วิธีการใช้และบำรุงรักษาเครื่องเคลือบสูญญากาศการควบคุมด้วยแม่เหล็กหลายอาร์ค

วิธีการใช้และบำรุงรักษาเครื่องเคลือบสูญญากาศควบคุมแม่เหล็กหลายอาร์ค

IKS PVD เกี่ยวกับรายละเอียดการบำรุงรักษาระบบเคลือบสูญญากาศ PVD ติดต่อกับเราตอนนี้ iks.pvd @ foxmail.com

หลักการทำงานของเครื่องเคลือบสูญญากาศคือการปล่อยอาร์คและการปล่อยแสงในสภาวะสูญญากาศ พื้นผิวของชิ้นงานโลหะและไม่ใช่โลหะถูกชุบด้วยทองคำไทเทเนียมไนไตรด์, ไทเทเนียมคาร์ไบด์สีดำ, ไทเทเนียมไทเทเนียมที่มีสีสันและอื่น ๆ นอกจากนี้ยังสามารถชุบฟิล์มป้องกันการกัดกร่อน (เช่น AL, Cr สแตนเลสและ TiN เป็นต้น) - ฟิล์มทนชั้นฟิล์มและฐานของการรวมกันของ บริษัท เหมาะสำหรับนาฬิกาบนโต๊ะอาหารฮาร์ดแวร์เซรามิกและบดเครื่องมือพิเศษยากแม่พิมพ์ ฯลฯ มีโอกาสที่ดีสำหรับการพัฒนา

ประเด็นสำคัญสำหรับการใช้งานและการบำรุงรักษาเครื่องเคลือบควบคุมแม่เหล็กแบบหลายอาร์ค:

ก่อนใช้งานสวิตช์ไฟและปุ่มควบคุมทั้งหมดควรอยู่ในตำแหน่งที่ไม่ได้เชื่อมต่อเพื่อเชื่อมต่อน้ำอากาศและพลังงาน

1) เปิดสวิตช์ควบคุมสูญญากาศ

2) เปิดปั๊มบำรุงรักษาเพื่อลดสูญญากาศของปั๊มกระจายและวัดระดับสูญญากาศก่อนเวที

3) เปิดปั๊มแพร่เพื่อให้ความร้อนหลังจากความดันของขั้นตอนแรกถึง 5.0 * 10 pa

4) เปิดวาล์วชาร์จขยายห้องเคลือบเปิดประตูห้องเคลือบติดตั้งชิ้นงานที่สะอาดและปิดประตูเตา

5) หลังจากปั๊มแพร่กระจายทำงานตามปกติเป็นเวลาหนึ่งชั่วโมงเปิดปั๊มเชิงกลเปิดวาล์วก่อนสูบและสูญญากาศในห้องสุญญากาศด้วยตนเองเพื่อ 1.0 * 103 pa แล้วปั๊มไคโร

6) เมื่อแรงดันสูงถึง 3.0 * 10 pa ให้ปิดวาล์วก่อนสูบและเปิดวาล์วด้านหน้า เปิดวาล์วสูงสูญญากาศสูงในห้องเคลือบ

7) เมื่อความดันสูญญากาศในห้องถึง 8 * 10-3pa เริ่มทำงานและหมุนและเริ่มให้ความร้อนกับค่าที่ตั้งไว้

8) เริ่มกระบวนการเคลือบ

9) สิ้นสุดขั้นตอนการเคลือบผิว

10) ลดอุณหภูมิเตาให้ต่ำกว่า 100oC เปิดประตูเตาของวาล์วชาร์จเพื่อนำชิ้นงานออกมาและทำความสะอาดเตาก่อนใช้เตาแต่ละอัน

11) หลังจากรอบการทำงานหนึ่งครั้งเครื่องดูดฝุ่นควรใช้ทำความสะอาดฝุ่นในห้องเคลือบเพื่อหลีกเลี่ยงการลัดวงจรหรือมลพิษของระบบสูญญากาศ

12) หลังจากช่วงระยะเวลาหนึ่งเพื่อถอดแผ่นกั้นสำหรับทำความสะอาด