ระบบขับเคลื่อนและระบบทำความเย็นของอุปกรณ์เคลือบ PVD
Mar 31, 2018| ระบบไดรฟ์
ระบบไดรฟ์ช่วยให้พื้นผิวไหลจากการวางวัสดุรองพื้นลงในอุปกรณ์สำหรับการทับถมของสปัตเตอร์เพื่อให้ออกมาจากอุปกรณ์หลังจากเสร็จสิ้นกระบวนการ ระบบขับเคลื่อนประกอบด้วยมอเตอร์ขับเคลื่อนล้อเลื่อนเครื่องแปลงความถี่และอื่น ๆ สาเหตุของการเพิ่มระบบไดรฟ์คือ:
(1) ตรวจสอบให้แน่ใจว่ามีการเคลือบกระจายความหนาอย่างสม่ำเสมอ
(2) ง่ายต่อการรับส่งอัตโนมัติ
ระบบระบายความร้อน
ระบบระบายความร้อนประกอบด้วยส่วนใหญ่ของการไหลเวียนของน้ำหมุนเวียนของโมเลกุลของน้ำ, ห้อง, กลุ่มเครื่องสูบน้ำและมอเตอร์ระบายความร้อนของมอเตอร์ไดรฟ์ หน้าที่หลักของมันคือการระบายความร้อนในห้องสูญญากาศ, ปั๊ม, ไดรฟ์, แหล่งจ่ายไฟ ฯลฯ ความต้องการของน้ำระบายความร้อนคือ:
(1) อุณหภูมิ: 17 ~ 22 ° C;
(2) ความดัน: 2 ~ 3e0.05Pa;
(3) ควรถอดอนุภาคแม่เหล็กออกจากน้ำและควรปรับให้น้ำอ่อนลง pH = 6 ~ 8