ความเร็วในการสกัดมีเทนโดยปั๊มไอออน

ความเร็วในการสกัดมีเทนด้วยปั๊มไอออน

มีเทนเป็นหนึ่งในสาเหตุหลักที่ทำให้ลำแสงคันเร่งลดลง เนื่องจากเป็นผลจากปฏิกิริยาระหว่างไฮโดรเจนและคาร์บอนในวัสดุที่เป็นโลหะ มีเทนจึงเป็นแหล่งก๊าซทั่วไปในระบบสุญญากาศสูงพิเศษ
แม้ว่ามีเทนจะไม่ใช่ก๊าซเฉื่อย แต่ก็ไม่ทำปฏิกิริยากับสารทะเยอทะยานใดๆ และไม่ทำปฏิกิริยากับวัสดุแคโทดที่สปัตเตอร์ในปั๊มไอออน ดังนั้นปั๊มไอออนแบบไบโพลาร์ธรรมดาจึงแทบไม่มีความเร็วในการสูบมีเทน คล้ายกับกระบวนการเฉื่อย แก๊ส อยากสูบมีเทน เราต้องฝังปั๊มไอออน StarCell และ Noble Diode ที่มีประสิทธิภาพมากกว่า
เนื่องจากการคายประจุแบบเพนนิ่งในปั๊มไอออน โมเลกุลมีเทน (รวมถึงโมเลกุลไฮโดรคาร์บอนอื่นๆ) จึงแตกร้าวและแปลงเป็นอนุภาคขนาดเล็ก (C, CH3,... H) ซึ่งมีความเป็นไปได้สูงที่จะถูก "สูบออกไป" และ ปั๊มไอออน StarCell จะปั๊มมีเทนและไฮโดรคาร์บอนเบาได้เร็วกว่าปั๊มไนโตรเจนอีกด้วย

บริษัท IKS PVD, เครื่องเคลือบตกแต่ง, เครื่องเคลือบเครื่องมือ, เครื่องเคลือบ DLC, เครื่องเคลือบแสง, สายเคลือบสูญญากาศ PVD, โครงการเทิร์นคีย์สามารถใช้ได้ ติดต่อเราตอนนี้ อีเมล: iks.pvd@foxmail.com