ศึกษาเกี่ยวกับการยึดติดของแผ่นฟิล์มคาร์บอนไดอ็อกไซด์ (DLC) ที่นำฝากด้วยเทคโนโลยีพัลส์ไอออน - หลักการและวิธีการทดลอง

ฟิล์มคาร์บอนเหมือนเพชร (ฟิล์ม DLC) เป็นวัสดุฟิล์มบางแบบออพติคอลรุ่นใหม่มีคุณสมบัติทางออปติคเชิงกลไฟฟ้าความร้อนและอะคูสติกที่ยอดเยี่ยม ด้วยความได้เปรียบของภูมิภาคอินฟราเรดโปร่งใสความแข็งสูงการนำความร้อนสูงทนต่อการขัดถูคุณสมบัติทางเคมีที่มีเสถียรภาพความต้านทานความร้อนช็อกและอื่น ๆ มีโอกาสใช้งานที่ดี

ฟิล์ม DLC ถูกสะสมโดยการชุบด้วยพัลซิ่งอาร์คอิออนซึ่งเป็นวิธีการสะสมไอทางกายภาพ วิธีการชุบเรียบง่าย ไม่จำเป็นต้องเพิ่มอคติเชิงลบลงสู่พื้นผิวและเติมก๊าซใด ๆ ในห้องสุญญากาศในระหว่างกระบวนการชุบ กระบวนการชุบมีความสามารถในการทำซ้ำได้ดีและเหมาะสำหรับการผลิตในอุตสาหกรรมขนาดใหญ่ แผ่นฟิล์ม DLC เคลือบด้วยวิธีนี้มีความบริสุทธิ์สูงโปร่งใสแสงที่ดี คุณสมบัติทางเคมีที่เสถียรและความต้านทานการสึกหรอที่ดี สามารถใช้เป็นฟิล์มอินฟราเรดและฟิล์มป้องกันที่ยอดเยี่ยม

ฟิล์มคาร์บอนคล้ายเพชรถูกเคลือบด้วยอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศที่นำเข้าจากต่างประเทศ อุปกรณ์นี้มีแหล่งไอออน 3 แหล่งคือแหล่งไอออนแก๊สที่ใช้ทำความสะอาดพื้นผิวของพื้นผิว แหล่งกำเนิดไอออนแบบหลายขั้วที่มีแคโทดต่อเนื่องกับการกรองด้วยแม่เหล็กด้วยโลหะแคโทดสำหรับการเคลือบผิวของชั้นเปลี่ยนชั้นกลาง แหล่งไอออนที่สามเป็นแหล่งกำเนิดไอออนแบบพัลซิ่งที่มีแคโทดแกรไฟและขั้วบวก ใช้สำหรับเคลือบเพชรเช่นฟิล์มคาร์บอน

หลักการและวิธีการทดสอบ

แหล่งกำเนิดของอาร์คอาร์กแบบพัลซิ่งประกอบด้วยแคโทดขั้วบวกและอิเล็กโทรดที่เกิดจากขั้วไฟฟ้า แคโทดทำจากวัสดุที่ระเหยและแหล่งไอออนมีขั้วบวกที่ทำขึ้นเป็นพิเศษ การปลดปล่อยแก๊สสูญญากาศที่เกิดจากแคโทดของแหล่งไอออนจะทำให้วัสดุแคโทดระเหยและทำให้เกิดไอออนไนซ์พลาสมาบนมือข้างหนึ่งทำเป็นสารเคลือบผิวบนพื้นผิวและในอีกแง่หนึ่งจะค้ำจุนการปลดประจำการ กลไกการปลดปล่อยรังสีอิเล็กตรอนของแคโทดโค้งเย็นเป็นส่วนใหญ่คือการปล่อยอิเล็กตรอนในสนามและการปล่อยสนามจะต้องสร้างสนามไฟฟ้าแรงบนผิวแคโทด ดังนั้นความแตกต่างระหว่างขั้วลบและขั้วบวกของแหล่งกำเนิดไอออนไม่เพียงพอดังนั้นจึงมีความจำเป็นที่จะต้องชนกับส่วนโค้ง อุปกรณ์นี้ใช้อิเลคโทรไลต์ซึ่งก่อให้เกิดการปลดปล่อยกระแสไฟฟ้าและ pre-ionization ระหว่างขั้วไฟฟ้าอิเล็กโทรดจากนั้นใช้แรงดันไฟฟ้าไม่สูงมากระหว่างขั้วไฟฟ้าหลักสองตัวของแคโทดและขั้วบวก (โดยทั่วไประหว่าง 40V และ 400V) ก๊าซและระเหยกลายเป็นส่วนโค้ง

ในระหว่างขั้นตอนการทำงานห้องสุญญากาศจะถูกอพยพไปยัง 2x10 ^-3 Pa และตัวเก็บประจุ C ₁ และ C ₂ จะถูกชาร์จไฟทำให้ SCR เป็นสัญญาณไฟกระชาก มีการปลดปล่อยกระแสไฟฟ้าขนาดเล็กระหว่างขั้วไฟฟ้าชนิดแอ็คชั่น มีชั้นนำระหว่างขั้วบวกและแคโทด ตัวเก็บประจุ C ₁ ปล่อยประจุระหว่างแคโทดและขั้วบวก เมื่อปล่อยพลังงานจากตัวเก็บประจุ C ₁ เมื่อพลังงานที่ตัวเก็บประจุจัดหาไม่เพียงพอที่จะคงปริมาณการปลดปล่อยการปล่อยจะหยุดลง