การแก้ไขปัญหาทั่วไปในการทำ Magnetron Sputtering Film

ภาพยนตร์เรื่องนี้เป็นสีเทาและดำ

1. ระดับของสูญญากาศต่ำกว่า 0.67 พี ระดับของสูญญากาศควรเพิ่มขึ้นเป็น 0.13-0.4Pa

2. ความบริสุทธิ์ของอาร์กอนน้อยกว่า 99.9% Plaese ใช้อาร์กอนที่มีความบริสุทธิ์ 99.99%

3. การรั่วไหลของระบบพอง ควรตรวจสอบระบบเงินเฟ้อเพื่อลดการรั่วไหล

รองพื้นไม่ได้รับการบ่มอย่างเต็มที่ ควรยืดเวลาการบ่มของไพรเมอร์ให้เหมาะสม

5. ปริมาณก๊าซที่ปล่อยออกมาจากชิ้นส่วนชุบมีขนาดใหญ่เกินไป ห้องควรอบแห้งและปิดผนึก

พื้นผิวมัวและหมองคล้ำ

1. เวลาสปัตเตอร์ยาวเกินไป เวลาควรจะสั้นลงอย่างเหมาะสม

2. ความเร็วในการสเปรย์และฟิล์มขึ้นเร็วเกินไป กรุณาลดกระแสหรือแรงดันไฟฟ้าของสปัตเตอร์

สีที่ไม่สม่ำเสมอของการเคลือบ

1. ฟิล์มบางเกินไป โปรดเพิ่มความเร็วในการสปัตเตอร์หรือเวลาสปัตเตอร์

2. การออกแบบที่ไม่มีเหตุผล ควรปรับปรุงการแข่งขัน

3. เรขาคณิตของพื้นผิวมีความซับซ้อนเกินไป กรุณาเพิ่มความเร็วในการหมุนของวัสดุพิมพใหเหมาะสม

ฟิล์มมีรอยเหี่ยวย่นหรือรอยแตก

1. อัตราการระเหยเร็วเกินไป ควรชะลอตัวลงอย่างเหมาะสม

2. ฟิล์มหนาเกินไป เวลาสปัตเตอร์ควรลดลงอย่างเหมาะสม

3. อุณหภูมิของพื้นผิวสูงเกินไป โปรดลดระยะเวลาการทำความร้อนของพื้นผิว

พื้นผิวฟิล์มมีเครื่องหมายน้ำลายนิ้วมือและอนุภาคของเขม่า

1. พื้นผิว ไม่แห้งสนิทหลังจากทำความสะอาด ควรปรับปรุงการรักษาด้วยการชุบผิวก่อน

2. พื้นผิวของพื้นผิวถูกน้ำหรือน้ำลาย ผู้ดำเนินการควรสวมหน้ากาก

การยึดติดไม่ดี

1. การขจัดไขมันส่วนเกินจากชิ้นส่วนชุบ ควรปรับปรุงการรักษาด้วยการชุบผิวก่อน

2. ช่องสูญญากาศไม่สะอาด ควรทำความสะอาดช่องสูญญากาศ โปรดทราบว่าในระหว่างการขนย้ายเป้าหมายห้ามใช้มือหรือวัตถุที่ไม่สะอาดอื่น ๆ โดยเด็ดขาดเพื่อสัมผัสแหล่ง magnetron

3. การติดตั้งไม่สะอาด การติดตั้งควรทำความสะอาด

4. การควบคุมสภาพการสปัตเตอร์อย่างไม่เหมาะสม โปรดปรับปรุงเงื่อนไขกระบวนการสปัตเตอร์