โครงสร้างรายละเอียดของเครื่องเคลือบสูญญากาศ

รายละเอียดโครงสร้างของเครื่องเคลือบสูญญากาศ

เครื่องเคลือบสูญญากาศสูงเครื่องเคลือบเป็นอุปกรณ์ที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตสภาวะสูญญากาศ ส่วนประกอบที่เกี่ยวข้อง: ปั๊มเครื่องจักรกลปั๊มบูสเตอร์ปั๊มกระจายน้ำมันปั๊มกลั่นระบบตรวจวัดสูญญากาศ

ต่อไปนี้ฉันจะแนะนำองค์ประกอบและหลักการทำงานของแต่ละส่วนโดยละเอียด

1. สูญญากาศตัวหลัก - ห้องสูญญากาศ

ตามความต้องการที่แตกต่างกันของผลิตภัณฑ์การประมวลผลขนาดของช่องสูญญากาศไม่เหมือนกันที่ใช้กันมากที่สุดในปัจจุบันคือ 1.3M, 0.9M, 1.5M, 1.8M ฯลฯ ช่องทำจากวัสดุสแตนเลส ไม่เป็นสนิม, แข็ง, ฯลฯ แต่ละส่วนของช่องสูญญากาศมีวาล์วเชื่อมต่อที่ใช้ในการเชื่อมต่อปั๊ม

2. ระบบสูบน้ำเสริม

ระบบไอเสียประกอบด้วย "ปั๊มแพร่ + ปั๊มกล + ปั๊มราก + อุณหภูมิต่ำกับดักเย็น + โพลี"

การไหลของไอเสียมีดังนี้: ปั๊มเชิงกลจะทำการปั๊มห้องสูญญากาศเป็นครั้งแรกที่สถานะสูญญากาศต่ำกว่า 2.0 * 10-2 pa ซึ่งให้สถานที่ตั้งสำหรับปั๊มกระจายเพื่อปั๊มสูญญากาศ ต่อมาเมื่อปั๊มแพร่กระจายปั๊มห้องสูญญากาศปั๊มเชิงกลและปั๊มกระจายน้ำมันในรูปแบบชุดเพื่อดำเนินการสูบน้ำในลักษณะนี้

ระบบไอเสียเป็นส่วนสำคัญของระบบสูญญากาศของเครื่องเคลือบ ส่วนใหญ่ประกอบด้วยปั๊มเครื่องจักรกลปั๊มบูสเตอร์ (ส่วนใหญ่แนะนำปั๊มราก) และปั๊มกระจายน้ำมัน

ปั๊มเครื่องจักรกล: เรียกอีกอย่างว่าปั๊มหน้าเวทีปั๊มเครื่องจักรกลเป็นหนึ่งในปั๊มสุญญากาศต่ำที่ใช้กันอย่างแพร่หลายมากที่สุดมันเป็นน้ำมันเพื่อรักษาผลการปิดผนึกและพึ่งพาวิธีการทางกลที่จะเปลี่ยนปริมาณของช่องดูดในปั๊มอย่างต่อเนื่อง เพื่อให้ปริมาตรของก๊าซในภาชนะบรรจุที่สูบเพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่องเพื่อให้ได้สุญญากาศ

มีหลายชนิดของปั๊มเครื่องจักรกลที่ใช้กันทั่วไปมีประเภทวาล์วเลื่อน (ส่วนใหญ่จะใช้ในอุปกรณ์ขนาดใหญ่) ลูกสูบลูกสูบประเภทใบมีดคงที่และหมุน (นี้เป็นที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในกระดาษนี้ส่วนใหญ่แนะนำ) สี่ประเภท

ปั๊มเครื่องจักรกลมักจะใช้ในการลบอากาศแห้ง แต่ไม่สามารถเอาปริมาณออกซิเจนสูงเกินไปก๊าซระเบิดและกัดกร่อนโดยทั่วไปปั๊มเครื่องจักรกลมักใช้ในการลบก๊าซถาวร แต่ไม่มีผลดีต่อก๊าซน้ำจึงไม่สามารถเอาน้ำออกได้ ก๊าซ. ปั๊มใบพัดหมุนมีบทบาทสำคัญในส่วนของสเตเตอร์, โรเตอร์, กระสุน ฯลฯ , โรเตอร์ในสเตเตอร์ แต่แตกต่างจากแมนเดอร์สเตเตอร์, เช่นวงกลมสองวง, ร่องใบพัดสองชิ้น, กระสุนสองชิ้น ด้วยสปริงตรงกลางเพื่อให้แน่ใจว่ากระสุนติดแน่นกับผนังสเตเตอร์

