูหลัง หรือรีเลย์กระแสเป็นความผิดพลาด การป้องกันแสงจะมีบนเสมอ

(3) เปิดแรงดันสูง ความดันสูงจะเข้าถึงมากกว่า 10KV ปรับแสงได้เกี่ยวกับ 200mA กริดโล่จะ 20V / 100mA ใยปัจจุบัน 1.2A โก่งปัจจุบันสวิง 1 ~ 1.7

3. ปิดลำดับของเครื่องเคลือบสูญญากาศ

(1) ปิดชุดมาตรวัดและปั๊มโมเลกุล

(2) เมื่อปั๊มโมเลกุลแสดงถึง 50 วาล์วดูดสูง การสนับสนุนเครื่องสูบน้ำและเครื่องจักรกลปั๊มปิดตามลำดับ คงต้องการ 40 นาที

(3) เมื่อเครื่องสูบน้ำโมเลกุลแสดงน้อยกว่า 50 ปิดปั๊มถือ