การระเหยด้วยสุญญากาศและการเคลือบสปัตเตอริง

การระเหยด้วยสุญญากาศและการเคลือบสปัตเตอริง

วิธีการเคลือบด้วยการระเหยด้วยสุญญากาศ (เรียกว่าการเคลือบด้วยการระเหยด้วยสุญญากาศ) เป็นวิธีการให้ความร้อนแก่วัตถุดิบที่จะขึ้นรูปเป็นฟิล์มในถังระเหยในห้องสุญญากาศเพื่อทำให้อะตอมหรือโมเลกุลกลายเป็นไอจากพื้นผิวเพื่อสร้างการไหลของไอน้ำ ตกกระทบกับพื้นผิวที่เป็นของแข็ง (เรียกว่าซับสเตรตหรือซับสเตรต) เกิดการควบแน่นเป็นฟิล์มแข็ง การเคลือบสปัตเตอริงหมายถึงกระบวนการใช้อนุภาคที่ใช้งานได้เพื่อระดมยิงพื้นผิวของวัสดุเป้าหมายภายใต้สภาวะสุญญากาศ เพื่อให้อะตอมที่พื้นผิวของวัสดุเป้าหมายได้รับพลังงานเพียงพอและหลุดรอดออกไป วัสดุเป้าหมายสปัตเตอริงจะสะสมอยู่บนพื้นผิวของซับสเตรต ซึ่งเรียกว่าการเคลือบสปัตเตอร์ ไอออนที่ตกกระทบในฟิล์มเคลือบสปัตเตอริงโดยทั่วไปได้มาจากการปล่อยสารเรืองแสงในช่วง 10^-2Pa ~ 10Pa ดังนั้นอนุภาคสปัตเตอริงจึงชนกับโมเลกุลของก๊าซในห้องสุญญากาศได้ง่ายในระหว่างกระบวนการบิน เข้ากับเมทริกซ์เพื่อให้ทิศทางการเคลื่อนที่เป็นแบบสุ่มและฟิล์มที่เคลือบจะสม่ำเสมอได้ง่าย การพัฒนาขนาดของการเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอริง อัตราการสะสมตัวสูง กระบวนการทำซ้ำได้ดี ง่ายต่อการทำให้เป็นอัตโนมัติ เหมาะสำหรับการเคลือบตกแต่งสถาปัตยกรรมขนาดใหญ่ และการเคลือบตามการใช้งานของวัสดุอุตสาหกรรม และประเภท TGN-JR ด้วย มัลติอาร์กหรือแมกนีตรอนสปัตเตอริงในพื้นผิวของพลาสติกโฟมคอยล์และใยผ้าชุบนิกเกิล Ni และซิลเวอร์ Ag

บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบ DLC, เครื่องเคลือบออปติคอล, สายเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการแบบเบ็ดเสร็จ ติดต่อเราตอนนี้ E-mail:iks.pvd@foxmail.com