กระสุนสองอันของมันเล่นสลับกันสองบทบาทในอีกทางหนึ่งจากปริมาณอากาศเข้าสู่แก๊สในอีกทางหนึ่งถูกบีบอัดเข้าไปในแก๊สปั๊มจ่ายก๊าซ การหมุนของโรเตอร์แต่ละครั้งปั๊มจะทำการดูดสองครั้งและไอเสียสองครั้ง เมื่อปั๊มหมุนตามเข็มนาฬิกาอย่างต่อเนื่องปั๊มใบพัดหมุนอย่างต่อเนื่องผ่านอากาศไอดีและจากไอเสียไอเสียภายนอกปั๊มเพื่อให้บรรลุวัตถุประสงค์ของการสูบน้ำในภาชนะ เพื่อปรับปรุงปั๊มสูญญากาศที่ จำกัด สเตเตอร์ปั๊มแช่ในน้ำมันและทุกพื้นที่ว่างที่เป็นอันตรายมักจะเก็บน้ำมันเพียงพอภายในเติมช่องว่างดังนั้นการหล่อลื่นน้ำมันมือหนึ่งและประทับตราและ ช่องว่างปลั๊กและผลกระทบที่เป็นอันตรายของพื้นที่ป้องกันไม่ให้โมเลกุลก๊าซไหลย้อนกลับผ่านช่องทางต่าง ๆ เพื่อความดันต่ำของพื้นที่

ปั๊มเชิงกลเริ่มต้นจากงานบรรยากาศตัวแปรหลักมีขีด จำกัด สุญญากาศอัตราสูบน้ำสำหรับการออกแบบและเลือกปั๊มเชิงกลพื้นฐานที่สำคัญ ปั๊มแบบขั้นตอนเดียวสามารถสูบภาชนะจากบรรยากาศสู่ระดับสุญญากาศได้ที่ 1.0 * 10-1 pa ปั๊มแบบเครื่องจักรกลสองขั้นตอนสามารถสูบภาชนะจากชั้นบรรยากาศสู่ 6.7 * 10-2 pa หรือสูงกว่า

อัตราการสกัดหมายถึงปริมาณของก๊าซที่สามารถปล่อยต่อหน่วยเวลาเมื่อปั๊มใบพัดหมุนทำงานตามจำนวนที่กำหนดของการปฏิวัติซึ่งสามารถคำนวณได้จากสูตรดังต่อไปนี้

2nVs ฏ = = 2nfsL

Fs ย่อมาจากพื้นที่หน้าตัดของช่องว่างเวลาในตอนท้ายของแรงบันดาลใจ, L หมายถึงความยาวของช่อง, ค่าสัมประสิทธิ์ย่อมาจากกระบวนการไอเสียของโรเตอร์สองครั้งทุกรอบการหมุน, Vs หมายถึงจุดสิ้นสุดของแรงบันดาลใจเมื่อ โรเตอร์อยู่ในตำแหน่งแนวนอนปริมาตรในช่องเวลานั้นใหญ่ที่สุดและความเร็วในการหมุนคือ n

ผลกระทบของปั๊มเชิงกลไอเสียกับความเร็วของมอเตอร์และความหลวมของสายพานมีความสัมพันธ์เมื่อเข็มขัดของมอเตอร์จะหลวมความเร็วมอเตอร์ช้าผลปั๊มไอเสียเชิงกลจะกลายเป็นแย่ลงดังนั้นมักจะรักษานับ นอกจากนี้ยังต้องตรวจสอบเครื่องจักรปั๊มซีลน้ำมันมักจะน้อยเกินไปและไม่สามารถตอบสนองผลการปิดผนึกในการรั่วไหลของปั๊ม, น้ำมันมากเกินไป, รูเสียบดูดแรงบันดาลใจและไอเสียโดยทั่วไป 0.5 ซม. ระดับน้ำมันใน ออฟไลน์

ปั๊มเทอร์โบ / ปั๊มราก: มันคือการมีคู่ของความเร็วสูงหมุนคู่ใบรูปร่างหรือปั๊มกลใบพัดห้อยเป็นตุ้มเพราะมันทำงานเช่นเดียวกับรากเป่าลมดังนั้นยังสามารถเรียกปั๊มสุญญากาศรากปั๊มใน ช่วงของความเร็วในการสกัดแรงดัน 100-1 mpa อย่างมากมันทำขึ้นสำหรับความสามารถในการปั๊มไอเสียเชิงกลข้อบกพร่องไม่เพียงพอในขอบเขตนี้ปั๊มไม่สามารถเริ่มทำงานจากบรรยากาศไม่มีการปล่อยบรรยากาศโดยตรงบทบาทของมันเป็นเพียงการ เพิ่มความแตกต่างของแรงดันระหว่างทางเข้าและทางออกส่วนที่เหลือของปั๊มเชิงกลต้องดำเนินการให้เสร็จดังนั้นจึงต้องจับคู่กับปั๊มเชิงกลเป็นปั๊มสำรอง

เครื่องจักรที่ใช้ในกระบวนการปั๊มต้องใส่ใจกับปัญหาต่อไปนี้:

1, ปั๊มเครื่องจักรกลที่จะติดตั้งในที่สะอาดและแห้ง

2, ปั๊มตัวเองเพื่อให้สะอาดและแห้งน้ำมันปั๊มมีการปิดผนึกและหล่อลื่นดังนั้นจะต้องเพิ่มตามจำนวนที่ระบุ

3 เพื่อแทนที่น้ำมันปั๊มเป็นประจำควรเปลี่ยนน้ำมันก่อนทิ้งเสียรอบอย่างน้อยสามเดือนถึงหกเดือนเพื่อแทนที่หนึ่งครั้ง

