การเปรียบเทียบหลักการของการประมวลผลลำแสงอิเล็กตรอนและเทคโนโลยีการประมวลผลลำแสงไอออน

หลักการ   การเปรียบเทียบการ ประมวลผลลำแสงอิเล็กตรอนและเทคโนโลยีการประมวลผลลำแสงไอออน

การประมวลผลลำแสงอิเล็กตรอนอยู่ภายใต้สภาวะสูญญากาศโดยใช้ความหนาแน่นพลังงานสูงของลำแสงอิเล็กตรอนหลังจากมุ่งเน้นไปที่ผลกระทบความเร็วสูงไปยังพื้นที่ผิวน้อยที่สุดในเวลาอันสั้นมาก (ภายในเสี้ยววินาทีของไมโครวินาที) พลังงานส่วนใหญ่เป็นพลังงานความร้อน ทำให้เกิดผลกระทบของวัสดุชิ้นงานถึงอุณหภูมิไม่กี่พันองศาเซลเซียสจึงทำให้การหลอมและการกลายเป็นไอของวัสดุบางส่วนเกิดขึ้นโดยระบบสูญญากาศ การประมวลผลที่แตกต่างกันสามารถทำได้โดยการควบคุมความหนาแน่นพลังงานของลำอิเล็กตรอนและเวลาในการฉีดพลังงาน การรักษาความร้อนด้วยลำแสงอิเล็กตรอนสามารถดำเนินการได้หากวัสดุถูกทำให้ร้อนในพื้นที่ การเชื่อมลำอิเล็กตรอนสามารถทำได้โดยการละลายวัสดุบางส่วน ด้วยการเพิ่มความหนาแน่นพลังงานของลำอิเล็กตรอนทำให้วัสดุถูกหลอมและเป็นแก๊สเพื่อให้สามารถเจาะตัดและแปรรูปได้ การพิมพ์หินลำแสงอิเล็กตรอนสามารถใช้ในการผลิตการเปลี่ยนแปลงทางเคมีเมื่อลำแสงอิเล็กตรอนที่มีความหนาแน่นของพลังงานต่ำถูกนำมาใช้เพื่อวัสดุ bombor โพลิเมอร์แสง

การประมวลผลลำแสงไอออนนั้นคล้ายกับการประมวลผลลำแสงอิเล็กตรอนโดยที่ลำแสงไอออนที่สร้างขึ้นโดยแหล่งกำเนิดไอออนจะเร่งความเร็วเพื่อโฟกัสภายใต้สภาวะสูญญากาศทำให้เกิดการชนกับพื้นผิวของชิ้นงาน ที่แตกต่างกันคือประจุที่มีประจุบวกและคุณภาพนับพันนับพันครั้งใหญ่กว่าอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์เช่นคุณภาพของอาร์กอนไอออนคือ 72000 เท่าของอิเล็กตรอนดังนั้นเมื่อไอออนเร่งความเร็วสูงลำแสงไอออนอิเล็กตรอนจะมีผลกระทบมากขึ้น พลังงานจลน์นั้นขึ้นอยู่กับพลังงานกระแทกของเครื่องจักรกลขนาดเล็กแทนที่จะประมวลผลโดยพลังงานจลน์เป็นพลังงานความร้อน พื้นฐานทางกายภาพของการประมวลผลลำแสงไอออนคือผลกระทบผลกระทบการสปัตเตอร์และผลการฉีดเมื่อลำแสงไอออนกระทบพื้นผิวของวัสดุ เมื่ออิออนที่มีพลังงานจลน์บางอย่างเอียงไปที่พื้นผิวของชิ้นงานอะตอมบนพื้นผิวอาจถูกกระแทกออกมา หากชิ้นงานถูกใช้โดยตรงเป็นเป้าหมายของการทิ้งระเบิดไอออนพื้นผิวของชิ้นงานจะถูกสลักด้วยไอออน หากวางชิ้นงานไว้ใกล้วัสดุเป้าหมายอะตอมของวัสดุเป้าหมายจะปะทุบนพื้นผิวของชิ้นงานและถูกสะสมและดูดซับโดยสปัตเตอร์เพื่อให้พื้นผิวของชิ้นงานเคลือบด้วยอะตอมของวัสดุเป้าหมาย หากพลังงานไอออนมีขนาดใหญ่พอที่จะชนกับพื้นผิวของชิ้นงานในแนวตั้งไอออนจะเจาะเข้าไปในพื้นผิวของชิ้นงานซึ่งเป็นผลกระทบจากการฝังไอออน

เครื่องเคลือบลำแสงอิเล็กตรอน IKS PVD， IKS-OPT2700 รายละเอียดเพิ่มเติมยินดีต้อนรับติดต่อ iks.pvd@foxmail.com