คุณสมบัติหลักของคุณสมบัติทางกลเคลือบ DLC
Aug 11, 2021| คุณสมบัติหลักของการเคลือบ DLC - คุณสมบัติทางกล
A. ความแข็งและโมดูลัสยืดหยุ่น ความแข็งและโมดูลัสยืดหยุ่นของฟิล์ม DLC ที่เตรียมโดยวิธีการสะสมที่แตกต่างกันจะแตกต่างกันอย่างมาก ความแข็งของฟิล์ม DLC สามารถเข้าถึงได้หรือเกินกว่าเพชรโดยวิธีอาร์กขั้วแคโทดกรองด้วยแม่เหล็ก และความแข็งสูงสุดของฟิล์ม DLC ที่เตรียมโดยวิธีอาร์คแคโทดสามารถเข้าถึงได้มากกว่า 50GPa ความแข็งของฟิล์ม DLC ที่เตรียมโดยแหล่งไอออนรวมกับแมกนีตรอนสปัตเตอร์ที่ไม่สมดุลถึง 21GPa องค์ประกอบในชั้นฟิล์มมีอิทธิพลต่อความแข็งของชั้นฟิล์ม และการรวมตัวกันของ Si และ N สามารถปรับปรุงความแข็งของฟิล์ม DLC ได้ ฟิล์ม DLC มีโมดูลัสยืดหยุ่นสูง ซึ่งต่ำกว่าเพชร (1100GPa) แต่สูงกว่าโลหะทั่วไปและเซรามิกอย่างมาก
B. ความเค้นภายในและความแข็งแรงของพันธะ ความเค้นภายในและความแข็งแรงในการยึดเกาะของฟิล์มเป็นปัจจัยสำคัญสองประการที่กำหนดความเสถียรและอายุการใช้งานของฟิล์ม และส่งผลต่อประสิทธิภาพของฟิล์ม ฟิล์ม DLC ที่มีความเค้นภายในสูงและแรงยึดเหนี่ยวต่ำมีแนวโน้มที่จะแตก พับ หรือแม้แต่หลุดออกมาในการใช้งาน ดังนั้นฟิล์ม DLC ที่เตรียมไว้ควรมีแรงกดปานกลางและกำลังการยึดเกาะสูง การศึกษาส่วนใหญ่แสดงให้เห็นว่าความแข็งแรงการยึดติดของฟิล์ม/ฐานของฟิล์ม DLC ที่ฝากโดยตรงบนเมทริกซ์นั้นค่อนข้างต่ำ Ti/TiN/TiCN/TiC ของ Ti/TiN/TiCN/TiC ถูกนำมาใช้เพื่อปรับปรุงความแข็งแรงในการยึดติดของฟิล์ม DLC และเมทริกซ์ แรงยึดเหนี่ยวของฟิล์ม DLC ที่สะสมบนเหล็กแม่พิมพ์ถึง 44N-74N ความหนารวมของเมมเบรนสามารถเข้าถึงได้ถึง 5 ไมครอน
บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบแสง, สายการเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการเทิร์นคีย์พร้อมใช้งาน.ติดต่อเราตอนนี้ E-mail:iks.pvd@foxmail.com