หลักการของการเคลือบสูญญากาศ PVD ที่มีสีสันคืออะไร?
Oct 13, 2020| หลักการของการเคลือบสูญญากาศ PVD ที่มีสีสันคืออะไร?
epitaxy ลำแสงโมเลกุลถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในการประดิษฐ์อุปกรณ์ออปติคัลรวมและฟิล์มซุปเปอร์แลตติซต่างๆ เมื่อพื้นผิวของแข็งถูกทิ้งระเบิดด้วยอนุภาคพลังงานสูงอนุภาคที่อยู่บนพื้นผิวของแข็งจะได้รับพลังงานและหลบหนีจากพื้นผิวไปเกาะบนพื้นผิว สปัตเตอริงเริ่มใช้ในเทคโนโลยีการเคลือบในปี พ.ศ. 2413 และค่อยๆถูกนำมาใช้ในอุตสาหกรรมหลังปี พ.ศ. 2473 เนื่องจากอัตราการสะสมที่เพิ่มขึ้น วัสดุที่จะฝากมักจะทำเป็นเพลทเป้าหมายซึ่งยึดอยู่กับแคโทด วัสดุพิมพ์วางอยู่บนขั้วบวกหันหน้าไปทางพื้นผิวเป้าหมายห่างจากเป้าหมายหลายเซนติเมตร หลังจากถูกสูบไปที่สุญญากาศระดับสูงระบบจะเต็มไปด้วยก๊าซ 10 ~ 1 pa (โดยปกติคืออาร์กอน) และใช้สองสามกิโลโวลต์ระหว่างแคโทดและขั้วบวกทำให้เกิดการเรืองแสงระหว่างขั้วไฟฟ้า ไอออนบวกที่เกิดจากการคายประจุจะบินไปที่แคโทดภายใต้การกระทำของสนามไฟฟ้าและชนกับอะตอมบนพื้นผิวเป้าหมาย อะตอมเป้าหมายที่หนีจากพื้นผิวเป้าหมายโดยการชนกันเรียกว่าอะตอมสปัตเตอริงซึ่งมีพลังงานตั้งแต่ 1 ถึงหลายสิบอิเล็กตรอนโวลต์ อะตอมของสปัตเตอริงจะสะสมอยู่บนพื้นผิวของวัสดุพิมพ์เพื่อก่อให้เกิดการชุบด้วยไฟฟ้า แตกต่างจากการชุบด้วยไฟฟ้าแบบระเหยการชุบด้วยไฟฟ้าไม่ได้ถูก จำกัด ด้วยจุดหลอมเหลวของวัสดุฟิล์มและสามารถสปัตเตอร์สารทนไฟเช่น W, Ta, C, Mo, WC และ TiC ฟิล์มผสมสปัตเตอร์สามารถเตรียมได้โดยการทำปฏิกิริยาสปัตเตอร์ซึ่งก๊าซปฏิกิริยา (O, N, HS, CH ฯลฯ ) จะถูกเติมเข้าไปในก๊าซ Ar และก๊าซปฏิกิริยาและไอออนของพวกมันจะทำปฏิกิริยากับอะตอมเป้าหมายหรืออะตอมของสปัตเตอร์เพื่อสร้างสารประกอบ ( เช่นออกไซด์ไนไตรด์เป็นต้น) และสะสมบนพื้นผิว ฟิล์มฉนวนสามารถสะสมได้ด้วยวิธีการสปัตเตอร์ความถี่สูง พื้นผิวติดตั้งอยู่บนอิเล็กโทรดสายดินและเป้าหมายของฉนวนจะติดตั้งบนอิเล็กโทรดด้านตรงข้าม แหล่งจ่ายไฟ hf ต่อสายดินที่ปลายด้านหนึ่งและเชื่อมต่อกับอิเล็กโทรดที่มีเป้าหมายฉนวนผ่านเครือข่ายที่ตรงกันและความจุ DC แยก หลังจากเปิดแหล่งจ่ายไฟ hf แรงดันไฟฟ้า HF จะเปลี่ยนขั้วอย่างต่อเนื่อง อิเล็กตรอนและไอออนบวกในพลาสมาจะพุ่งชนเป้าหมายฉนวนที่ครึ่งรอบบวกและลบของแรงดันไฟฟ้า เนื่องจากความคล่องตัวของอิเล็กตรอนสูงกว่าไอออนบวกพื้นผิวของชิ้นงานฉนวนจึงมีประจุลบ เมื่อถึงจุดสมดุลไดนามิกเป้าหมายจะมีความเป็นไบแอสเชิงลบดังนั้นการสปัตเตอร์ของไอออนบวกไปยังเป้าหมายยังคงดำเนินต่อไป
บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, mahcine เคลือบด้วยแสง, สายการผลิตสูญญากาศ PVD ติดต่อเราตอนนี้ E-mail: iks.pvd@foxmail.com