ปั๊มไอออนสปัตเตอร์ริ่ง ระบบสุญญากาศสูงพิเศษไร้น้ำมัน

ปั๊มไอออนสปัตเตอร์ริ่ง ระบบสุญญากาศสูงพิเศษไร้น้ำมัน
รูปที่ 5-15 แสดงแผนภาพแนวคิดของระบบ ปั๊มไอออนสปัตเตอร์เป็นปั๊มหลัก และใช้ปั๊มตะแกรงโมเลกุลสองตัวเป็นปั๊มก่อนสูบ ซึ่งหนึ่งในนั้นใช้เพื่อกำจัดก๊าซภายใต้ความดันบรรยากาศในห้องสุญญากาศและปั๊มไอออนสปัตเตอร์ และอีกอันใช้เพื่อ กำจัดก๊าซที่ปล่อยออกมาเมื่อปั๊มอบและปั๊มไอออนเริ่มทำงาน

▲ รูปที่ 5-15 ปั๊มไอออนสปัตเตอร์ริ่ง ระบบสุญญากาศสูงพิเศษไร้น้ำมัน: 1-ห้องสุญญากาศ 2-เกจสุญญากาศ BA 3- วาล์วสุญญากาศสูงพิเศษ 4- พิเศษ -วาล์วประตูสุญญากาศสูง 5-ปั๊มไอออนสปัตเตอร์ 6- วาล์วสุญญากาศสูง 7- ปั๊มตะแกรงโมเลกุล 8- เกจวัดสุญญากาศเทอร์โมคัปเปิล

บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบ DLC, เครื่องเคลือบแสง, สายเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการเทิร์นคีย์สามารถใช้ได้ ติดต่อเราตอนนี้ อีเมล: iks.pvd@foxmail.com