ความแข็งของฟิล์ม DLC

ความแข็งของฟิล์ม DLC ที่เตรียมโดยวิธี Magnetic filter Cathode Arc (FVCA) มีความคล้ายคลึงกับความแข็งของฟิล์มเพชร ความแข็งของฟิล์ม DLC ที่เตรียมโดยวิธีสุญญากาศแคโทดอาร์ก (VCAD) มีค่ามากกว่า HV5000 ความแข็งของฟิล์ม DLC ที่เตรียมโดยการสปัตเตอร์แมกนีตรอนโดยทั่วไปจะต่ำกว่า HV2000 นอกจากนี้ กระบวนการสะสมและการเติมสารโด๊ปยังส่งผลต่อความแข็งของฟิล์ม DLC อีกด้วย อคติ ความดัน และบรรยากาศที่เหมาะสมสามารถปรับปรุงความแข็งของฟิล์ม DLC ได้ในระดับต่างๆ การทดลองส่วนใหญ่แสดงให้เห็นว่าการเติม Si สามารถลดความแข็งของฟิล์ม DLC ได้ในระดับที่แตกต่างกัน แต่บางคนคิดว่าการรวม Si เข้าด้วยกันจะช่วยเพิ่มความแข็งของฟิล์ม DLC ได้ โดยทั่วไปแล้ว ฟิล์ม DLC จะมีความเครียดภายในสูง ความเครียดภายในไม่เพียงเกี่ยวข้องกับโครงสร้างและส่วนประกอบของฟิล์ม DLC เท่านั้น แต่ยังมีความสัมพันธ์ที่ดีกับกระบวนการสร้างฟิล์มอีกด้วย ตัวอย่างเช่น ในภาพยนตร์ H-DLC ความเครียดภายในมีความสัมพันธ์ที่ดีกับเนื้อหา H ในขณะที่ยังคงรักษาความแข็งสูงของฟิล์ม DLC ไว้ด้วยการผสมผสาน N, Si และองค์ประกอบโลหะบางอย่างสามารถลดความเครียดภายในได้ ความเค้นภายในมีอิทธิพลอย่างมากต่อคุณสมบัติการยึดเกาะของฟิล์ม DLC และซับสเตรต เมื่อฟิล์ม DLC วางอยู่บนพื้นผิวโดยตรง แรงยึดเกาะของฟิล์มโดยทั่วไปจะต่ำ ยิ่งฟิล์ม DLC บางลง แรงยึดเกาะระหว่างฟิล์มกับวัสดุพิมพ์ก็จะยิ่งดีขึ้นเท่านั้น นอกจากนี้ ยังสามารถปรับปรุงการยึดเกาะของฟิล์ม DLC ได้ด้วยการเพิ่มชั้นการเปลี่ยนแปลงระหว่างฟิล์ม DLC และวัสดุพิมพ์ หากใช้ Cr เป็นชั้นทรานซิชัน พันธะระหว่างเมมเบรนและซับสเตรตจะดีขึ้นอย่างมาก ชั้นเปลี่ยนผ่านชั้นใต้ดินคู่ที่แตกต่างกันจะแตกต่างกัน

บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบ DLC, เครื่องเคลือบแสง, สายเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการเทิร์นคีย์สามารถใช้ได้ ติดต่อเราตอนนี้ อีเมล: iks.pvd@foxmail.com