ปัจจัยที่ส่งผลต่อคุณภาพของกระบวนการ PECVD ส่วนใหญ่ประกอบด้วยประเด็นต่อไปนี้

ควรพิจารณาปัจจัยสองประการในการเลือกระยะห่างของแผ่นในช่อง PECVD:

(1) แรงดันไฟส่องสว่าง: การเลือกระยะห่างควรทำให้แรงดันไฟส่องสว่างต่ำที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้เพื่อลดศักยภาพของพลาสมาและลดความเสียหายต่อพื้นผิว

(2) ระยะห่างของแผ่นและความกดอากาศในโพรง: เมื่อระยะห่างของแผ่นมีขนาดใหญ่ ความเสียหายต่อพื้นผิวมีน้อย แต่ระยะห่างไม่ควรใหญ่เกินไป มิฉะนั้นจะเพิ่มเอฟเฟกต์ขอบของสนามไฟฟ้าและส่งผลต่อความสม่ำเสมอของ ทับถม. ขนาดของห้องทำปฏิกิริยาสามารถเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตได้ แต่ก็มีผลกระทบต่อความสม่ำเสมอของความหนาด้วย

บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบ DLC, เครื่องเคลือบออปติคอล, สายเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการแบบเบ็ดเสร็จ ติดต่อเราตอนนี้ อีเมล: iks.pvd@foxmail.com