4. เชื่อมต่อสายไฟตามคำแนะนำ

5 ก่อนที่ปั๊มกลหยุดทำงานเพื่อปิดวาล์วไอดีจากนั้นไฟฟ้าขัดข้องและเปิดวาล์วอากาศอากาศเข้าไปในปั๊มผ่านทางเข้า

6 ในระหว่างการทำงานของปั๊มอุณหภูมิน้ำมันไม่เกิน 75 องศาเซลเซียสมิฉะนั้นความหนืดของน้ำมันมีขนาดเล็กเกินไปและนำไปสู่การปิดผนึกหละหลวม

7 หรือตรวจสอบความหนาแน่นของสายพานเครื่องจักรปั๊ม, ความเร็วมอเตอร์, ความเร็วของมอเตอร์ปั๊มรากและผลการปิดผนึกแหวนปิดผนึก

ปั๊มกระจายน้ำมัน: ปั๊มสูญญากาศแบบ จำกัด มีเพียง 10-2 pa เมื่อถึง 10-1 pa ความเร็วในการปั๊มจริงเพียง 1/10 ของทฤษฎีถ้าคุณต้องการดูดสูญญากาศสูงคุณต้องใช้การกระจายน้ำมัน ปั๊ม.

เนื่องจากปั้มน้ำมันแพร่เป็นปั๊มแรกที่ใช้ในการรับสุญญากาศสูงราคาถูกบำรุงรักษาง่ายและใช้กันอย่างแพร่หลายดังนั้นบทความนี้จะมุ่งเน้นไปที่การอภิปราย

ช่วงการใช้งานของปั๊มแรงดันน้ำมันคือ 10-1 -10-7 pa มันคือการใช้ปรากฏการณ์การแพร่กระจายของแก๊สไอเสียมันมีโครงสร้างที่เรียบง่ายใช้งานง่ายความเร็วปั๊มมีขนาดใหญ่ (สูงสุดสามารถเข้าถึง 10 + 5 ลิตร / s) และลักษณะอื่น ๆ ปั๊มกระจายน้ำมันส่วนใหญ่ประกอบด้วยเปลือกปั๊มหัวฉีดท่อผันและเครื่องทำความร้อน ปั๊มกระจายน้ำมัน (d-704 # ในญี่ปุ่น) ส่วนใหญ่จะถูกเพิ่มเข้าไปข้างใน ตามจำนวนหัวฉีดสามารถแบ่งออกเป็นปั๊มแบบขั้นตอนเดียวและปั๊มแบบหลายขั้นตอน

ที่ด้านล่างของปั๊มกระจายจะเก็บน้ำมันของปั๊มกระจาย ส่วนบนเป็นทางเข้าของอากาศและส่วนล่างทางด้านขวาคือช่องระบายอากาศ ในระหว่างการใช้งานปั๊มลมจะได้รับแรงดันบุพบทโดยปั๊มเชิงกลและปั๊มเชิงกล ACTS เป็นปั๊มดูดอากาศ

เมื่อน้ำมันของปั๊มแพร่กระจายถูกทำให้ร้อนด้วยเตาไฟฟ้าไอน้ำมันที่ผลิตจะให้แรงดันที่โหลดไว้ล่วงหน้าและปั๊มเชิงกล ACTS เป็นปั๊มที่โหลดล่วงหน้า เมื่อน้ำมันปั๊มแพร่กระจายความร้อนจากเตาไฟฟ้าไอน้ำมันจะถูกปล่อยลงท่อผ่านหัวฉีดร่ม เนื่องจากมีสูญญากาศ 1-10-1 pa ที่ปั๊มทางกลอยู่นอกหัวฉีดไอน้ำมันจึงถูกขับออกมาในระยะทางหนึ่งทำให้เกิดไอพ่นไหลในทิศทางของเต้าเสียบอากาศ ในที่สุดเจ็ตก็พบกับผนังปั๊มที่ระบายความร้อนด้วยน้ำหล่อเย็นควบแน่นเป็นของเหลวและไหลกลับไปที่เครื่องระเหยเช่นระเหยไอพ่นไอพ่นควบแน่นและหมุนเวียนซ้ำ ๆ เพื่อให้เกิดการสกัดอากาศ

โดยโมเลกุลของก๊าซในอากาศเข้าสู่ปั๊มเมื่อตกลงสู่การไหลของไอน้ำจะทำให้โมเมนตัมของการเคลื่อนที่ลดลงเนื่องจากเครื่องบินเจ็ทที่มีความเร็วสูง (200 m / SEC) ความหนาแน่นสูงของไอน้ำและ น้ำมันปั๊มแพร่ที่มีน้ำหนักโมเลกุลสูง (300-500) สามารถใช้โมเลกุลก๊าซได้อย่างมีประสิทธิภาพดังนั้นภายในส่วนต่อประสานของเจ็ทโมเลกุลก๊าซไม่สามารถติดค้างเป็นเวลานานและไหลเจ็ตทั้งสองด้านของอินเทอร์เฟซ คือความเข้มข้นของก๊าซควันไม่ดีมากเพียงเพราะความแตกต่างของความเข้มข้นนี้ในส่วนต่อประสานการกระทำในการแพร่กระจายของก๊าซควันเข้าไปในเจ็ทถูกนำตัวไปที่ทางออกและที่ทางออกโดยปั๊มเชิงกล

