เรื่องที่ต้องให้ความสนใจเมื่อเลือกเป้าหมายเคลือบ PVD

นอกจากการประยุกต์ใช้เคลือบ ปัญหาต่อไปนี้ควรพิจารณาเมื่อเลือกด้านขวาเป้าหมาย:

◆ควรมีความแข็งแรงเชิงกลที่ดีและความคงตัวหลังจากการก่อตัวของฟิล์ม

◆ควรมีพันธะที่ดีบังคับให้กับพื้นผิวหลังจากที่ฟิล์มเป้าหมายจะเกิดขึ้น มิฉะนั้น วัสดุฟิล์มกับการยึดเกาะกับพื้นผิวที่ดีควรจะใช้ ครั้งแรก ชั้นของฟิล์มด้านล่างถูก sputtered แล้ว ฝากชั้นฟิล์มที่ต้องการ

◆ภาพยนตร์วัสดุที่ใช้สำหรับปฏิกิริยาสปัตเตอร์ฟิล์มต้องมีปฏิกิริยาตอบสนองกับก๊าซปฏิกิริยาการฟอร์มสารประกอบภาพยนตร์ได้อย่างง่ายดาย

◆ภายใต้สมมติฐานความพึงพอใจประสิทธิภาพเคลือบขนาดเล็กความแตกต่างระหว่างค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวของเป้าหมาย และพื้นผิว ดีกว่า ความต้องการ เพื่อลดอิทธิพลของความเครียดความร้อน

◆เป้าหมายที่เลือกต้องตรงกับความต้องการทางเทคนิคของความบริสุทธิ์ มัวหมองเนื้อหา ความ สม่ำเสมอส่วนประกอบ เครื่องจักรความแม่นยำและ