เทคนิคการตรวจจับการรั่วที่ดีที่สุดสำหรับเครื่องเคลือบ PVD

การตรวจหาฟองสบู่

การตรวจจับวิธีการตรวจจับฟองอากาศแบบ PVD เป็นที่ต้องการสำหรับภาชนะบรรจุที่ทำจาก PVD หรืออุปกรณ์ที่กำลังดำเนินการ การตรวจจับวิธีการตรวจจับฟองอากาศแบบ PVD หมายถึงการเติมส่วนที่ทดสอบด้วยก๊าซความดันการรั่วไหลบางอย่างและจากนั้นใส่ส่วนทดสอบลงในของเหลว ก๊าซจะเข้าสู่ของเหลวรอบ ๆ ผ่านรูรั่วเพื่อสร้างฟองอากาศ และสถานที่ที่มีฟองสบู่เป็นตำแหน่งรูรั่ว นอกจากนี้อัตราการรั่วของหลุมสามารถคำนวณได้ตามอัตราการก่อตัวและขนาดของฟองอากาศเช่นเดียวกับสมบัติทางกายภาพของก๊าซบ่งชี้การรั่วซึม

การตรวจหาวิธีครอบคลุม

Cover Method Detection หมายถึงวิธีการที่ครอบคลุมอุปกรณ์ PVD ทั้งเคลือบด้วยถุงพลาสติกเอทิลีน (ฝาครอบ) จากนั้นเติมถุงด้วยฮีเลียมนั่นคือภาชนะสูญญากาศทั้งหมดจะถูกจุ่มลงในฮีเลียมเพื่อตรวจจับการรั่วไหล หลังจากทำการอพยพแก๊สอย่างเต็มที่แล้วให้ทำวาล์วหลักวาล์วขรุขระและวาล์วรั่วออก จากนั้นใช้เครื่องวัดสุญญากาศไอออนไนซ์ BA เพื่อวัดการเปลี่ยนแปลงแรงดันเพื่อตรวจสอบว่ามีการรั่วซึมหรือไม่

การเคลือบ PVD คือผลรวมของแรงดันที่เพิ่มขึ้นเนื่องจากการรั่วไหลของก๊าซและการเพิ่มขึ้นของแรงดันที่เกิดจากการ degassing วัสดุและในที่สุดก็จะมีการเพิ่มขึ้นของเส้นตรงที่เป็นสัดส่วนกับเวลา เมื่อเส้นโค้งเคลือบ PVD แสดงสถานะดังกล่าวตามที่อธิบายไว้ข้างต้นนั่นหมายถึงอุปกรณ์รั่วไหล เมื่อไม่มีการรั่วไหลและมีเพียงการรั่วไหลของวัสดุเส้นโค้งควรอิ่มตัว ถ้ามีการรั่วไหลโดยไม่มีการ degassing วัสดุมันเป็นเส้นตรงที่เป็นสัดส่วนกับเวลาที่จุดเริ่มต้น