การทำความสะอาดพลาสม่า

การทำความสะอาดด้วยพลาสม่าหมายถึงการใช้พลาสมาเพื่อให้ได้ผลลัพธ์ที่วิธีการทำความสะอาดทั่วไปไม่สามารถทำได้ พลาสม่าเป็นสถานะของสสารที่เรียกว่าสถานะที่สี่ของสสารซึ่งไม่ได้เป็นของรัฐสามสถานะของของแข็งของเหลวและก๊าซ การใช้พลังงานมากพอที่จะทำให้แก๊สกลายเป็นไอออนไนซ์พลาสมา

องค์ประกอบ "active" ของพลาสม่าคือไอออนอิเล็กตรอนอะตอมกลุ่มปฏิกิริยานิวเคลียสในสถานะตื่นเต้น (สถานะการแพร่กระจาย) โฟตอนและอื่น ๆ การทำความสะอาดพลาสม่าหมายถึงการรักษาพื้นผิวของตัวอย่างโดยการใช้สมบัติของชิ้นส่วนที่ใช้งานเหล่านี้เพื่อให้ได้ผลของการทำความสะอาดและการเคลือบผิว พื้นผิวของชิ้นงานจะได้รับการรักษาโดยการกระทำทางเคมีหรือทางกายภาพเพื่อให้เกิดการขจัดมลพิษในระดับโมเลกุลซึ่งจะช่วยปรับปรุงพื้นผิวของชิ้นงาน สารปนเปื้อนที่ถูกกำจัดออกอาจมีสารอินทรีย์เรซินอีพอกซีเรืองแสง photoresist ออกไซด์สารปนเปื้อนของอนุภาค ฯลฯ ดังนั้นการทำความสะอาดพลาสม่าจึงเป็นวิธีการทำความสะอาดที่มีความแม่นยำสูง ควรใช้กระบวนการทำความสะอาดที่แตกต่างกันสำหรับสารมลพิษต่างๆ โดยทั่วไปการทำความสะอาดพลาสมาจะถูกจัดเป็นสารเคมีทำความสะอาดการทำความสะอาดร่างกายและการทำความสะอาดทางกายภาพเคมีขึ้นอยู่กับแก๊สกระบวนการที่เลือก