โครงสร้างของการผลิตกล่องจากกระดาษระนาบที่สปัตเตอร์เป้าหมายสำหรับเคลือบอุปกรณ์

โครงสร้างของการเป้าหมายสปัตเตอร์ระนาบผลิตกล่องจากกระดาษของอุปกรณ์เคลือบ ในกรณีที่เกิดขึ้นจริง ความเร็วเริ่มต้นของอิเล็กตรอนไม่ใช่ศูนย์ และอิเล็กตรอนวิ่งขนานไปตามสนามไฟฟ้าเข้าหาขั้วบวก แต่จะ ทำไหว cycloid ภายใต้ผลกระทบของสนามแม่เหล็กไฟฟ้ามุมฉาก ที่เป็นอย่างมากเพิ่มความเป็นไปได้ของการชนกับโมเลกุลของก๊าซ และปรับปรุงอัตราการไอออไนซ์ของอาร์กอน จำนวนประจุไฟฟ้าบวกผลิตแห่งเป้าหมาย เพิ่มอัตราการสปัตเตอร์ ราคาสปัตเตอร์จะสูงกว่าของ DC สองเสาสปัตเตอร์ประมาณ 10 ครั้ง สำหรับเป้าหมายมาก อัตราสปัตเตอร์ได้ถึงอัตราการระเหยของลำอิเล็กตรอน ซึ่งมีความเจริญก้าวหน้าในเทคโนโลยีสปัตเตอร์แคโทด มันสามารถลดระยะเวลาสะสม และปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิต

ส่วนประกอบของสนามแม่เหล็กของเป้าหมายขนานพื้นผิวไม่สม่ำเสมอ ในสถานที่ซึ่งเป็นที่ที่แข็งแกร่งของสนามแม่เหล็ก พื้นผิวของสนามแม่เหล็กขนานเป้าหมายเป็นใหญ่ที่สุด และสนามแม่เหล็กไฟฟ้ามีแรงกีดยิ่งใหญ่ที่สุดในอิเล็กตรอน ดังนั้น ความหนาแน่นของอิเล็กตรอนในช่วงนี้เป็นใหญ่ที่สุด และความน่าเป็นของไอออไนซ์ชนกับอาร์กอนเป็นใหญ่ที่สุด ความเข้มของแสงใหญ่ที่สุด และมีความเข้มแสงสูงพร้อมเรืองแสงที่แข็งแกร่งมาก (รูปสี่เหลี่ยม หรือวงกลม) วงแหวนบนพื้นผิวเป้าหมาย ผลิตจำนวนไอออนอาร์กอนที่ใหญ่ที่สุดในภูมิภาคนี้ และรุนแรงมากขึ้นแคโทดสปัตเตอร์เป้าหมายกล่าว วัสดุเป้าหมายในพื้นที่นี้จะสลักรวดเร็ว และวัสดุเป้าหมายไม่บริโภคเท่า ๆ กัน และทะเลปรากฏ ฟลักซ์แม่เหล็กโดยตรงผ่านพื้นผิวเป้าหมาย และฟลักซ์แม่เหล็กที่สร้างขึ้นบนพื้นผิวเป้าหมายกำหนดระดับ "แม่เหล็ก" หลังจากหลายสปัตเตอร์ วัสดุเป้าหมายกลายเป็นทินเนอร์ ฟลักซ์แม่เหล็ก เพิ่ม และการสปัตเตอร์ง่าย

กระบวนการป้อนกลับเชิงบวกนี้ช่วยลดการใช้ประโยชน์ของเป้าหมาย อัตราการใช้ประโยชน์ต่ำของเป้าหมายสปัตเตอร์ระนาบผลิตกล่องจากกระดาษเป็นข้อบกพร่องของการผลิตกล่องจากกระดาษระนาบที่สปัตเตอร์เป้าหมายสำหรับเป้าหมายที่มีคุณค่า