ปัญหาและวิธีแก้ไขของการเคลือบ DLC

คุณสมบัติของเคลือบ DLC

ประสิทธิภาพของ DLC คือเพชรและแกรไฟต์ ซึ่งแสดงให้เห็นความแข็งสูงและแรงเสียดทานที่ยอดเยี่ยม เป็นคุณสมบัติกาวที่ต่อต้านมาก

◆ สมบัติทางกล:

ความแข็งสูง โมดูลัสความยืดหยุ่นสูง การนำความร้อนสูง สัมประสิทธิ์การขยายตัวต่ำ ความหนาแน่นต่ำ สึกหรอ และค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำ

◆ คุณสมบัติทางไฟฟ้า:

ความสัมพันธ์อิเล็กตรอนต่ำ ความต้านทานไฟฟ้าสูง ต่ำคงเป็นฉนวน

◆ คุณสมบัติแสง:

ส่งสูงในแสงที่มองเห็น และภูมิภาคใกล้เคียงอินฟราเรด ช่องว่างของวงแสงต่ำ ดัชนีหักเหคือ 1.7 การ 2.4 เลเซอร์สูงเกณฑ์ความเสียหาย

◆ คุณสมบัติทางเคมี: 

ดี biocompatibility เฉื่อยทางเคมีสูง กรดและด่าง hydrophobicity ดี

ปัญหาและวิธีแก้ไขของการเคลือบ DLC

ปัญหา

◆ ความเครียดภายในที่สูง

ภายใต้สถานการณ์ปกติ เค้น โมดูลัสความยืดหยุ่น และความแข็งของผิวเคลือบเป็นสัดส่วนโดยตรงกับแต่ละอื่น ๆ เพื่อให้สูงกว่าความแข็งของเคลือบ เค้นยิ่ง ฟิล์ม DLC มีความแข็งสูงมาก ตลอดจนช่วยลดความเครียดภายในสูง ซึ่งทำให้การยึดเกาะของฟิล์ม DLC กับพื้นผิว และนอกจากนี้ จะจำกัดความหนาสูงสุดของฟิล์มมีเสถียรภาพที่สามารถฝากบนพื้นผิว นอกจากนี้ ความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์มยังมีผลต่อความเครียดภายใน

◆ ทนความร้อนไม่ดี

DLC จะได้โครงสร้างเป็นผลึก metastable phase ดังนั้น ในช่วงขึ้นอุณหภูมิ จะ graphitized เคลือบ DLC คือ พันธบัตร sp3 เปิดเพื่อติดตั้ง sp2 เป็นผล โครงสร้าง และประสิทธิภาพของการเคลือบ DLC จะเปลี่ยน

โซลูชั่น

◆ ฟิล์มหลายชั้น

สะสมของฟิล์มหลายชั้น Ti/TiC/DLC และ Ti/ดีบุก/TiCN/DLC บนพื้นผิวสามารถช่วยลดความเครียดภายในระหว่างการเคลือบ DLC และพื้นผิว

◆ ไล่ระดับสีฟิล์ม

ไล่ระดับสีเงินช่วงชั้น Cr/CrN/CrNC/CrC/Cr-DLC และ Ti/ดีบุก/TiCN/TiC/Ti-DLC โดยไอออนแหล่งสปัตเตอร์สะสมเทคโนโลยีและบนพื้นผิวสามารถปล่อยความเครียดได้อย่างมีประสิทธิภาพ และเพิ่มความแข็งแรงของพันธะระหว่างการเคลือบได้อย่างมีประสิทธิภาพ และพื้นผิว

◆ ยาสลบ

ยาสลบไม่ใช่โลหะ (N, B, Si) สามารถลดความเครียดภายในเคลือบ DLC และเพิ่มความเสถียรของความร้อน และยาสลบของโลหะ (Cr, Ti, W) สามารถเพิ่มความแข็ง และทนการกัดกร่อนเคลือบ DLC และลดค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทาน