ระบบควบคุมแรงดันและสุญญากาศ PECVD
Jun 28, 2023| ระบบควบคุมสุญญากาศและแรงดันของ PECVD ประกอบด้วยปั๊มเชิงกล ปั๊มโมเลกุล วาล์วสกัดหยาบ วาล์วหน้า วาล์วประตู เกจสุญญากาศ ฯลฯ เพื่อลดอิทธิพลของไนโตรเจน ออกซิเจน และไอน้ำในกระบวนการสะสม ระบบสุญญากาศโดยทั่วไป ใช้ปั๊มแห้งและปั๊มโมเลกุลสำหรับสูบน้ำ ปั๊มแห้งสำหรับสูบน้ำสูญญากาศต่ำ เมื่อเทียบกับปั๊มน้ำมันเชิงกลที่ใช้กันทั่วไป สามารถหลีกเลี่ยงน้ำมันและก๊าซในปั๊มน้ำมันเข้าไปในห้องสุญญากาศเพื่อก่อให้เกิดมลภาวะต่อพื้นผิว หลังจากที่ปั๊มแห้งถูกสูบต่ำกว่าความดันที่กำหนด วาล์วประตูจะเปิดขึ้นและปั๊มโมเลกุลจะสูบสุญญากาศสูง ปั๊มโมเลกุลนั้นโดดเด่นด้วยความสามารถในการสูบน้ำสุญญากาศที่แข็งแกร่ง โดยเฉพาะอย่างยิ่งความสามารถในการกำจัดไอน้ำนั้นแข็งแกร่งมาก
บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบ DLC, เครื่องเคลือบออปติคอล, สายเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการแบบเบ็ดเสร็จ ติดต่อเราตอนนี้ อีเมล: iks.pvd@foxmail.com