ความดันไอน้ำมันของปั๊มกระจายเป็นปัจจัยสำคัญในการกำหนดสุญญากาศขั้นสุดท้ายของปั๊ม

ปั๊มแบบกระจายไม่สามารถใช้ในการปั๊มเพียงอย่างเดียวความต้องการทั่วไปของแรงดันทางออกสูงสุดของปั๊มคือ 40 pa ชัยชนะของปั๊มหัวฉีดถูกกำหนดไว้ในระดับแรกของหัวฉีดและตัวปั๊มขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางของ, ขนาดของพื้นที่วงกลมระหว่างความเร็วในการสูบน้ำไม่ได้เป็นค่าคงที่ แต่แตกต่างกันกับความดันอากาศเข้าเมื่อความดันใน 2 ~ 10 -10-3, ความเร็วในการดูดปั๊มแพร่เป็นเร็วที่สุดเมื่อความดันน้อยกว่า 5 * 10-4 mpa ความเร็วในการดูดปั๊มแพร่ขั้นต่ำเกือบจะไม่มีความจุดูด (ณ จุดนี้ความดันขาเข้าสูงกว่าเพราะมัน ความหนาแน่นสูงของอากาศทำให้ไอน้ำกลายเป็นไอพ่นความเร็วสูงเพื่อป้องกันการแพร่กระจายของอากาศดังนั้นความเร็วในการปั๊มลดลง)

ควรทำความสะอาดปั๊มแพร่ก่อนการติดตั้งจากนั้นสามารถโหลดน้ำมันกระจายได้ ก่อนที่น้ำมันจะถูกทำให้ร้อนปั๊มจะต้องถูกดูดก่อนและน้ำมันปั๊มจะต้องเย็นลงถึง 60 ~ 70 องศาเซลเซียสก่อนที่เครื่องจะหยุดทำงาน จากนั้นสามารถปิดแก๊สไอเสียด้านหน้าและในที่สุดก็สามารถปิดน้ำหล่อเย็นได้

เนื่องจากปั๊มกระจายน้ำมันไม่สามารถยุติโอกาสคืนน้ำมันได้ดังนั้นจึงไม่มีวิธีใดที่จะรับประกันผลิตภัณฑ์ที่มีความแม่นยำบริสุทธิ์ 100% โดยเฉพาะอย่างยิ่งในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ดังนั้นจึงมี "ปั๊มคอนเดนเสทสูญญากาศสูง + ปั๊มสูญญากาศต่ำ" ระบบสูญญากาศปราศจากน้ำมันประกอบด้วยระบบไอเสียของปั๊มคอนเดนเสทประกอบด้วยประสิทธิภาพไอเสียไม่สูงมากและมีประสิทธิภาพรับประกันความสะอาดของห้องสูญญากาศอย่างมีประสิทธิภาพรับประกันคุณภาพของผลิตภัณฑ์ (เพื่อหลีกเลี่ยงผลิตภัณฑ์ที่ปนเปื้อนเพิ่มการยึดเกาะระหว่างการเคลือบ และวัสดุพิมพ์) แต่ค่าบำรุงรักษาของมันนั้นสูงมากแพงดังนั้นจึงไม่มีการแพร่กระจายของน้ำมันในการเจาะ

ปั๊มกลั่นตัวที่อุณหภูมิต่ำ: เป็นปั๊มชนิดหนึ่งที่ควบแน่นโมเลกุลก๊าซบนพื้นผิวของอุณหภูมิต่ำเพื่อให้เกิดการปั๊ม

หลักการทำงานของปั๊มคอนเดนซิ่ง: ส่วนใหญ่จะเป็นไอควบแน่นดักเย็นและการดูดซับอุณหภูมิต่ำทางกายภาพของก๊าซบนพื้นผิวที่มีอุณหภูมิต่ำ

การควบแน่นที่อุณหภูมิ: ฮีเลียมเหลวหรือฮีเลียมรอบการทำความเย็นใช้สำหรับระบายความร้อนตามลักษณะของก๊าซต่างๆ

การดักความเย็น: เป็นปรากฏการณ์ที่ก๊าซที่ไม่ควบแน่นถูกจับโดยก๊าซที่ควบแน่น โดยปกติแล้วก๊าซเช่นคาร์บอนไดออกไซด์, ไอน้ำ, ไนโตรเจนและก๊าซบีบอัดก่อตัวเป็นน้ำแข็งก่อนแล้วจึงสร้างชั้นการดูดซับบนพื้นผิวที่มีอุณหภูมิต่ำเพื่อให้บรรลุวัตถุประสงค์ของการดูดซับก๊าซอื่น ๆ นี่คือเหตุผลที่ผลกระทบของปั๊มแช่แข็งในการกำจัดก๊าซผสมดีกว่าของก๊าซเดี่ยว

