ความหนาและการตรวจสอบ PVD

ความหนาและการตรวจสอบ PVD

IKS PVD, เครื่องเคลือบสูญญากาศ PVD ผลิตจากประเทศจีนติดต่อกับเราตอนนี้ iks.pvd @ foxmail.com

ความหนาของการเคลือบผิวหมายถึงพื้นผิวด้านนอกของผิวเคลือบและระยะห่างของพื้นผิววัสดุรองพื้นภายใต้ผิวเคลือบโดยทั่วไปอยู่ในช่วง 0 ~ 15um มีวิธีการตรวจจับหลายวิธีดังต่อไปนี้คือการนำวิธีการที่ใช้กันทั่วไปในปัจจุบันมากขึ้น: เครื่องหมายวิธีการและวิธีการตรวจไม่ทำลาย

1. วิธีการของส่วน

ส่วนวิธีการคือวิธีการตรวจจับการทำลายชิ้นงานอาจไม่สามารถใช้อีกครั้ง. จะทดสอบชิ้นงานหรือตัวอย่างตามส่วนตัดเคลือบภายใต้กล้องจุลทรรศน์ 1000 ~ 10000 ครั้งใหญ่สำหรับการวัดที่มีขนาดใหญ่ขยายปัจจัยที่มีขนาดเล็กผลกระทบ ของปัจจัยมนุษย์ที่สูงขึ้นความแม่นยำขอบเขตระหว่างการเคลือบและพื้นผิวที่เห็นได้ชัดมากและจะสะดวกในการวัดโดยขนาดใน sem ระยะห่างระหว่างจุดเริ่มต้นของผู้ปกครองและจุดสิ้นสุดคือความหนาของการเคลือบผิวไม่ว่า การวัดที่ถูกต้องหรือไม่คือการได้อย่างถูกต้องตัดสินขอบเขตระหว่างการเคลือบและพื้นผิวมิฉะนั้นจะนำข้อผิดพลาดหากเชื่อมต่อระหว่างเคลือบและพื้นผิวเป็นเลือนที่ดีที่สุดคือไม่ใช้วิธีการวัดนี้โดยทั่วไปนี้ วิธีการวัดทำได้ง่ายและถูกต้องนอกจากนี้เมื่อใช้วิธีการนี้ในการวัดแล้วควรสังเกตส่วนที่ควรจะค่อนข้างแบน มิเช่นนั้นควรใช้การประมวลผลด้วยตนเองเพื่อให้ชิ้นงานสามารถสังเกตและวัดได้

กระจกน้ำมันสามารถใช้เพื่อสังเกตส่วนเคลือบผิวสำหรับการวัดได้ ตัวอย่างที่ถูกตัดจะถูกวางไว้ในผงพลาสติกสำหรับการกดการเผาไหม้และการขึ้นรูปลงในกลุ่มตัวอย่างและจากนั้นพื้นผิวที่ผ่านการทดสอบจะถูกบดและพื้นผิวที่ผ่านการทดสอบจะถูกบดและปรับระดับ ในระหวางการวัดการวัดปริมาณอากาศที่สูบจากน้ํามันจะวัดระหวางเลนสหลักกับพื้นผิวที่วัดเพื่อลดสัญญาณรบกวน

2 ลูกปล่องภูเขาไฟ

ลูกมาร์ควิธีคือการใช้เส้นผ่านศูนย์กลางของลูกเหล็กบนพื้นผิวของเคลือบบดเคลือบและเมทริกซ์บดออกหลุมส่วนบอลบดเครื่องมือสำหรับส่วนโค้ง ความต้องการในการใช้งานของเครื่องบดเช่นเดียวกับการทดสอบลูกมาร์คซึ่งจะวัดการยึดเกาะของผิวเคลือบ หลังจากบดลูกแล้วภาพจะถูกตรวจสอบภายใต้กล้องจุลทรรศน์ผ่านระบบภาพและใต้จอภาพ

รูปลักษณ์ของชิ้นงานจะได้รับความเสียหายด้วยวิธีการลูกมาร์ค ถ้าจุดตรวจจับไม่อยู่ในบริเวณที่ใช้งานปกติจะไม่ส่งผลกระทบต่อการใช้ซ้ำ อย่างไรก็ตามเพื่อหลีกเลี่ยงข้อผิดพลาดคุณต้องหารือและขอความยินยอมจากเจ้าของ artifact ก่อนที่จะทดสอบด้วยวิธีนี้

