กลไกการเกิดปฏิกิริยาของ CVD

CVD สามารถทำได้โดยใช้กลไกปฏิกิริยาประเภทต่างๆ เช่น CVD จากความร้อน, CVD ที่เสริมด้วยพลาสมา และ CVD ที่เสริมด้วยแสง แต่ละกลไกมีข้อดีและข้อเสีย การเลือกใช้กลไกขึ้นอยู่กับคุณสมบัติที่ต้องการและการใช้งานของฟิล์ม
ใน CVD ที่ร้อน ก๊าซตั้งต้นจะถูกให้ความร้อนที่อุณหภูมิสูงเพื่อส่งเสริมปฏิกิริยาทางเคมีของการสะสมฟิล์มแข็งบนพื้นผิว ใน CVD ที่ปรับปรุงด้วยพลาสมา ก๊าซตั้งต้นจะถูกทำให้แตกตัวเป็นไอออนเพื่อผลิตพลาสมา ซึ่งส่งเสริมปฏิกิริยาเคมีและเพิ่มอัตราการสะสม ใน CVD ที่เสริมด้วยแสง ก๊าซตั้งต้นจะถูกฉายรังสีด้วยแสงอัลตราไวโอเลตเพื่อส่งเสริมปฏิกิริยาเคมี

บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบ DLC, เครื่องเคลือบออปติคอล, สายเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการแบบเบ็ดเสร็จ ติดต่อเราตอนนี้ อีเมล: iks.pvd@foxmail.com