ข้อควรระวังสำหรับการสอบเทียบเครื่องวัดแรงดันไอออไนซ์

เครื่องวัดสูญญากาศ สามารถแบ่งออกเป็นเครื่องวัดสูญญากาศและมาตรวัดสูญญากาศแบบสัมพัทธ์ตามคุณสมบัติการวัด เครื่องวัดสูญญากาศแบบสัมบูรณ์คือเครื่องวัดสูญญากาศที่กำหนดความดันโดยการวัดปริมาณทางกายภาพ ตัวอย่างเช่นเครื่องวัดความดัน U type เครื่องวัดสูญญากาศของเครื่องอัดแรงดันไฟฟ้าคือเครื่องวัดสูญญากาศแบบสัมบูรณ์ เครื่องวัดสูญญากาศที่กำหนดความดันโดยการวัดปริมาณทางกายภาพที่เกี่ยวข้องกับความดันและเปรียบเทียบกับมาตรวัดสูญญากาศแบบสัมบูรณ์เรียกว่าเครื่องวัดสุญญากาศสัมพัทธ์ เครื่องวัดสูญญากาศไอออไนซ์และเครื่องวัดสูญญากาศของฟิล์มความร้อนเครื่องวัดความสูญญากาศของเครื่องวัดความร้อนทั้งหมดนี้เป็นเครื่องวัดสูญญากาศแบบสัมพัทธ์

โครงสร้างของเครื่องวัดไอออนิกเป็นไตรรงค์รูปทรงกระบอกที่มีขั้วไฟฟ้า 3 ตัว ได้แก่ แคโทด - อิเล็คตรอนอิเล็กตรอนที่เร่งความเร็วการสะสมไอออนขั้วโลก แคโทดทั่วไปบวกบวกศักยภาพตารางเป็นบวกบวกศักยภาพและ collector มีบวกลบศักยภาพ

ข้อดี M ainly :

•วัดความดันรวมของก๊าซและไอ

•การตอบสนองอย่างรวดเร็วการอ่านอย่างต่อเนื่องและการควบคุมระยะไกล

•ช่วงการวัดกว้าง, เส้นตรงที่ดีและความแม่นยำในการวัดสูง

ข้อเสีย:

• เมื่อความดันสูงกว่า 10 ^-1 ต่อปี มันเป็นเรื่องง่ายที่จะออกซิไดซ์เส้นใยและเมื่อระบบสัมผัสกับบรรยากาศอย่างฉับพลันเกจจะถูกเผาไหม้

ข้อผิดพลาดของภาวะการตกผลึกของหลอดแก้วและขั้วไฟฟ้าทำให้เกิดข้อผิดพลาดในการวัด

การสอบเทียบของเครื่องวัดสูญญากาศไอออนิกควรให้ความสนใจต่อไปนี้หกจุด:

1. เมื่อเครื่องวัดถูกเชื่อมต่อเข้ากับระบบเครื่องวัดที่ปิดสนิทและวงจรวัดจะเชื่อมต่อเข้าด้วยกันเพื่อตรวจสอบว่าเครื่องวัดเป็นปกติหรือไม่และได้รับระบบแล้ว

2. ในระหว่างการสอบเทียบถ้าเกิดความล้มเหลวและไม่ได้ระบุให้ใช้มาตรวัดที่ไม่มีการเปิดและตัดสินว่าเป็นปัญหาเกี่ยวกับมาตรวัดหรือปัญหาวงจรหรือไม่ หากเป็นไปตามปกติในการเปลี่ยนมาตรวัดที่ไม่มีการเปิดซึ่งแสดงว่ามาตรวัดเดิมมีปัญหา ถ้ามาตรวัดยังไม่ได้เปิดยังคงผิดปกติแสดงให้เห็นปัญหากับวงจรจึงลดขอบเขตของข้อผิดพลาด

3. ควรติดตั้งเครื่องวัดตามแนวตั้ง ในขณะที่ความร้อนและการ degassing และการอบกริดและแคโทดจะทำให้เสียรูปและตำแหน่งสัมพัทธ์จะเปลี่ยนไปซึ่งจะส่งผลต่อความถูกต้องของการวัดอย่างจริงจัง

4. ก่อนเปิดเส้นใยสามารถตัดสินได้ว่าสูญญากาศในระบบสุญญากาศมีค่าน้อยกว่า ^10-1 pa จากนั้นให้เปิดเส้นใย ถ้าระดับสูญญากาศต่ำเกินไปจะทำให้เกิดการขจัดแคโทดออกซิเดชันและเผาผลาญ

5. ก่อนที่จะอ่านควรปรับระดับการปล่อยมลภาวะและจุดศูนย์ก่อน ขั้นตอนเฉพาะคือการปล่อยกระแส - จุดศูนย์ - เต็มรูปแบบ - กระแสการปล่อยก๊าซ

6. เครื่องวัดสูญญากาศไอออนไนซ์สามารถปรับเทียบได้โดยการอุ่นเพียง 10 นาที