กระบวนการเฉพาะของการสร้างความสว่างในหลักการสปัตเตอร์แม่เหล็กคืออะไร

กระบวนการเฉพาะของการสร้างความสว่างในหลักการสปัตเตอร์แม่เหล็กคืออะไร? ก๊าซ Ar เป็นไอออนได้อย่างไร

ภายใต้การกระทําของแรงดันไฟฟ้าที่ใช้ระหว่างขั้วบวกและลบอะตอมก๊าซระหว่างขั้วไฟฟ้าจะไอออน ในกระบวนการไอออนไนซ์อะตอม Ar บางตัวจะถูกไอออนเข้าไปใน Ar + ไอออนและอิเล็กตรอน อิเล็กตรอนจะถูกเร่งให้ขั้วไฟฟ้าโดยสนามไฟฟ้าและประจุบวก Ar + ไอออนเร่งไปสู่เป้าหมายแคโธดภายใต้การกระทําของสนามไฟฟ้าและปล่อยพลังงานที่สอดคล้องกันในการปะทะกับพื้นผิวเป้าหมาย หนึ่งในผลของผลกระทบของไอออนที่มีพลังงานบางอย่างในเป้าหมายคืออะตอมบนพื้นผิวเป้าหมายได้รับพลังงานบางอย่างและปล่อยให้พื้นผิวเป้าหมายที่จะย้ายไปบนพื้นผิว ในกระบวนการของสปัตเตอร์มีอนุภาคอื่น ๆ ติดตามรวมทั้งการปล่อยอิเล็กตรอนรองจากแคโธด
นี่คือการปล่อยก๊าซและแรงดันไฟฟ้ามักจะอยู่ในกิโลโวลต์บน แต่แมกนีรอนสปัตเตอร์นั้นแตกต่างกัน
ระหว่าง magnetron sputtering มีสนามแม่เหล็กบนพื้นผิวของเป้าหมายเพื่อให้อิเล็กตรอนสามารถถูกผูกไว้รอบเป้าหมายโดยไม่สูญหายขึ้นรูปปรากฏการณ์การปลดปล่อยตัวเองอย่างยั่งยืนและแรงดันไฟฟ้าตามธรรมชาติลดลงไปหลายร้อยโวลต์ ในระหว่างการปลดปล่อยตัวเองอย่างยั่งยืน, ส่วนใหญ่ของไอออนไนซ์อาร์กอนเกิดจากการทิ้งระเบิดของอิเล็กตรอนฟรี.

e- +Ar →Ar+ + 2e-

ถ้าคุณเป็นที่น่าสนใจประเภทเคลือบป้องกันสิ่งแวดล้อม, ติดต่อเราตอนนี้, e- mail:iks.pvd@foxmail.com,รายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับเครื่องเคลือบสูญญากาศ PVDบริษัท ไอเคเอส พีวีดี เทคโนโลยี (เสิ่นหยาง) จํากัด