ลักษณะและการจำแนกประเภทของหน่วยสูญญากาศสูงเป็นพิเศษ

ลักษณะเฉพาะ และการจำแนกประเภทของหน่วยสูญญากาศสูงเป็นพิเศษ

IKS PVD， PVD เครื่องเคลือบสูญญากาศผลิต， ติดต่อกับเราตอนนี้， iks.pvd @ foxmail.com， เพื่อรับรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับเครื่องเคลือบ

หน่วยสูญญากาศสูงพิเศษที่ทำงานที่มากกว่า 10 ^-5 pa มีปั๊มกระจาย, ปั๊มโมเลกุลหน่วยสูญญากาศสูงเป็นพิเศษและหน่วยสูญญากาศสูงพิเศษที่ปราศจากน้ำมัน หน่วยมีลักษณะดังต่อไปนี้:

1. ระดับสุญญากาศสูงสุดของปั๊มหลัก 10 ^-7 ~ 10 ^-8 pa ด้านบน

2. สามารถทนต่ออุณหภูมิสูง 200 ~ 450 ℃ อบ

3. ความดันบางส่วนของก๊าซหลอมเหลวในปั๊มหลักนั้นต่ำมาก

4. สำหรับการเลือกก๊าซของปั๊มหลักที่จะติดตั้งปั๊มเสริมที่มีขนาดใหญ่พอ

5. ความต้องการของห้องสูญญากาศ, ท่อ, วาล์วและส่วนประกอบอื่น ๆ ของอัตราการส่งออกวัสดุอยู่ในระดับต่ำมากอัตราการรั่วไหลมีขนาดเล็กมาก

(1) ปั๊มกระจายหน่วยสูญญากาศสูงพิเศษ

ปั๊มกระจายเป็นปั๊มที่มีความสำคัญในหน่วยสูญญากาศที่ดีที่สุดระดับสูญญากาศสูงเป็นพิเศษคือ 10-7 ~ 10-8 pa

เพื่อลดจากปั๊มกระจายก่อนระดับของการแพร่กระจายของก๊าซและบล็อกปั๊มกลน้ำมันป้องกันผลกระทบการแพร่กระจายในสูญญากาศที่ดีที่สุด แต่ในด้านหน้าของระดับปั๊มกระจายชนิดความเร็วสูบน้ำขนาดเล็กของปั๊มกระจายเพื่อลดอัตราส่วนการบีบอัดลด the diffusion เช่นเดียวกับใน diffusion pump inlet การเพิ่ม titanium sublimation ไว้ข้างบนสามารถลดความดันไนโตรเจนบางส่วนจากปั๊ม diffusion ได้ 10 ถึง 11 pa pa สูญญากาศสูงเป็นพิเศษ

(2) หน่วยปั๊มสูญญากาศระดับโมเลกุลสูงพิเศษ

หน่วยสูญญากาศสูงเป็นพิเศษพร้อมปั๊มโมเลกุลเป็นปั๊มหลักมีระดับสุญญากาศสูงสุด 10-8 pa ซึ่งโดดเด่นด้วยการเริ่มต้นที่รวดเร็วและมลพิษน้ำมันขนาดเล็ก นอกจากนี้ยังสามารถเพิ่มความเย็นไนโตรเจนเหลวได้ในหน่วยเพื่อเพิ่มความเร็วในการสูบ สามารถติดตั้งบ่อน้ำเย็นที่เต้าเสียบปั๊มเครื่องจักรกลเพื่อป้องกันไม่ให้ไอน้ำมันเข้าไปในระบบ

(3) หน่วยสูญญากาศสูงพิเศษน้ำมันฟรี

หน่วยสูญญากาศที่ไม่ใช้น้ำมันเป็นสารทำงานและไม่ได้ปิดผนึกด้วยวัสดุอินทรีย์เรียกว่าปั๊มหลักที่ใช้กันทั่วไปในหน่วยสูญญากาศสูงพิเศษที่ไม่มีน้ำมันเช่นปั๊มแช่แข็งปั๊มไทเทเนียมปั๊มสปัตเตอร์ไอออน ฯลฯ ซึ่งสามารถรับระดับสุญญากาศสูงสุดของ 10 ^-7 ~ 10 ^-8 pa เปรียบเทียบกับหน่วยสูญญากาศที่มีน้ำมันมันมีข้อดีดังต่อไปนี้:

1) ทำความสะอาดสูญญากาศโดยไม่มีแหล่งมลภาวะ

2) เมื่อปั๊มสุญญากาศที่ไม่มีน้ำมันเริ่มทำงานปั๊มสูบน้ำก่อนปั๊มสามารถแยกได้

3) หากปั๊มหยุดกระทันหันระบบจะไม่ปนเปื้อน

4) ไม่มีน้ำมันไม่มีการสั่นสะเทือนปรับปรุงสภาพแวดล้อมการทำงาน;

5) สูญญากาศขีด จำกัด สูงความเร็วสูบน้ำสูงเวลาสูบน้ำสั้น