สาเหตุของการเกิดฟิล์มไม่สม่ำเสมอด้วยเครื่องเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์

สาเหตุของการเกิดฟิล์มไม่สม่ำเสมอด้วยเครื่องเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์

อะไรคือปัจจัยที่ทำให้เครื่องเคลือบสูญญากาศแมกนีตรอนไม่สม่ำเสมอ? เพื่อนที่สำคัญมีส่วนร่วมในงานของความเคารพนี้จริง ๆ แล้วยังคงเข้าใจเปรียบเทียบโดยทั่วไปสามารถแบ่งออกเป็นปัจจัยต่อไปนี้: สภาพสูญญากาศ, สนามแม่เหล็ก, อาร์กอน

การทำงานของเครื่องเคลือบสูญญากาศแมกนีตรอนสปัตเตอริงคือไอออนอาร์กอนที่เกิดขึ้นจากการทิ้งอิเล็กตรอนของอาร์กอนนั้นถูกยิงด้วยสนามแม่เหล็ก orthogonal ภายใต้สภาวะสุญญากาศและไอออนเป้าหมายจะถูกวางลงบนพื้นผิวของชิ้นงาน

ในสถานะสูญญากาศจำเป็นต้องมีระบบสูบน้ำเพื่อการควบคุม พอร์ตสูบน้ำแต่ละพอร์ตควรเริ่มพร้อมกันและมีความแข็งแรงเท่ากันเพื่อให้สามารถควบคุมความสม่ำเสมอของปั๊มได้ หากการปั๊มไม่สม่ำเสมอความดันในห้องสุญญากาศจะไม่เหมือนกันและความดันจะมีผลต่อการเคลื่อนที่ของไอออน นอกจากนี้เวลาสูบน้ำควรถูกควบคุมสั้นเกินไปจะทำให้สูญญากาศขาด แต่ยาวเกินไปและเสียทรัพยากร แต่มีมาตรวัดสูญญากาศมันไม่ได้เป็นปัญหาในการควบคุม

การทำงานของสนามแม่เหล็กฉาก แต่คุณจะต้องทำอย่างใดอย่างหนึ่งร้อยเปอร์เซ็นต์ความเข้มของสนามแม่เหล็กที่เป็นเนื้อเดียวกันเป็นไปไม่ได้โดยทั่วไปสนามแม่เหล็กที่แข็งแกร่งโดยทั่วไปความหนาของฟิล์มมีขนาดใหญ่ตรงข้ามมีขนาดเล็กดังนั้นจะทำให้ความหนาของฟิล์มไม่สอดคล้องกัน เนื่องจากสนามแม่เหล็กที่เกิดจากฟิล์มไม่สม่ำเสมอไม่สม่ำเสมอทำไม?

ความแรงของสนามแม่เหล็กดั้งเดิมไม่ดี แต่ในเวลาเดียวกันชิ้นงานกำลังทำงานในเวลาเดียวกันและเป็นจุดจบของอะตอมเป้าหมายของเคสสำหรับกระบวนการเคลือบหลายครั้งหลายครั้งชิ้นส่วนในช่วงเวลาหนึ่งจะหนาและหนา บางส่วน แต่อีกครั้งภายใต้การกระทำของสนามแม่เหล็กที่แข็งแกร่งในบางส่วนของความหนาตะกอนเดิมในความหนาของส่วนของบาง ๆ หลาย ๆ ครั้งหลังจากที่ภาพยนตร์เรื่องสุดท้ายภาพยนตร์สม่ำเสมอเป็นสิ่งที่ดี

ความสม่ำเสมอของอาร์กอนจะส่งผลต่อความสม่ำเสมอของฟิล์มซึ่งหลักการนี้เกือบจะเหมือนกับระดับสุญญากาศ เนื่องจากการเข้าของอาร์กอนความดันในห้องสูญญากาศจะเปลี่ยนและความสม่ำเสมอของความดันสามารถควบคุมได้เป็นความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์มของเครื่องเคลือบสูญญากาศแมกนีตรอน