3 การทดสอบแบบไม่ทำลาย (NDT)

วิธีทดสอบแบบไม่ทำลายคือการตรวจจับความหนาของผิวเคลือบที่ชิ้นงานโดยไม่ทำลายชิ้นงาน มีหลายประเภทของวิธีการ NDT โดยทั่วไปการทดสอบไม่ทำลายจะต้องให้พื้นผิวและองค์ประกอบของการเคลือบหรือให้ชิ้นตัวอย่างเคลือบเพื่อวิเคราะห์ข้อมูลมาตรฐานในการทดสอบจะถูกวัดและองค์ประกอบองค์ประกอบของการเคลือบเปรียบเทียบกับกลุ่มตัวอย่างต้นแบบไป สรุปทฤษฎีของความหนาของการเคลือบดังนั้นสำหรับพื้นผิวที่แตกต่างกันและการวิเคราะห์องค์ประกอบของการเคลือบให้โปรแกรมการวัดแล้ววัดจริง แน่นอนเครื่องมือบางอย่างสามารถวัดได้โดยตรงโดยไม่ต้องทำบล็อคตัวอย่าง แต่ข้อผิดพลาดมีขนาดใหญ่ ส่วนนี้ส่วนใหญ่จะแนะนำการเรืองแสง X-ray (XRF)

เครื่องมือ XRF ประกอบไปด้วยแหล่งกำเนิดและระบบตรวจจับรังสีเอกซ์ (X-ray excit source and detection system) หลอดรังสีเอกซ์ผลิตรังสีเอ็กซ์เรย์ (รังสีหรือชิ้นงานที่จะวัดได้) รังสีเอกซ์ที่ปล่อยออกมาจากองค์ประกอบต่างๆที่มีลักษณะเฉพาะของพลังงาน (นั่นคือตามคุณลักษณะด้านพลังงานของประเภทของรังสีเอกซ์และเนื้อหาขององค์ประกอบสามารถเรียนรู้ได้) ระบบตรวจวัดจะวัดพลังงานและปริมาณรังสีรองที่ตื่นเต้นเหล่านี้ซอฟต์แวร์ตรวจสอบระบบ แปลงข้อมูลพลังงานและปริมาณที่ตรวจพบลงในองค์ประกอบและเนื้อหาที่สอดคล้องกันเพื่อให้สามารถตรวจจับชนิดและเนื้อหาขององค์ประกอบในชิ้นงานที่ทดสอบได้การใช้หลักการเรืองแสงของรังสีเอ๊กซ์ทุกองค์ประกอบในตารางธาตุสามารถวัดได้ตามหลักวิชาอย่างไรก็ตาม ในการประยุกต์ใช้จริงช่วงการวัดธาตุที่มีประสิทธิภาพมาจากองค์ประกอบ 11 โซเดียม (Na) ถึงองค์ประกอบ 92 ยูเรเนียม (U)

ตามหลักการข้างต้นเมื่อวัดความหนาของผิวตัวอย่าง XRF จะวิเคราะห์องค์ประกอบองค์ประกอบของเมทริกซ์และวัสดุเคลือบตามลำดับ โดยทั่วไปองค์ประกอบองค์ประกอบของสารเคลือบผิวจะแตกต่างจากองค์ประกอบของเมทริกซ์ ดังนั้นซอฟต์แวร์การคำนวณสามารถคำนวณความหนาของผิวเคลือบได้ ถ้าส่วนประกอบองค์ประกอบของสารเคลือบผิวและสารเคลือบต่าง ๆ ถูกตรวจจับแยกกันล่วงหน้าและเก็บไว้ในฐานข้อมูลคอมพิวเตอร์เป็นมาตรฐานเมื่อการตรวจจับ XRF องค์ประกอบองค์ประกอบที่ตรวจพบจะถูกเปรียบเทียบกับมาตรฐานเพื่อหาเมทริกซ์และชนิดเคลือบที่สอดคล้องกันและตัดสินส่วนติดต่อ ระหว่างการเคลือบและพื้นผิวเพื่อวัดความหนาของผิวเคลือบได้แม่นยำมากขึ้น