ความรู้ของอุปกรณ์การเคลือบสูญญากาศ, Save It for Fresh Man
Dec 06, 2018| ความรู้เกี่ยวกับอุปกรณ์การเคลือบสูญญากาศ
IKS PVD, PVD ผลิตเครื่องเคลือบสูญญากาศติดต่อกับเราตอนนี้ iks.pvd @ foxmail.com
1. อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศคืออะไร?
อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศส่วนใหญ่หมายถึงชนิดของสารเคลือบผิวที่ต้องใช้ในการศึกษาระดับสูญญากาศสูงซึ่งรวมถึงการระเหยไอออนสูญญากาศการสปัตเตอร์ magnetron, epitaxy ลำแสง MBE, การพ่นด้วยเลเซอร์ PLD และอื่น ๆ แนวคิดหลักแบ่งออกเป็นการระเหยและการสปัตเตอร์
สิ่งที่ต้องเคลือบก็คือพื้นผิวและวัสดุเคลือบเรียกว่าวัสดุเป้าหมาย พื้นผิวอยู่ในห้องสุญญากาศกับวัสดุเป้าหมาย
การระเหยของสารระเหยโดยทั่วไปจะทำให้วัตถุมีความร้อนเพื่อให้ส่วนประกอบของพื้นผิวในรูปของกลุ่มอะตอมหรือไอออนถูกระเหยและเกิดการสะสมบนพื้นผิวของพื้นผิวผ่านกระบวนการขึ้นรูปฟิล์ม (โครงสร้างของเกาะกระจาย - โครงสร้างของช่องคลอด - การเจริญเติบโตของชั้น) เพื่อสร้างภาพยนตร์ สำหรับการเคลือบผิวด้วยการสปัตเตอร์สามารถเข้าใจได้ง่ายว่าเป็นการทิ้งวัตถุเป้าหมายด้วยอิเล็กตรอนหรือเลเซอร์ที่มีพลังงานสูงและทำให้ชิ้นส่วนพื้นผิวสปัตเตอร์ออกมาในรูปแบบของกลุ่มอะตอมหรือไอออนและในที่สุดก็ฝากบนพื้นผิววัสดุ อุปกรณ์ระงับการระเหยเหนือ + ผลิตภัณฑ์เคลือบแผนภาพการระเหยอุปกรณ์เคลือบ + แผนผลิตภัณฑ์เคลือบและสุดท้ายการขึ้นรูปฟิล์ม
2. อุปกรณ์การเคลือบสูญญากาศใช้ขั้นตอน
(1) การทำงานของตู้ควบคุมไฟฟ้า
1) เปิดปั๊มน้ำและแหล่งจ่ายก๊าซ
2) เปิดแหล่งจ่ายไฟทั้งหมด
3) เปิดปั๊มรักษาสูญญากาศเครื่องวัดแรงดันสูญญากาศตำแหน่งเครื่องวัดสูญญากาศ V1 และรอค่าน้อยกว่า 10 ก่อนเข้าสู่การปฏิบัติงานต่อไป ใช้เวลาประมาณห้านาที
4) เปิดปั๊มเครื่องกล, เตรียมการล่วงหน้า, เปิดแหล่งจ่ายไฟของปั๊มโมเลกุลของกังหันและเริ่มต้น เปลี่ยนเครื่องวัดสูญญากาศไปที่ตำแหน่ง V2 และปั๊มจนน้อยกว่า 2 ประมาณ 20 นาที
5) หลังจากการอ่านปั๊มกังหันของกังหันถึง 250 ปิดปั๊มเปิดเครื่องด้านหน้าและวาล์วสูงและยังคงปั๊มสูญญากาศ เฉพาะเมื่อสูญญากาศถึงระดับหนึ่งหัววัดสูญญากาศสูงจะเปิดขึ้นเพื่อสังเกตองศาการสูญญากาศ สูญญากาศจะมีขนาดถึง 2 x 10-3 ก่อนที่จะสามารถเปิดสวิตช์ปืนได้
(2) การใช้ตู้พลังปืนอิเล็กตรอน DEF-6B
1) เปิดสวิตช์หลัก
2) เปิดการควบคุมปืน Ⅰ และการควบคุมปืน Ⅱ ไฟในเวลาเดียวกันตามการควบคุมอาวุธปืนอิเล็กตรอน Ⅰ แหล่งจ่ายไฟ, สวิทช์ล่าช้า, ล่าช้าไฟและเพื่อป้องกันแสงสามนาทีหลังจากที่ล่าช้าเวลาและปกป้อง ไฟดับลงหากประตูหลังไม่ปิดหรือทำงานผิดปกติกับรีเลย์ปัจจุบันให้ป้องกันโดยปกติ
3) เปิดแรงดันไฟฟ้าสูงแรงดันไฟฟ้าจะสูงกว่า 10KV ปรับการไหลของลำแสงไปประมาณ 200mA, ม่านกริดเป็น 20V / 100mA กระแสไส้ 1.2a แกว่งปัจจุบันแกว่งระหว่าง 1 และ 1.7
(3) คำสั่งปิดบัญชี
1) ปิดหัววัดสูญญากาศสูงปิดเครื่องสูบน้ำระดับโมเลกุล
2) เมื่อปั๊มโมเลกุลแสดงเป็น 50 ให้ปิดวาล์วสูงขั้นตอนหน้าและปั๊มกลตามลำดับซึ่งใช้เวลาประมาณ 40 นาที