การดูดซับอุณหภูมิต่ำ: หมายถึงการดูดซับก๊าซโดยตัวดูดซับบนพื้นผิวของอุณหภูมิต่ำ เนื่องจากการทำงานร่วมกันระหว่างโมเลกุลดูดซับและก๊าซแรงดันไอสามารถต่ำกว่าแรงดันไออิ่มตัวที่อุณหภูมิพื้นผิวของการควบแน่น ตัวดูดซับมักเป็นถ่านกัมมันต์

อัตราสูบน้ำของปั๊มควบแน่นและอัตราสูบน้ำที่มีผลต่อปั๊มควบแน่นจะสัมพันธ์กับขนาดของพื้นที่ผิวควบแน่น จากข้อมูลอัตราการปั๊มต่อหน่วยของพื้นที่ผิวควบแน่นคือ 11.6 l / s นอกจากนี้รูปร่างพื้นผิวการดูดซับและตำแหน่งของถ่านกัมมันต์โครงสร้างอนุภาคถ่านกัมมันต์วัสดุพันธะและกระบวนการพันธะมีผลกระทบอย่างมากต่อความเร็วในการสูบ ประการที่สองที่สำคัญคือความสามารถในการทำความเย็นของตู้เย็นจะมีขนาดใหญ่พอ

เกจวัดสูญญากาศ: เกจวัดสูญญากาศเป็นส่วนสำคัญของเครื่องเคลือบสูญญากาศซึ่งเป็นวิธีการสำคัญในการทดสอบระดับสูญญากาศของเครื่องเคลือบ มาตรวัดสูญญากาศสามารถแบ่งออกเป็นเกจสูญญากาศสัมบูรณ์และเกจสุญญากาศสัมพัทธ์ตามหลักการทำงาน มาตรวัดสูญญากาศแบบสัมบูรณ์สามารถวัดระดับความดันโดยตรงในขณะที่มาตรวัดสูญญากาศสัมพัทธ์สามารถวัดระดับสุญญากาศทางอ้อมได้เท่านั้น

กระดาษนี้ส่วนใหญ่แนะนำเกจสูญญากาศต่อไปนี้ที่ใช้กันทั่วไปในเครื่องเคลือบ:

เครื่องวัดสูญญากาศความต้านทาน (หรือที่เรียกว่าเครื่องวัดสูญญากาศ pirani):

มันส่วนใหญ่ประกอบด้วยลวดความร้อนไฟฟ้า, เปลือกและวงเล็บส่วนใหญ่ขึ้นอยู่กับแรงดันต่ำ, การนำความร้อนของก๊าซเป็นสัดส่วนกับความดันของวิธีการทำงาน ช่องเปิดด้านบนเชื่อมต่อกับระบบสูญญากาศที่อยู่ระหว่างการทดสอบ ลวดร้อนทำจากลวดโลหะที่มีความต้านทานค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิสูง ขารองรับทั้งสองจะเชื่อมต่อกับสายวัด เมื่อความดันลดลงความร้อนที่สูญเสียไปจากการนำความร้อนของแก๊สจะลดลง ดังนั้นเมื่อกระแสร้อนของลวดร้อนคงที่อุณหภูมิของลวดร้อนจะเพิ่มขึ้นและความต้านทานของลวดร้อนจะเพิ่มขึ้น ความดันวัดโดยทางอ้อมโดยการวัดความต้านทานของลวดร้อน

นี่คือหลักการทำงานของเครื่องวัดสูญญากาศความต้านทานช่วงการวัดสูญญากาศคือ: ระหว่าง 100-10-1 mpa เป็นรุ่น WP - 02 ที่ใช้ในปัจจุบัน

วัดสูญญากาศควบคุมด้วยแม่เหล็ก:

วิธีการทำงาน: ที่จุดเริ่มต้นของการปล่อยเพราะพื้นที่ว่างอิเล็กตรอนอิสระจากการเคลื่อนไหวขั้วบวกภายใต้ผลของสนามแม่เหล็กไฟฟ้า orthogonal, วิถีอิเล็กตรอนไม่ได้เป็นเส้นตรง แต่เกลียวและเนื่องจากขั้วบวกเป็นกรอบดังนั้นอิเล็กทรอนิกส์ ไม่พบเป็นครั้งแรกที่ขั้วบวก แต่ผ่านขั้วบวกและการปฏิเสธโดยแคโทดและหลังจากกลับมา สามารถทำซ้ำได้หลายครั้งบนขั้วบวก เมื่อเส้นทางอิเลคตรอนยาวขึ้นอย่างมากจำนวนโมเลกุลที่ปะทะกันและการไอออไนซ์จะเพิ่มขึ้นเพื่อให้การคายประจุ (เรียกอีกอย่างว่าการปล่อยคดเคี้ยว) นั้นคงที่ที่ความดันต่ำ (ต่ำกว่า 10-4 pa)

