ปัญหาทั่วไปของอุปกรณ์ PECVD และมาตรการการรักษา - ความล้มเหลวในการเรืองแสง

สาเหตุและมาตรการรักษาความล้มเหลวในการเรืองแสง:

(1) หากแหล่งจ่ายไฟ RF ขัดข้อง ให้ตรวจสอบว่าเอาต์พุตพลังงานของแหล่งสัญญาณ RF เป็นปกติหรือไม่

(2) ปริมาณก๊าซปฏิกิริยามีขนาดเล็ก ตรวจสอบว่ามาตรวัดการไหลของก๊าซเป็นปกติหรือไม่ ถ้าปกติ ให้เพิ่มปริมาณก๊าซสำหรับการทดสอบ

(3) ความสะอาดของแผ่นโพรงไม่เพียงพอ ให้ใช้มัลติมิเตอร์วัดความต้านทานดินของแผ่นด้านบนและด้านล่างของช่อง ค่าปกติควรสูงกว่า 10 เมกะโอห์ม หากผิดปกติ ให้ทำความสะอาดแผ่นช่อง

(4) หากวงจรการจับคู่ RF ผิดพลาด ให้ตรวจสอบว่าพลังงานสะท้อนจากแหล่ง RF อยู่ในช่วงปกติหรือไม่ หากผิดปกติ ให้ตรวจสอบว่าตัวเก็บประจุและตัวเหนี่ยวนำในวงจรจับคู่เสียหายหรือไม่

(5) ระดับสุญญากาศต่ำเกินไป ตรวจสอบว่าระดับสุญญากาศของโพรงเป็นปกติหรือไม่

บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบ DLC, เครื่องเคลือบออปติคอล, สายเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการแบบเบ็ดเสร็จ ติดต่อเราตอนนี้ อีเมล: iks.pvd@foxmail.com