โครงสร้างและแผนผังแผนผังของโมเลกุลปั้ม

ส่วนประกอบหลักของเครื่องสูบน้ำระดับโมเลกุลคือใบพัดหมุนและใบมีชีวิต (รูปที่ 1) ความเร็วในการหมุนของใบพัดหมุนถึง 1800 ถึง 90000 รอบต่อนาทีความเร็วที่ปลายใบมีดถึงหลายร้อยเมตรต่อวินาทีซึ่งอยู่ใกล้กับความเร็วเฉลี่ยของโมเลกุล และโมเลกุลของก๊าซจะถูกขนส่งไปยังพอร์ตไอเสียโดยชนกับมัน เมื่อใบพัดหมุนที่ถูกตั้งค่าให้หมุนรอบตัวด้วยความเร็วสูงความน่าจะเป็นของโมเลกุลของแก๊สที่เคลื่อนที่จากด้านดูดไปสู่ด้านไอเสียคือ A และความเป็นไปได้ที่โมเลกุลของแก๊สจะเคลื่อนที่จากด้านไอเสียไปสู่ด้านการดูด คือ B. ใบพัดหมุนได้กระทบโมเลกุลของแก๊สแล้ว โมเลกุลของแก๊สจะ ตีใบมีดคงที่และบินไปยังใบมีดหมุนเวียนถัดไปในที่สุดโมเลกุลของแก๊สจะถูกขับออกไปที่ช่องไอเสียทำให้ A> B เพื่อให้เกิดการทำงานของไอเสีย

ความเร็วของท่อไอเสียของปั๊มโมเลกุล = พื้นที่เปิดของด้านการดูด×× 11.6 × A / Bp

ในสูตร p หมายถึงค่าความดันที่เพิ่มขึ้น

มุมของใบมีดที่ใหญ่ขึ้นความเร็วของไอเสียที่น้อยกว่าของอัตราส่วนการอัด หากมุมของใบมีดเล็กนอยความเร็วไอเสียจะต่ําและอัตราการบีบอัดมีขนาดใหญ ความเร็วไอเสียของปั๊มระดับโมเลกุลเกือบจะไม่ได้รับผลกระทบจากแก๊สและแรงดันสูงสุดของปั๊มก็คือ 10-8 Pa แต่ความเร็วของไอเสียจะลดลงสำหรับโมเลกุล / อะตอมที่มีแสง

เป็นเครื่องปั๊มแบบเชิงกลที่มีความเร็วในการหมุนสูงปั๊มแบบโมเลกุลต้องมีความสมดุลสูงและมีความเปราะบางต่อสิ่งแปลกปลอมที่เป็นของแข็ง ดังนั้นมักจะมีการติดตั้งตัวกรองโลหะที่ช่องระบายอากาศของมัน เมื่อการทำงานของเครื่องสูบน้ำแบบโมเลกุลใบพัดอาจเสียหายหากความดันลดลงอย่างรวดเร็ว

รูปที่ 1 โครงสร้างและแผนภาพของปั๊มโมเลกุล

ปั๊มโมเลกุลแบบธรรมดาใช้ตลับลูกปืนเพื่อให้แน่ใจว่าการหมุนของใบมีดมีความเร็วสูง แต่เครื่องสูบน้ำแบบโมเลกุลชนิดใหม่ใช้โครงสร้างการลอยตัวแบบแม่เหล็กทำให้ความเร็วของใบมีดเพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่องและในขณะเดียวกันเครื่องสูบน้ำระดับโมเลกุลก็เหมาะสำหรับระบบสูญญากาศที่สูงเป็นพิเศษซึ่งจะช่วยยืดอายุการใช้งานของ ปั๊มโมเลกุล

เมื่อเทียบกับปั๊มใบพัดแบบโรตารี่ที่ปิดผนึกน้ำมันและเครื่องสูบน้ำแบบเทอร์โบแล้วเครื่องสูบแบบโมเลกุลมีสภาพแวดล้อมการทำงานที่สะอาดขึ้นและสามารถให้ระดับสูญญากาศสูงมาก อย่างไรก็ตามปั๊มโมเลกุลไม่สามารถทำงานได้ที่ความดันบรรยากาศและต้องใช้ร่วมกับปั๊มสุญญากาศแบบหยาบอื่น ๆ (ปั๊มสูญญากาศแบบโรตารี่หรือปั๊มเทอร์โบ) ที่สามารถทำงานได้ที่ความดันบรรยากาศ ปั๊มโมเลกุลมีโครงสร้างที่ซับซ้อนและราคาสูงและมีการสั่นสะเทือนในระหว่างการหมุนด้วยความเร็วสูง