ในปัจจุบันมีหลายรุ่นรวมถึง PKR251 และ gi-pary

เกจสูญญากาศหลอดดิสชาร์จ: อิเล็กโทรดโลหะสองอันถูกปิดผนึกในหลอดแก้วและมีแรงดันไฟฟ้ากระแสตรงสูงหลายพันโวลต์ การคายประจุด้วยตนเองอย่างยั่งยืนสามารถเกิดขึ้นได้ในช่วงความดันที่แน่นอน (1 * 10-3 ~ 2 * 10 วงเล็บ) ระดับสูญญากาศสามารถกำหนดโดยสีจำหน่าย

จนถึงมาตรวัดสูญญากาศชนิดนี้ไม่ค่อยมีใครใช้เนื่องจากมีข้อผิดพลาดขนาดใหญ่ความเสียหายง่ายและอายุการใช้งานสั้น

3. ระบบการระเหย

ระบบการระเหยส่วนใหญ่หมายถึงอุปกรณ์การขึ้นรูปฟิล์ม มีอุปกรณ์การขึ้นรูปฟิล์มจำนวนมากในเครื่องเคลือบผิวรวมถึงความต้านทานความร้อนการระเหยของปืนอิเล็กตรอนแมกนีตรอนสปัตเตอร์สปัตเตอร์ RF การชุบไอออน ฯลฯ ฉันจะแนะนำวิธีการทำความร้อนความต้านทานและการระเหยของปืนอิเล็กตรอน มากกว่า.

ตามโครงสร้างและหลักการทำงานความต้านทานการระเหยเป็นวิธีการระเหยที่ใช้กันอย่างแพร่หลายมากที่สุดและเป็นวิธีที่มีการใช้งานยาวนานที่สุด วิธีการทำงานคือทังสเตนเป็นเรือและจากนั้นติดตั้งตรงกลางของขั้วไฟฟ้าทั้งสองที่อยู่ตรงกลางของเรือทังสเตนด้วยสมุนไพรอีกครั้งอย่างช้า ๆ จนถึงกระแสไฟฟ้า, กระแสไฟฟ้าผ่านทังสเตน, ทังสเตนเรือร้อนไฟฟ้า แรงดันต่ำกระแสสูงทำให้เรือทังสเตนเพื่อสร้างความร้อนจุดหลอมเหลวสูงและการถ่ายเทความร้อนไปยังวัสดุเคลือบผิวเมื่อปริมาณความร้อนของเรือทังสเตนสูงกว่าจุดหลอมเหลวของวัสดุเคลือบการระเหิดวัสดุหรือการระเหยกลายเป็นไอวิธีนี้เพราะ ใช้งานง่ายโครงสร้างง่ายต้นทุนต่ำดังนั้นอุปกรณ์จำนวนมากที่ใช้ แต่การระเหยของฟิล์มบางเพราะความหนาแน่นต่ำรวมทั้งวัสดุจำนวนมากไม่สามารถใช้วิธีนี้ในการระเหยจึงมีข้อ จำกัด บางประการ วัสดุเคลือบเรือระเหยทังสเตนจุดหลอมเหลวของวัสดุจะต้องน้อยกว่าจุดหลอมเหลวของเรือทังสเตนมิฉะนั้นจะไม่มีวิธีดำเนินการ

การระเหยปืนอิเล็กตรอนเป็นวิธีการระเหยที่ใช้กันอย่างแพร่หลายจนถึงปัจจุบัน มันสามารถระเหยวัสดุเคลือบใด ๆ โหมดการทำงานของมันคือ: วัสดุเคลือบในเบ้าหลอมแหล่งระเหยเป็นรูปทรงใยใช้ตู้ควบคุมพิเศษเส้นใยที่มีกระแสที่แข็งแกร่งแรงดันสูงเนื่องจากวัสดุที่เป็นไส้หลอดทังสเตนดังนั้นมันจะร้อนใน ปลายจะเปิดตัวอิเล็กทรอนิกส์และการยอมรับของสนามแม่เหล็กบางอย่างจะถูกรวบรวมเป็นรูปร่างบางอย่างและการวาดภาพบนเบ้าหลอมจึงเกิดลำแสงเนื่องจากอุณหภูมิอิเล็กตรอนสูงมากสามารถละลายวัสดุเคลือบใด ๆ เช่นวัสดุเคลือบ คือหลังจากลำแสงอิเล็กตรอนละลาย (บางส่วนของวัสดุเป็น sublimate โดยตรง), ยาสมุนไพรของโมเลกุล (อะตอมหรือไอออน) ในสูญญากาศในการเคลื่อนที่เชิงเส้นจากนั้นตรงกับคณะกรรมการฐานแล้วควบแน่นหลังจากวิธีการเจริญเติบโตนี้สร้างภาพยนตร์ ! ที่ใช้กันมากที่สุดคือทำให้มุมเบี่ยงเบนของลำอิเล็กตรอนเป็น 270 องศาหรือปืนอิเล็กตรอน e-line ที่มีวิถีของ e หรือลำอิเล็กตรอนที่มีวิถี 180 องศาและปืนอิเล็กตรอนชนิด c ที่มีวิถี ของค

ข้อได้เปรียบที่ใหญ่ที่สุดของการระเหยลำแสงอิเล็กตรอนคือ: จุดลำแสงอิเล็กตรอนสามารถปรับได้ตามความต้องการใยสามารถซ่อนหลีกเลี่ยงมลพิษสามารถระเหยวัสดุเคลือบใด ๆ การบำรุงรักษาง่ายความเร็วในการระเหยสามารถควบคุมได้ตามความต้องการ ความหนาแน่นของฟิล์มสูง มีความแข็งแรงเชิงกลที่ดี

วิธีการสปัตเตอริงคือการทิ้งระเบิดพื้นผิวของวัสดุเป้าหมายด้วยไอออนบวกความเร็วสูง ผ่านการส่งผ่านพลังงานจลน์โมเลกุล (อะตอม) ของวัสดุเป้าหมายมีพลังงานเพียงพอที่จะหลบหนีจากพื้นผิวของวัสดุเป้าหมายแล้วจับตัวเป็นก้อนบนพื้นผิวของผลิตภัณฑ์เพื่อสร้างภาพยนตร์

ฟิล์มที่สะสมโดยวิธีการสปัตเตอร์มีการยึดเกาะที่ดีและมีความบริสุทธิ์สูงและสามารถสปัตเตอร์วัสดุที่แตกต่างหลากหลายในเวลาเดียวกัน อย่างไรก็ตามมีความต้องการสูงสำหรับวัสดุเป้าหมายและไม่สามารถประหยัดทรัพยากรได้เช่นปืนอิเล็กตรอน

ปัจจุบันแมกนีตรอนสปัตเตอริงเป็นวิธีที่ใช้กันมากที่สุด แมกนีตรอนสปัตเตอริงคือการใช้สนามไฟฟ้าที่เพิ่มขึ้นขนานกับพื้นผิวของแคโทดและยับยั้งอิเล็กตรอนใกล้กับพื้นผิวเป้าหมายแคโทดเพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพการไอออไนซ์ เป็นการใช้งานที่ง่ายที่สุดจึงถูกใช้อย่างกว้างขวาง

4. ระบบการควบคุมการขึ้นรูปฟิล์ม

ในปัจจุบันมีหลายวิธีในการตรวจสอบภาพยนตร์เช่นการตรวจสอบด้วยสายตาการตรวจสอบค่าคงที่การตรวจสอบการสั่นของคริสตัลการตรวจสอบเวลาและอื่น ๆ ฉันส่วนใหญ่แนะนำการตรวจสอบภาพการตรวจสอบคงที่ (มาก) และการตรวจสอบความผันผวนของคริสตัลสาม

การตรวจสอบภาพหรือที่เรียกว่าการตรวจสอบโดยตรงคือการใช้การตรวจสอบตาเพราะฟิล์มในกระบวนการของการเจริญเติบโตเนื่องจากปรากฏการณ์การรบกวนจะมีการเปลี่ยนแปลงสีเราจะขึ้นอยู่กับการเปลี่ยนแปลงสีเพื่อควบคุมความหนาของภาพยนตร์เรื่องนี้ วิธีการมีข้อผิดพลาดบางอย่างดังนั้นจึงไม่ถูกต้องมากเราต้องพึ่งพาประสบการณ์

การตรวจสอบค่าคงที่ (ค่ามาก): ส่วนใหญ่ใช้การตรวจสอบประเภทสะท้อนแสง (ผ่านประเภท) วิธีการตรวจสอบค่ามาก: เมื่อความหนาของฟิล์มเพิ่มขึ้นอัตราการสะท้อนแสงและการเจาะทะลุจะเป็นไปตามการเปลี่ยนแปลงเมื่ออัตราการสะท้อนแสงหรือการเจาะทะลุจุดสูงสุดเราสามารถทราบได้ว่าการเคลือบความหนาเชิงแสงของ ND เป็นหนึ่งในสี่ ลงใน) จำนวนเต็มครั้ง อย่างไรก็ตามข้อผิดพลาดของวิธีการค่ามากมีขนาดค่อนข้างใหญ่เพราะเมื่อการสะท้อนแสงหรือการส่งผ่านการเปลี่ยนแปลงช้ามากใกล้กับค่าที่มากนั่นคือความหนาของฟิล์ม ND เพิ่มขึ้นมากการเปลี่ยนแปลง R / T ตำแหน่งที่ไวต่อแสงมากขึ้นคือหนึ่งในแปดของความยาวคลื่น

วิธีการตรวจสอบค่าคงที่: วิธีนี้ใช้จุดหยุดการชุบไม่ให้ตรวจสอบระดับคลื่นของความยาวคลื่นจากนั้นคอมพิวเตอร์จะคำนวณการสะท้อน (หรืออัตราการเจาะ) ของความหนาของฟิล์มทั้งหมดที่ความยาวคลื่นซึ่งเป็นการเคลือบแบบหยุด จุด.

