ปั๊มไอออนสปัตเตอร์ - ชุดปั๊มระเหิดไทเทเนียม

ปั๊มไอออนสปัตเตอร์ - ชุดปั๊มระเหิดไทเทเนียม

1. ห้องสูญญากาศ 2. วาล์วประตูสูญญากาศสูงพิเศษ 3. ปั๊มไอออนสปัตเตอร์ - ชุดปั๊มระเหิดไทเทเนียม 4. วาล์วประตูสูญญากาศสูงพิเศษ 5. กับดักเย็น 6. ปั๊มกระจาย 7. วาล์วปล่อย 10. ปั๊มสูญญากาศเครื่องกล
รูปที่. 2 ระบบสุญญากาศสูงพิเศษแบบผสมผสาน

รูปที่ 2 แสดงระบบสุญญากาศสูงพิเศษแบบรวมอีกประเภทหนึ่ง ระบบคือเหมาะสมสำหรับเตาปิดผนึกสูญญากาศ เตาหลอมแทนทาลัม และอุปกรณ์อื่นๆ ปั๊มหลักของระบบคือปั๊มไอออนสปัตเตอร์และชุดปั๊มระเหิดไทเทเนียม ขีดจำกัดสุญญากาศของห้องสุญญากาศสามารถเข้าถึง 5×10-7Pa ระบบนี้มีชุดอุปกรณ์ที่ประกอบด้วยปั๊มกระจายน้ำมันและปั๊มเชิงกล ซึ่งใช้สำหรับปั๊มแบบหยาบและปั๊มก่อนสูบเป็นปั๊มหลัก และสามารถสูบก๊าซจำนวนมากที่ปล่อยออกมาได้พร้อมกันในระหว่างกระบวนการ

บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบแสง, สายการเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการเทิร์นคีย์พร้อมใช้งาน.ติดต่อเราตอนนี้ E-mail:iks.pvd@foxmail.com