ชุดปั๊มสุญญากาศสูงพิเศษ

ชุดปั๊มสุญญากาศสูงพิเศษ
หน่วยสุญญากาศสูงพิเศษทำงานในช่วงแรงดันสุญญากาศสูงพิเศษที่ 10-6 ~ 10-10Pa นอกเหนือจากข้อกำหนดที่ว่าวัสดุของห้องสุญญากาศจะต้องมีอัตราการปล่อยก๊าซต่ำมาก a อัตราการรั่วไหลของก๊าซน้อยมาก และสามารถทนต่อการอบที่อุณหภูมิสูง 200 ~ 450 องศา ข้อกำหนดสำหรับหน่วยยังรวมถึง:
(1) ระดับสุญญากาศสูงสุดของปั๊มหลักควรสูง อย่างน้อย 10-7 ~ 10-8Pa ข้างต้น
(2) ปั๊มหลักมีความเร็วในการปั๊มที่แน่นอนภายในช่วงแรงดันใช้งานของสุญญากาศสูงพิเศษ
(3) ปั๊มหลักของตัวเครื่องหรือส่วนที่อยู่เหนือช่องอากาศเข้าของปั๊มหลักสามารถทนต่อการอบที่อุณหภูมิสูงได้ 200 ~ 450 องศา
(4) ความดันบางส่วนของก๊าซไหลย้อนกลับ (รวมถึงไอของเหลวที่ใช้งานและก๊าซที่ละลายแล้ว) ไปยังปั๊มอัตโนมัติควรต่ำเพียงพอ
(5) ปั๊มหลักที่มีความสามารถในการเลือกก๊าซที่สูบได้ดีควรติดตั้งปั๊มเสริมขนาดใหญ่เพียงพอ
(6) ท่อ วาล์ว และส่วนประกอบอื่น ๆ เหนือช่องไอดีของปั๊มหลักของตัวเครื่อง การเลือกและการปิดผนึกวัสดุควรระมัดระวังเป็นพิเศษ โดยทั่วไปจะใช้สเตนเลสที่มีอัตราการปล่อยก๊าซต่ำและโครงสร้างการซีลโลหะและวัสดุการซีล

บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบ DLC, เครื่องเคลือบแสง, สายเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการเทิร์นคีย์สามารถใช้ได้ ติดต่อเราตอนนี้ อีเมล: iks.pvd@foxmail.com