การตรวจสอบความผันผวนของคริสตัล:

หลักการทำงานของการแกว่งของคริสตัลคือความถี่การสั่นสะเทือนของคริสตัลควอตซ์แปรผกผันกับมวลของมัน อย่างไรก็ตามหนึ่งในข้อเสียของการตรวจสอบควอตซ์คือเมื่อความหนาของฟิล์มเพิ่มขึ้นถึงความหนาที่แน่นอนความถี่การสั่นสะเทือนนั้นไม่ได้เกิดจากลักษณะของผลึกเองทั้งหมดดังนั้นจึงมีความสัมพันธ์เชิงเส้นระหว่างความหนาและความถี่

วิธีการตรวจสอบหลายวิธีมีข้อดีและข้อเสียของตัวเอง แต่โดยทั่วไปการเคลือบหลายชั้นการตรวจสอบด้วยแสงจะเป็นหลักการสั่นของผลึกคริสตัลเป็นวิธีเสริม

นอกจากนี้สำหรับบางกระบวนการในการเคลือบจะต้องมีเครื่องวัดอัตราการไหลของแก๊สหรือเครื่องวัดความดันจำเป็นต้องใช้วาล์วที่มีความซับซ้อนและระบบตรวจจับโฟโตอิเล็กทริกเพื่อควบคุม

ในกระบวนการเคลือบยังต้องใช้ระบบควบคุมแบบหมุนคือการใส่เพลาหลักของร่มในแบริ่งแล้วใช้มอเตอร์เพื่อขับเคลื่อนแบริ่งเพื่อให้ร่มหมุน จากนั้น PLC จะควบคุมความเร็วแบบหมุน

การหมุนของเบ้าหลอมถูกขับเคลื่อนด้วยมอเตอร์ไฟฟ้าโดยใช้วิธีการนับการเหนี่ยวนำแบบโฟโตอิเล็กทริกและแผ่นป้องกันถูกหมุนด้วยสวิตช์ลม

เพื่อให้อัตราการสกัดเร็วขึ้นและบรรลุระดับสุญญากาศสุญญากาศก็ต้องทำการแช่เย็นนั่นคืออากาศภายในห้องสูญญากาศถูกแช่แข็งถึง -130 องศาเซลเซียสและอากาศน้ำภายในห้องสุญญากาศ ถูกแช่แข็งและสูบออก

การควบคุมอัตโนมัติ PLC ส่วนการควบคุมไฟฟ้าของบทความเป็นครั้งแรกในโปรแกรมออกแบบอินพุต PLC ล่วงหน้าตัวประมวลผลหลักวงจรเชื่อมต่อกับระบบว่างบนแผงการทำงานเมื่อกดสวิตช์บนแผงการทำงานการส่งข้อมูลไปยังส่วนกลาง หน่วยประมวลผล (CPU) แล้วโดยการวิเคราะห์ระบบควบคุมกลางและดำเนินการและดำเนินการตามคำสั่งสาขาที่ออก

เครื่องเคลือบผิวเป็นอุปกรณ์ที่มีระเบียบวินัยหลายด้านรวมเทคโนโลยีด้านเทคโนโลยีเครื่องกลและอิเล็กทรอนิกส์ที่ทันสมัยที่สุดในอุตสาหกรรมเทคโนโลยีการควบคุมระบบไฟฟ้าอัตโนมัติเทคโนโลยีไอทีเทคโนโลยีการทำความเย็นระบบบูรณาการ microcircuit ระบบควบคุมแรงดันสูงเทคโนโลยีเครื่องจักรกลเทคโนโลยีการประมวลผล เทคโนโลยีแสงเทคโนโลยีการควบคุมนิวเมติกเทคโนโลยีเซ็นเซอร์ตาแมวเทคโนโลยีการสื่อสารเทคโนโลยีสูญญากาศฟิล์มแสงและเทคโนโลยีการเคลือบและอื่น ๆ

อาจกล่าวได้ว่าเครื่องเคลือบเป็นตัวแทนใหม่ของอุตสาหกรรม

วันนี้มีการใช้เครื่องเคลือบกันอย่างแพร่หลายฟิล์มชุบโดยเฉพาะอย่างยิ่งการผลิตฟิล์มบางชนิดต่าง ๆ ถูกนำไปใช้กับระบบโฟโตอิเล็กทริกและเครื่องมือทางแสงเช่นกล้องดิจิตอลกล้องดิจิตอลกล้องสองตาเครื่องฉายพลังงานควบคุมการสื่อสารด้วยแสง เทคโนโลยีการแสดงผล, interferometer, ขีปนาวุธดาวเทียม, เซมิคอนดักเตอร์เลเซอร์, mems, อุตสาหกรรมข้อมูล, การผลิตเลเซอร์, ตัวกรองทุกชนิด, อุตสาหกรรมแสงสว่าง, เซ็นเซอร์, กระจกสถาปัตยกรรม, อุตสาหกรรมยานยนต์, ตกแต่ง, เหรียญ, แว่นตา ฯลฯ เครื่องเคลือบผิวคือ เชื่อมโยงอย่างใกล้ชิดกับชีวิตมนุษย์

ค่าใช้จ่ายของเครื่องเคลือบนำเข้ามักจะสูงถึง 3 ล้านถึง 10 ล้านหยวนและค่าใช้จ่ายของอุปกรณ์ภายในประเทศจะอยู่ที่ประมาณ 1 ล้านหยวน

IKS PVD เราสามารถนำเสนอเครื่องมือเครื่องเคลือบ, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบแสง, ติดต่อกับเราตอนนี้, iks.pvd@foxmail.com