ข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อมของอุปกรณ์เคลือบ PVD

เนื่องจาก เครื่องเคลือบสูญญากาศ ทำงานภายใต้สภาวะสูญญากาศอุปกรณ์จำเป็นต้องตอบสนอง ความต้องการด้านสิ่งแวดล้อม ของสูญญากาศ

มาตรฐานอุตสาหกรรมที่ระบุของเครื่องเคลือบสูญญากาศ (รวมถึงข้อกำหนดทางเทคนิคทั่วไปอุปกรณ์สูญญากาศเคลือบ สูญญากาศอุปกรณ์ชุบไอออน สูญญากาศอุปกรณ์เคลือบ sputtering และเครื่องเคลือบสูญญากาศการระเหย) ทั้งหมดให้ความต้องการที่ชัดเจนสำหรับสภาพแวดล้อม เฉพาะการตอบสนองความต้องการด้านสิ่งแวดล้อมของอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศเท่านั้นที่สามารถผลิตผลิตภัณฑ์เคลือบ PVD ได้ดี

ข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อมของสุญญากาศโดยทั่วไปรวมถึงข้อกำหนดของอุปกรณ์สูญญากาศเกี่ยวกับสภาพแวดล้อมของห้องปฏิบัติการ (หรือห้องปฏิบัติการ) ที่มีอุปกรณ์สูญญากาศอยู่เช่นอุณหภูมิและอนุภาคในอากาศ เช่นเดียวกับความต้องการของชิ้นส่วนหรือพื้นผิวสัมผัสในสูญญากาศหรือในสถานะของสูญญากาศ ทั้งสองด้านมีการเชื่อมโยงอย่างใกล้ชิด คุณภาพของสภาพแวดล้อมโดยรอบส่งผลโดยตรงต่อการใช้อุปกรณ์สุญญากาศตามปกติและห้องสุญญากาศหรือส่วนประกอบในห้องสะอาดหรือไม่มีผลกระทบโดยตรงต่อสมรรถนะของอุปกรณ์ หากอากาศมีไอน้ำและฝุ่นอยู่เป็นจำนวนมากในกรณีที่ห้องสูญญากาศไม่สะอาดไม่เหมาะที่จะสูบอากาศออกที่สามารถกัดกร่อนโลหะทำปฏิกิริยากับน้ำมันสูญญากาศหรือมีฝุ่นละอองได้ ไอน้ำเป็นก๊าซควบแน่นเมื่อก๊าซหอยโข่งเป็นปริมาณมากการปนเปื้อนของน้ำมันหล่อลื่นจะร้ายแรงกว่า เป็นผลให้สูญญากาศที่ดีที่สุดของ ปั๊ม จะลดลงและจากนั้นจะช่วยลดประสิทธิภาพการสูบน้ำของปั๊ม

ฝุ่นละอองในสภาพแวดล้อมทางอุตสาหกรรมมีลักษณะเป็นผงฝุ่นละอองและละอองลอย ผงหมายถึงกลุ่มของผงหรือของแข็งอนุภาค ละอองลอยเป็นระบบวัสดุที่ลอยอยู่ในอากาศในรูปของของแข็งหรือโมเลกุลของเหลว ไม่ว่าจะเป็นของแข็งหรือของเหลวอนุภาคใด ๆ สามารถเรียกรวมกันว่าอนุภาคฝุ่น มาตรฐานความสะอาดของอากาศจะพิจารณาจากขนาดของอนุภาคฝุ่นและกำหนดระดับของห้องที่สะอาด

สภาวะปกติของอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศ ได้แก่ :

1. อุณหภูมิแวดล้อม: 10 ~ 30 ℃

2. ความชื้นสัมพัทธ์ ≤ 70%

3. อุณหภูมิในการเข้าน้ำเย็นไม่สูงกว่า 25 ℃

4. น้ำหล่อเย็นคือน้ำประปาของเมืองหรือน้ำที่เทียบเท่ากัน

แรงดันไฟฟ้าเป็น 380V, สามเฟสเป็น 50Hz หรือ 220V, เฟสเดียว 50Hz (กำหนดโดยความต้องการของเครื่องใช้ไฟฟ้าที่ทำงาน) ช่วงความผันผวนของแรงดันไฟฟ้าคือ 342V ~ 399V หรือ 198V ~ 231V ช่วงความผันผวนของความถี่ 49 ~ 51Hz .

6. ต้องมีการอัดอากาศไนโตรเจนเหลวความดันน้ำร้อนและเย็นอุณหภูมิและการใช้อุปกรณ์ควรระบุไว้ในคู่มือผลิตภัณฑ์

สภาพแวดล้อมรอบข้างควรสะอาดและเป็นระเบียบเรียบร้อยอากาศจะต้องไม่มีฝุ่นละอองหรือก๊าซที่อาจทำให้เกิดการกัดกร่อนบนพื้นผิวของเครื่องใช้ไฟฟ้าและชิ้นส่วนโลหะอื่น ๆ หรือทำให้เกิดการนำไฟฟ้าของชิ้นส่วนโลหะ

นอกจากนี้หองปฏิบัติการหรือหองปฏิบัติการที่มีเครื่องดูดสูญญากาศควรทําความสะอาดดวยหินขัดหรือพื้นสีน้ําตาล เพื่อปองกันมิใหปดก gas าซออกจากระบบปองกันมลพิษในหองปฏิบัติการจะตองติดตั้งท่อไอเสีย (โลหะและยาง) บนไอเสียของปั๊มเพื่อระบายแก๊สออกจากห้อง