ระบบจ่ายไฟ DC สปัตเตอร์เรืองแสง
Apr 02, 2023| ระบบจ่ายไฟ DC สปัตเตอร์เรืองแสง
ลักษณะเด่น: ให้แหล่งอิเล็กตรอนเพิ่มเติมแทนที่จะรับอิเล็กตรอนจากแคโทดเป้าหมาย บรรลุการสปัตเตอร์แรงดันต่ำ (แรงดันน้อยกว่า 0.1 Pa)
ข้อเสีย: เป็นการยากที่จะสปัตเตอร์ให้เท่ากันในวัสดุแบนขนาดใหญ่ และควบคุมกระบวนการระบายออกได้ยาก และความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการก็ไม่ดี
บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบ DLC, เครื่องเคลือบออปติคอล, สายเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการแบบเบ็ดเสร็จ ติดต่อเราตอนนี้ อีเมล: iks.pvd@foxmail.com
ถัดไป: ดีซี (DC) แมกนีตรอนสปัตเตอร์
→
ส่งคำถาม