3) เมื่อต่ำกว่า 50 ให้ปิดปั๊มการบำรุงรักษา
3. ขอบเขตการใช้งานของอุปกรณ์การเคลือบสูญญากาศ
(1) ฮาร์ดแวร์อาคาร: ฮาร์ดแวร์ในห้องน้ำ (เช่นก๊อกน้ำ), ล็อคประตู, ที่จับประตู, ห้องน้ำ, ล็อคประตู, ใบฮาร์ดแวร์, เฟอร์นิเจอร์เป็นต้น
(2) อุตสาหกรรมนาฬิกา: สามารถใช้สำหรับนาฬิกา, สายนาฬิกา, ผลิตภัณฑ์คริสตัล
(3) ฮาร์ดแวร์อื่น ๆ : เครื่องหนัง, เครื่องใช้บนโต๊ะอาหารสแตนเลส, กรอบแว่นตา, มีด, แม่พิมพ์ ฯลฯ
(4) ชิ้นงานขนาดใหญ่: ฐานล้อรถยนต์, แผ่นสแตนเลส, ป้าย, รูปปั้น ฯลฯ
(5) ท่อและแผ่นเหล็กสแตนเลส (ชนิดต่างๆของพื้นผิว)
(6) เฟอร์นิเจอร์โคมไฟเครื่องใช้โรงแรม
(7) ล็อค, จัดการ, ฮาร์ดแวร์ห้องน้ำหัวกอล์ฟ, สแตนเลสบนโต๊ะอาหารเลือดและผลิตภัณฑ์ฮาร์ดแวร์อื่น ๆ ชุบด้วยฟิล์มตกแต่ง super ยาก
(8) แว่นตาเครื่องประดับและอุปกรณ์อื่น ๆ จะถูกชุบด้วยฟิล์มนาโนและฟิล์มนาโนและนาโนฟิล์มเคลือบพิเศษที่สวมใส่ได้
4. วิธีการดูแลและบำรุงรักษา
(1) อุปกรณ์เคลือบด้วยสูญญากาศควรทำความสะอาดสตูดิโอทุกๆ 200 หรือมากกว่านั้นขั้นตอนการเคลือบเสร็จสิ้น
วิธีการดังต่อไปนี้: ขัดถูผนังสุญญากาศด้วยสารละลายอิ่มตัวของ NaOH ซ้ำ ๆ (โปรดสังเกตว่าผิวมนุษย์ไม่สามารถสัมผัสกับสารละลายด่างโดยตรงเพื่อไม่ให้เกิดการเผาไหม้) มีวัตถุประสงค์เพื่อทำให้ฟิล์มอลูมิเนียมเคลือบ (AL) ทำปฏิกิริยากับ NaOH หลังจากการเกิดปฏิกิริยาชั้นฟิล์มลดลงและปล่อยไฮโดรเจน ทำความสะอาดช่องสูญญากาศด้วยน้ำสะอาดและทำความสะอาดสิ่งสกปรกภายในวาล์วสกัดหยาบด้วยผ้าที่จุ่มลงในน้ำมันเบนซิน
(ปั๊มวาล์วสไลด์, ปั๊มใบพัดหมุน) ทำงานอย่างต่อเนื่องเป็นเวลาหนึ่งเดือน (ฤดูฝนในช่วงครึ่งปี), ต้องเปลี่ยนน้ำมันใหม่
วิธีการคือ: สลักเกลียวเปิดน้ำมันใส่น้ำมันเก่าและจากนั้นเริ่มปั๊มสำหรับไม่กี่วินาทีเพื่อให้น้ำมันเก่าในปั๊มออกอย่างสมบูรณ์ ขันน็อตน้ำมันย้อนกลับและเพิ่มน้ำมันใหม่เป็นปริมาณ (สังเกตได้จากกระจกน้ำมัน) ใช้น้ำมันอย่างต่อเนื่องนานกว่าครึ่งปีควรเปิดฝาน้ำมันเครื่องเมื่อเปลี่ยนน้ำมันด้วยผ้าเช็ดทำความสะอาดสิ่งสกปรกภายในกล่อง
(3) ปั๊มการแพร่กระจายการใช้มากกว่าหกเดือนในแถวความเร็วในการสูบน้ำอย่างมีนัยสำคัญช้าลงหรือการดำเนินการที่ไม่เหมาะสมกรอกอากาศและท่อเชื่อมโยงลงแผ่นไฟฟ้าจะถูกบีบออกจากหัวฉีดหลักใช้ช่องปั๊มน้ำมันเบนซินและปั๊มความกล้าหาญ ทำความสะอาดด้วยน้ำผงซักฟอกอีกครั้งจากนั้นทำความสะอาดด้วยน้ำสะอาดล้างให้สะอาดความชื้นระเหยแห้งหลังจากติดตั้งปั๊มเติมน้ำมันใหม่ปั๊มกระจายและใส่กลับเข้าไปในร่างกายท่อเชื่อมต่อแผ่นดิสก์เตาไฟฟ้าที่ติดตั้งสามารถเริ่มต้นใหม่ ให้ความสำคัญกับการตรวจจับการรั่วไหลก่อนรีสตาร์ทเครื่อง วิธีการคือเริ่มต้นปั๊มบำรุงรักษาปิดประตูไม่กี่นาทีต่อมาสังเกตส่วนเครื่องสูบน้ำการแพร่กระจายของสูญญากาศได้ถึง 6X10 Pa หรือเพื่อตรวจสอบการรั่วไหล ตรวจสอบว่าข้อต่อมีการติดตั้งแหวนปิดผนึกหรือปิดผนึกแหวน ลบการรั่วไหลของก๊าซที่อาจเกิดขึ้นก่อนที่จะให้ความร้อนมิฉะนั้นน้ำมันปั๊มการแพร่กระจายจะเผาแหวนไม่สามารถเข้าสู่สถานะการทำงาน