กระบวนการสะสมแมกนีตรอนสปัตเตอร์ของ (Cr, Ti, Al) N การไล่ระดับสี

กระบวนการสะสมแมกนีตรอนสปัตเตอร์ของการเคลือบไล่ระดับ (Cr, Ti, Al) N

ในปัจจุบัน กระบวนการสปัตเตอร์แมกนีตรอนทั่วไปสำหรับการเคลือบไล่ระดับ (Cr,Ti,Al) N สามารถแบ่งออกเป็นขั้นตอนต่อไปนี้:

การทำความสะอาดด้วยการสปัตเตอร์ด้วยไอออน: การระดมยิงด้วยไอออน Ar Ion สามารถขจัดสิ่งเจือปน เช่น ออกไซด์บนพื้นผิวของวัสดุพิมพ์ และยังกระตุ้นการทำงานของพื้นผิวชิ้นงานอีกด้วย

การสะสมของชั้นโลหะ Cr: เริ่มเป้าหมาย Cr และฝาก Cr โลหะบริสุทธิ์ชั้นล่างสุด มีแรงยึดเกาะที่ดีระหว่างชั้นโลหะ Cr และสารตั้งต้น และการสะสมของชั้น Cr สามารถหลีกเลี่ยงการสัมผัสโดยตรงระหว่างองค์ประกอบ N และเมทริกซ์ Fe ขจัดข้อบกพร่องของชั้นที่ทำให้สว่างขึ้นในตัวเองทั่วไปในการเคลือบ และปรับปรุงการเปราะ ของการเคลือบ

ชั้นการเปลี่ยนผ่านแบบค่อยเป็นค่อยไปของ Cr-CrN: ด้วยการฉีด N2 และปรับอัตราการไหลของ N2 ปริมาณสัมพัทธ์ขององค์ประกอบ Cr ในการเคลือบจะค่อยๆ ลดลง และเนื้อหาขององค์ประกอบ N จะค่อยๆ เพิ่มขึ้น ด้วยเหตุนี้ จึงทำให้เกิดการเปลี่ยนแปลงของส่วนประกอบ N ระหว่างชั้นฐาน Cr และ CrN หลีกเลี่ยงผลกระทบด้านลบของการกลายพันธุ์ของส่วนประกอบต่อความแข็งแรงในการยึดเกาะของสารเคลือบได้อย่างมีประสิทธิภาพ และทำให้การเปลี่ยนแปลงระหว่างชั้นในและชั้นนอกของสารเคลือบดีขึ้น ในเวลาเดียวกัน ชั้น CrN ยังสามารถปรับปรุงความต้านทานแรงกระแทกของการเคลือบ

การตกตะกอน CrN- (Cr,Ti,Al) ชั้นกลางไล่ระดับ N: เป้าหมาย Ti และเป้าหมาย Al จะค่อยๆ เริ่มต้น และอัตราการไหลของ N2 จะถูกปรับเพื่อเพิ่มเนื้อหาขององค์ประกอบ N ในการเคลือบ และเนื้อหาของ Al และ Ti องค์ประกอบก็ค่อยๆ เพิ่มขึ้นเช่นกัน ดังนั้นองค์ประกอบของเลเยอร์กลางจะเปลี่ยนไปตามการไล่ระดับสี เนื่องจากไม่มีส่วนต่อประสานที่ฉับพลันอย่างเห็นได้ชัด ปัญหาความเข้มข้นของความเครียดภายในการเคลือบจึงสามารถปรับปรุงได้ สิ่งนี้มีผลดีต่อการลดความเครียดภายในของการเคลือบและปรับปรุงแรงยึดเกาะและความแข็งแรงเชิงกลของการเคลือบ

การสะสมของพันธุ์ต่างๆ (Cr,Ti,Al) N ชั้นบนสุด: ชั้นบนสุดของ CrAlTiN ทำให้พารามิเตอร์กระบวนการไม่เปลี่ยนแปลง การสะสมจะสม่ำเสมอ หนาแน่น และองค์ประกอบของแต่ละองค์ประกอบมีความเสถียร ช่วยขจัดข้อบกพร่องที่เกิดจากการแยกองค์ประกอบ และการรวมเข้าด้วยกัน ข้อกำหนดการใช้เครื่องมือตัดและชิ้นส่วนเครื่องจักรกลอื่น ๆ

บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบ DLC, เครื่องเคลือบแสง, สายเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการเทิร์นคีย์สามารถใช้ได้ ติดต่อเราตอนนี้ อีเมล: iks.pvd@foxmail.com