หลักการโครงสร้างของเครื่องวัดสูญญากาศ Thermocouple

เครื่องวัดสูญญากาศแบบ Thermocouple วัดการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิของลวดร้อนโดยใช้เทอร์โมคัปเปิล และความสามารถในการเทอร์โมคัปเปิลที่สร้างขึ้นโดยเทอร์โมคัปเปิลบ่งบอกความดันในเครื่องวัด ช่วงการวัดความดันของเทอร์โมคัปเปิล DL-3 คือ 102 ถึง 10-1Pa

แผนภาพโครงสร้างของเครื่องวัดสูญญากาศแบบเทอร์โมคัปเปิ้ลแสดงในรูปที่ 1 ประกอบด้วยเครื่องวัดค่าเทอร์โมคัปเปิลและวงจรวัด เครื่องวัดอุณหภูมิแบบเทอร์โมคัปเปิลส่วนใหญ่ประกอบด้วยสายร้อนและเทอร์โมคัปเปิ้ล ปลายร้อนของเทอร์โมคัปเปิลเชื่อมต่อกับสายไฟร้อนและปลายอีกด้านหนึ่งใช้เป็นปลายเย็นและผ่านท่อเต้าเสียบตะกั่วเพื่อเชื่อมต่อกับมิลวิลตัลมิเตอร์เพื่อวัดศักย์เทอร์โมคัปเปิล วงจรวัดค่อนข้างง่าย

ในระหว่างการวัด สายร้อน ของเครื่องวัดจะได้รับความร้อนบางอย่างในปัจจุบัน เมื่อความดันต่ำลง ( λ≥ r2) ค่าศักย์ไฟฟ้า thermocouple E จะถูกกำหนดโดยความดัน p ในเครื่องวัดเพราะอุณหภูมิของเส้นใยขึ้นอยู่กับการนำความร้อนของก๊าซ เมื่อความดันลดลงปริมาณความร้อนที่โมเลกุลของแก๊สลดลงและอุณหภูมิของลวดร้อนจะเพิ่มขึ้นตามมา ดังนั้นความสามารถในการเพิ่มขึ้นของเทอร์โมคัปเปิ้ลจึงเพิ่มขึ้น มิฉะนั้นศักย์เทอร์โมคัปเปิ้ล E จะลดลง

การเปลี่ยนความร้อนในปัจจุบันของมาตรวัดมีผลต่อทั้งความไวและช่วงการวัด ถ้าความร้อนเพิ่มขึ้นความไวในการควบคุมจะเพิ่มขึ้นและสามารถวัดความดันได้มากขึ้น แต่ช่วงการวัดจะแคบลง ถ้าความร้อนลดลงความละเอียดของกฎข้อบังคับจะลดลงและสามารถวัดความดันต่ำได้ แต่ช่วงการวัดจะใหญ่กว่า

ถ้าความสัมพันธ์ระหว่างศักย์เทอร์โมคัปเปิล E และความดัน p ได้รับการวัดล่วงหน้าแรงดันของระบบภายใต้การทดสอบสามารถคำนวณได้โดยตรงตามข้อบ่งชี้ของ millivoltmeter